JP5732728B2 - 振動片、振動子及び発振器 - Google Patents

Description

本発明は、振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器に関する。

特許文献１には、基部と、基部から突出して形成されている振動腕部（以下、振動腕という）とを有し、振動腕に溝部が形成されている振動片であって、基部に切り込み部（以下、切り欠き部という）が形成されている振動片が開示されている。
特許文献１の振動片は、基部に切り欠き部が形成されていることにより、振動腕から基部への振動漏れが減少し、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値（Ｑ値）のばらつきの抑制が図られている。

特開２００２−２８０８７０号公報

上記振動片は、通常、エッチングによって外形形状が形成されている。そして、水晶を基材とした振動片においては、水晶の結晶軸に対する方向によってエッチング速度が異なるエッチング異方性を有する。
このエッチング異方性に起因して、振動片は、基部の切り欠き部の先端部分が、オーバーエッチング（エッチング過多）されることによって、本来の位置より基部の中央側に入り込み、例えば、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されることがある。
これにより、振動片は、落下時などの衝撃が加わった際に、切り欠き部の先端部分に応力が集中し、その部分から破損する虞がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、水晶のＺ板をエッチング加工して得られた振動片であって、Ｘ軸の方向に沿って延在している切り欠き部を有している基部と、前記基部からＹ軸に沿って前記Ｙ軸のプラス側に突出している振動腕と、を備え、前記切り欠き部は、前記Ｙ軸の方向に前記振動腕と並んで配置され、前記基部の外周側に位置する基端部に前記Ｘ軸の方向に対して傾斜した傾斜部を有し、前記基端部の幅が基端側に向けて漸増し、前記傾斜部は、前記切り欠き部に沿った２つの辺のうちの前記Ｙ軸のマイナス側に位置する辺に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕には前記Ｙ軸の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記Ｘ軸の方向において、前記切り欠き部の先端は、前記溝よりも前記基部の中心側に位置していることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、音叉型水晶振動片であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、水晶のＺ板をエッチング加工して得られた振動片であって、Ｘ軸の方向に沿って並んでいる切り欠き部および連結部、前記Ｘ軸の方向と交差する方向に沿って前記切り欠き部および前記連結部の一方側に並んでおり、前記連結部に連結されている第１の部分、及び前記交差する方向に沿って前記切り欠き部および前記連結部の他方側に並んでおり、前記連結部に連結されている第２の部分、を含む基部と、前記第１の部分からＹ軸の方向に沿って突出している振動腕と、を含み、前記切り欠き部は、前記Ｙ軸の方向に前記振動腕と並んで配置され、前記基部の外周側に位置する基端部に前記Ｘ軸の方向に対して傾斜した傾斜部を有し、前記基端部の幅が基端側に向けて漸増し、前記傾斜部は、前記切り欠き部に沿った２つの辺のうちの前記Ｙ軸のマイナス側に位置する辺に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕には前記Ｙ軸の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記Ｘ軸の方向において、前記切り欠き部の先端は、前記溝よりも前記基部の中心側に位置していることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、音叉型水晶振動片であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。

［適用例１］本適用例にかかる振動片は、水晶の結晶軸としての互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度で切り出されたＺ板を基材とし、外形形状がエッチングによって形成された振動片であって、基部と、前記基部から前記Ｙ軸方向に延びる少なくとも１本の振動腕と、前記基部を前記Ｘ軸方向に切り欠いた切り欠き部と、を備え、前記切り欠き部の少なくとも１つは、前記基部を前記Ｘ軸のプラス側からマイナス側へ切り欠き、切り欠き方向に沿った少なくとも１つの辺と前記基部の外周との間に、前記切り欠き部の幅が前記外周に近づくに連れて広がるように形成された傾斜部を有することを特徴とする。

これによれば、振動片は、基部をＸ軸方向に切り欠いた切り欠き部を備え、切り欠き部の少なくとも１つが、基部をＸ軸のプラス側からマイナス側へ切り欠き、切り欠き部の幅が外周に近づくに連れて広がるように形成された傾斜部を有する。
振動片は、上記方向に切り欠き部を設けることで、振動漏れをより効果的に抑制できる。そして、振動片は、切り欠き部に傾斜部を有することで、切り欠き部の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングを抑制できる。
この結果、振動片は、切り欠き部の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記傾斜部は、前記切り欠き部において前記Ｙ軸のプラス側に位置する一方の辺に接続され、前記一方の辺との成す角度が３度〜３５度の範囲内であることが好ましい。

これによれば、振動片は、Ｙ軸のプラス側に位置する一方の辺と傾斜部との成す角度が３度〜３５度の範囲内である。
振動片は、一方の辺と傾斜部との成す角度が上記範囲内であることにより、効果的にオーバーエッチングを抑制できる。なお、上記範囲は、発明者らが現物との整合性を検証した上でのエッチングのシミュレーションによる解析結果から得た知見である。

［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記傾斜部は、前記切り欠き部において前記Ｙ軸のマイナス側に位置する他方の辺に接続され、前記他方の辺との成す角度が１０度〜３０度の範囲内であることが好ましい。

これによれば、振動片は、Ｙ軸のマイナス側に位置する他方の辺と傾斜部との成す角度が１０度〜３０度の範囲内である。
振動片は、他方の辺と傾斜部との成す角度が上記範囲内であることにより、効果的にオーバーエッチングを抑制できる。なお、上記範囲は、発明者らが現物との整合性を検証した上でのシミュレーションによる解析結果から得た知見である。

［適用例４］上記適用例にかかる振動片において、前記切り欠き部は、対で設けられ、前記振動腕の延びる方向に沿った前記基部の中心線を対称軸として、対称形状に形成されていることが好ましい。

これによれば、振動片は、切り欠き部が対で設けられ、振動腕の延びる方向に沿った基部の中心線を対称軸として、対称形状に形成されていることから、バランスのとれた振動を得ることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記複数本の振動腕と、前記基部とを含んで音叉を構成することが好ましい。

これによれば、振動片は、振動腕を複数本備え、複数本の振動腕と基部とを含んで音叉を構成することから、耐衝撃特性が向上した音叉型振動片を提供できる。

［適用例６］本適用例にかかる振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、振動子は、耐衝撃特性が向上した振動片を備えることから、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例７］本適用例にかかる発振器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、発振器は、耐衝撃特性が向上した振動片を備えることから、耐衝撃特性を向上させることができる。

第１の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。 図１（ａ）の要部拡大図。 切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図。 第２の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。 図４（ａ）の要部拡大図。 切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図。 第３の実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。 第４の実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。図２は、図１（ａ）のＢ部拡大図である。

図１に示すように、振動片としての水晶振動片１は、水晶の原石などから、水晶の結晶軸としての互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度で切り出されたＺ板を基材とし、外形形状がフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング（ウエットエッチング）によって形成された振動片である。
ここで、Ｚ板とは、切り出し面（主面１０ａ）がＺ軸に対して略直交したものをいい、このＺ軸に直交した主面１０ａが、Ｘ軸のプラス側から見てＹ軸からＺ軸の方向へ反時計回りまたは時計回りに０度〜数度の範囲で回転した状態で切り出されたものも含まれる。
水晶振動片１は、Ｘ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸、Ｚ軸が光軸となるように、水晶の単結晶から切り出される。
なお、水晶振動片１は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々につき多少の範囲（例えば、０度〜５度程度の範囲）で許容できる。

水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる互いに略平行な一対の振動腕１１と、基部１０をＸ軸方向に切り欠いた一対の切り欠き部１２，１３と、基部１０からＸ軸方向に突出し、振動腕１１側に折れ曲がってＹ軸方向に延びる一対の支持部１４とを備えている。
水晶振動片１は、基部１０と、一対の振動腕１１とを含んで音叉を構成することで、音叉型振動片となっており、支持部１４の所定の位置に形成された図示しないマウント電極を介してパッケージなどの外部部材に固定されるようになっている。

振動腕１１は、基部１０側に位置する腕部１５と、腕部１５よりも先端側に位置し、腕部１５よりも幅が広い錘部１６と、振動腕１１の延びる方向（Ｙ軸方向）に沿って形成され、一対の振動腕１１の並ぶ方向（Ｘ軸方向）に切断した振動腕１１の断面形状が、Ｈ字状となる溝部１７とを有している。
水晶振動片１は、振動腕１１に形成された図示しない励振電極に、マウント電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕１１が、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で矢印Ｃ方向及び矢印Ｄ方向に交互に屈曲振動（共振）する。

ここで、一対の切り欠き部１２，１３について詳述する。
切り欠き部１２は、基部１０をＸ軸のプラス側からマイナス側へ切り欠いて形成されている。
そして、図２に示すように、切り欠き部１２は、切り欠き方向に沿った辺１２ａ，１２ｂの内、Ｙ軸のプラス側に位置する一方の辺としての辺１２ａと、基部１０の外周１０ｂとの間に、切り欠き部１２の幅が外周１０ｂに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部１２ｃを有する。
傾斜部１２ｃは、上記のように、切り欠き部１２においてＹ軸のプラス側に位置する辺１２ａに接続され、辺１２ａとの成す角度θが、３度〜３５度の範囲内となるように形成されている。
一方、切り欠き部１３は、図１（ａ）に示すように、切り欠き部１２と対になるように設けられ、振動腕１１の延びる方向（Ｙ軸方向）に沿った基部１０の中心線１０ｃを対称軸として、切り欠き部１２と対称形状に形成されている。

ここで、切り欠き部１２における傾斜部１２ｃの角度θと、切り欠き部１２の先端部分のエッチング形状との関係について、発明者らのシミュレーションによる解析結果に基づいて説明する。
図３は、切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図である。
シミュレーションによって得られたエッチング形状については、３段階で評価し、応力が集中しやすい形状順に×：不良、○：良、◎：優良、で表している。エッチング形状は、○、◎の評価であれば、応力が集中し難く量産に適用できるものと判断される。

図３に示すように、エッチング形状は、傾斜部１２ｃの角度θが３度〜３５度の範囲内で○以上であり、特に１０度〜３０度の範囲内で◎である。これに対して、エッチング形状は、傾斜部１２ｃの角度θが０度、３７度、４０度で×である。
この解析結果によれば、傾斜部１２ｃの角度θは、３度〜３５度の範囲内が好ましく、１０度〜３０度の範囲内がより好ましい。また、角度θは、エッチング異方性の影響を踏まえた傾斜部１２ｃの形成精度の観点からすれば、ほぼ３０度とすることが特に好ましい。

シミュレーションによるエッチング形状について詳述すると、図２の２点鎖線は、傾斜部１２ｃがない場合（従来形状であって、図３の角度θが０度の場合）の先端部分の形状を示している。
この場合には、切り欠き部１２の先端部分が、大きくオーバーエッチングされ、実線で示した本来の円弧状の形状より基部１０の中央側に入り込み、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されている。
これに対して、傾斜部１２ｃの角度θが３度〜３５度の範囲内の場合には、切り欠き部１２の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングが抑制され、切り欠き部１２の先端部分が、実線で示した本来の円弧状の形状に近似した形状で形成されている。

上述したように、第１の実施形態の水晶振動片１は、基部１０をＸ軸方向に切り欠いた切り欠き部１２，１３を備えている。そして、水晶振動片１は、切り欠き部１２が、基部１０をＸ軸のプラス側からマイナス側へ切り欠き、切り欠き方向に沿った辺１２ａ，１２ｂの内、Ｙ軸のプラス側に位置する辺１２ａと、基部１０の外周１０ｂとの間に、切り欠き部１２の幅が外周１０ｂに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部１２ｃを有する。

これによれば、水晶振動片１は、上記方向に切り欠き部１２，１３を設けることで、振動漏れをより効果的に抑制できる。
そして、水晶振動片１は、切り欠き部１２に傾斜部１２ｃを有することで、切り欠き部１２の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングを抑制できる。
この結果、水晶振動片１は、切り欠き部１２の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部１０の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。

また、水晶振動片１は、傾斜部１２ｃと辺１２ａとの成す角度θが３度〜３５度の範囲内であれば、効果的にオーバーエッチングを抑制でき、傾斜部１２ｃと辺１２ａとの成す角度θが１０度〜３０度の範囲内であれば、より効果的にオーバーエッチングを抑制できる。

また、水晶振動片１は、切り欠き部１２，１３が対で設けられ、振動腕１１の延びる方向（Ｙ軸方向）に沿った基部１０の中心線１０ｃを対称軸として、切り欠き部１２と切り欠き部１３とが対称形状に形成されていることから、バランスのとれた屈曲振動を得ることができる。

また、水晶振動片１は、振動腕１１を一対（２本）備え、２本の振動腕１１と基部１０とを含んで音叉を構成することから、耐衝撃特性が向上した音叉型振動片を提供できる。
なお、水晶振動片１は、水晶のエッチング異方性により切り欠き部１３の先端部分がオーバーエッチングされ難いことから、切り欠き部１３には傾斜部がなくてもよい。

（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。図５は、図４（ａ）のＦ部拡大図である。
なお、第１の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図４に示すように、振動片としての水晶振動片２は、切り欠き部１２，１３の形状が第１の実施形態と異なる。
図５に示すように、水晶振動片２の切り欠き部１２は、切り欠き方向に沿った辺１２ａ，１２ｂの内、Ｙ軸のマイナス側に位置する他方の辺としての辺１２ｂと、基部１０の外周１０ｂとの間に、切り欠き部１２の幅が外周１０ｂに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部１２ｄを有する。
傾斜部１２ｄは、上記のように、切り欠き部１２においてＹ軸のマイナス側に位置する辺１２ｂに接続され、辺１２ｂとの成す角度θ１が、１０度〜３０度の範囲内となるように形成されている。
一方、切り欠き部１３は、図４（ａ）に示すように、切り欠き部１２と対になるように設けられ、振動腕１１の延びる方向（Ｙ軸方向）に沿った基部１０の中心線１０ｃを対称軸として、切り欠き部１２と対称形状に形成されている。

ここで、切り欠き部１２における傾斜部１２ｄの角度θ１と、切り欠き部１２の先端部分のエッチング形状との関係について、発明者らのシミュレーションによる解析結果に基づいて説明する。
図６は、切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図である。
シミュレーションによって得られたエッチング形状については、２段階で評価し、応力が集中しやすい形状順に×：不良、○：良、で表している。エッチング形状は、○の評価であれば、応力が集中し難く量産に適用できるものと判断される。

図６に示すように、エッチング形状は、傾斜部１２ｄの角度θ１が１０度〜３０度の範囲内で○である。これに対して、エッチング形状は、傾斜部１２ｄの角度θ１が０度で×である。
この解析結果によれば、傾斜部１２ｄの角度θ１は、１０度〜３０度の範囲内が好ましいことがわかる。

シミュレーションによるエッチング形状について詳述すると、図５の２点鎖線は、傾斜部１２ｄがない場合（従来形状であって、図６の角度θ１が０度の場合）の先端部分の形状を示している。
この場合には、第１の実施形態と同様に、切り欠き部１２の先端部分が、大きくオーバーエッチングされ、実線で示した本来の円弧状の形状より基部１０の中央側に入り込み、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されている。
これに対して、傾斜部１２ｄの角度θ１が１０度〜３０度の範囲内の場合には、切り欠き部１２の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングが抑制され、切り欠き部１２の先端部分が、実線で示した本来の円弧状の形状に近似した形状で形成されている。

上述したように、第２の実施形態の水晶振動片２は、切り欠き部１２が、切り欠き方向に沿った辺１２ａ，１２ｂの内、Ｙ軸のマイナス側に位置する辺１２ｂと、基部１０の外周１０ｂとの間に、切り欠き部１２の幅が外周１０ｂに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部１２ｄを有する。
そして、水晶振動片２は、傾斜部１２ｄと辺１２ｂとの成す角度θ１が、１０度〜３０度の範囲内となるように形成されている。

これにより、水晶振動片２は、切り欠き部１２の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングを抑制できる。
この結果、水晶振動片２は、切り欠き部１２の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部１０の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動片２は、水晶のエッチング異方性により切り欠き部１３の先端部分がオーバーエッチングされ難いことから、切り欠き部１３には傾斜部がなくてもよい。

なお、上記各実施形態では、振動腕１１の数を２本としたが、これに限定するものではなく、１本、または３本以上でもよい。
また、支持部１４、錘部１６、溝部１７は、なくてもよい。また、振動腕１１の屈曲振動の方向は、振動腕１１の厚み方向（Ｚ軸方向）であってもよい。また、傾斜部１２ｃと傾斜部１２ｄとは、併用されてもよい。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた振動子について説明する。
図７は、第３の実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。

図７に示すように、振動子としての水晶振動子５は、第１の実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
パッケージ８０は、パッケージベース８１、シームリング８２、蓋体８５などから構成されている。
パッケージベース８１は、水晶振動片１を収容できるように凹部が形成され、その凹部に水晶振動片１の図示しないマウント電極と接続される接続パッド８８が設けられている。
接続パッド８８は、パッケージベース８１内の配線に接続され、パッケージベース８１の外周部に設けられた外部接続端子８３と導通可能に構成されている。

パッケージベース８１の凹部の周囲には、シームリング８２が設けられている。さらに、パッケージベース８１の底部には、貫通穴８６が設けられている。
水晶振動片１は、パッケージベース８１の接続パッド８８に導電性接着剤８４を介して接着固定されている。そして、パッケージ８０は、パッケージベース８１の凹部を覆う蓋体８５とシームリング８２とがシーム溶接されている。
パッケージベース８１の貫通穴８６には、金属材料などからなる封止材８７が充填されている。この封止材８７は、減圧雰囲気内で溶融後固化され、パッケージベース８１内が減圧状態を保持できるように、貫通穴８６を気密に封止している。
水晶振動子５は、外部接続端子８３を介した外部からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振する。

上述したように、水晶振動子５は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動子５は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた発振器について説明する。
図８は、第４の実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＪ−Ｊ線での断面図である。

発振器としての水晶発振器６は、上記水晶振動子５の構成に回路素子をさらに備えた構成となっている。なお、水晶振動子５との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図８に示すように、水晶発振器６は、第１の実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させる発振回路を有する回路素子としてのＩＣチップ９１と、水晶振動片１及びＩＣチップ９１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
ＩＣチップ９１は、パッケージベース８１の底部に固着され、金線などの金属ワイヤー９２により他の配線と接続されている。
水晶発振器６は、ＩＣチップ９１の発振回路からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振する。

上述したように、水晶発振器６は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶発振器６は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。

１，２…振動片としての水晶振動片、５…振動子としての水晶振動子、６…発振器としての水晶発振器、１０…基部、１０ａ…主面（切り出し面）、１０ｂ…外周、１１…振動腕、１２，１３…切り欠き部、１２ａ…一方の辺としての辺、１２ｂ…他方の辺としての辺、１２ｃ，１２ｄ…傾斜部、１４…支持部、１５…腕部、１６…錘部、１７…溝部、８０…パッケージ、８１…パッケージベース、８２…シームリング、８３…外部接続端子、８４…導電性接着剤、８５…蓋体、８６…貫通穴、８７…封止材、８８…接続パッド、９１…回路素子としてのＩＣチップ、９２…金属ワイヤー。

Claims (12)

1. 水晶のＺ板をエッチング加工して得られた振動片であって、
   Ｘ軸の方向に沿って延在している切り欠き部を有している基部と、
   前記基部からＹ軸に沿って前記Ｙ軸のプラス側に突出している振動腕と、
   を備え、
   前記切り欠き部は、前記Ｙ軸の方向に前記振動腕と並んで配置され、前記基部の外周側に位置する基端部に前記Ｘ軸の方向に対して傾斜した傾斜部を有し、前記基端部の幅が基端側に向けて漸増し、
   前記傾斜部は、前記切り欠き部に沿った２つの辺のうちの前記Ｙ軸のマイナス側に位置する辺に配置されていることを特徴とする振動片。
2. 請求項１において、
   前記振動腕には前記Ｙ軸の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする振動片。
3. 請求項２において、
   前記Ｘ軸の方向において、前記切り欠き部の先端は、前記溝よりも前記基部の中心側に位置していることを特徴とする振動片。
4. 請求項１乃至３の何れか一項において、
   前記振動片は音叉型水晶振動片であることを特徴とする振動片。
5. 請求項１乃至４の何れか一項に記載の振動片と、
   前記振動片が収容されているパッケージと、
   を備えていることを特徴とする振動子。
6. 請求項１乃至４の何れか一項に記載の振動片と、
   回路と、
   を備えていることを特徴とする発振器。
7. 水晶のＺ板をエッチング加工して得られた振動片であって、
   Ｘ軸の方向に沿って並んでいる切り欠き部および連結部、
   前記Ｘ軸の方向と交差する方向に沿って前記切り欠き部および前記連結部の一方側に並んでおり、前記連結部に連結されている第１の部分、
   及び前記交差する方向に沿って前記切り欠き部および前記連結部の他方側に並んでおり、前記連結部に連結されている第２の部分、
   を含む基部と、
   前記第１の部分からＹ軸の方向に沿って突出している振動腕と、を含み、
   前記切り欠き部は、前記Ｙ軸の方向に前記振動腕と並んで配置され、前記基部の外周側に位置する基端部に前記Ｘ軸の方向に対して傾斜した傾斜部を有し、前記基端部の幅が基端側に向けて漸増し、
   前記傾斜部は、前記切り欠き部に沿った２つの辺のうちの前記Ｙ軸のマイナス側に位置する辺に配置されていることを特徴とする振動片。
8. 請求項７において、
   前記振動腕には前記Ｙ軸の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする振動片。
9. 請求項７において、
   前記Ｘ軸の方向において、前記切り欠き部の先端は、前記溝よりも前記基部の中心側に位置していることを特徴とする振動片。
10. 請求項７乃至９の何れか一項において、
    前記振動片は音叉型水晶振動片であることを特徴とする振動片。
11. 請求項７乃至１０の何れか一項に記載の振動片と、
    前記振動片が収容されているパッケージと、
    を備えていることを特徴とする振動子。
12. 請求項７乃至１０の何れか一項に記載の振動片と、
    回路と、
    を備えていることを特徴とする発振器。

Images