JP3951058B2 - 音叉型圧電振動片 - Google Patents
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- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 16
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 claims description 11
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 14
- 238000009863 impact test Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 8
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 3
- 244000273256 Phragmites communis Species 0.000 description 2
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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Description
そして音叉型圧電振動片本体16の上下面には励振電極(不図示)が形成され、該励振電極と前記接続電極とが衝撃緩和部22に設けられた引出し電極(不図示)により導通した構成となっている。
そして、上述した音叉型圧電振動片10を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
また第2の実施形態に係る音叉型圧電振動片50には、音叉型圧電振動片50を囲繞する枠部が形成されているので、この枠部を有していない音叉型圧電振動片に比べて機械強度を向上させることができる。
そして、上述した音叉型圧電振動片50を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片200,220を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片240を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
Claims (6)
- 複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、
前記音叉型圧電振動片本体の長手方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する短辺部と、
前記短辺部から前記音叉型圧電振動片本体の長手方向に沿って形成し、該音叉振動片のマウント部の幅と厚さよりも少なくとも一方を細くまたは薄く形成された長辺部からなる衝撃緩和部と、
を備えたことを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記音叉型圧電振動片本体と、前記短辺部と、前記長辺部とを合わせた重心位置よりも前記振動腕の先端側における前記長辺部にマウント部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記長辺部を前記マウント部から前記振動腕の先端側へ延設し、前記音叉型圧電振動片本体の長手方向と交わる方向に沿って形成するとともに、前記長辺部と接続した支持部を設けたことを特徴とする請求項2に記載の音叉型圧電振動片。
- 複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、
前記音叉型圧電振動片本体の長手方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する短辺部と、
前記短辺部から前記音叉型圧電振動片本体の長手方向に沿って形成され、穴部または凹部を設けることにより形成された長辺部からなる衝撃緩和部と、
を備えたことを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記長辺部の先端を前記音叉型圧電振動片本体の長手方向と交わる方向に沿って延設して、前記振動腕の先端側に短辺部を形成し、当該短辺部の下面に前記マウント部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動片。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の音叉型圧電振動片において、前記振動腕と前記長辺部との間隔は、音叉型圧電振動片に衝撃が加わったときに振動腕が振動する振幅よりも広いことを特徴とする音叉型圧電振動片。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004141105A JP3951058B2 (ja) | 2003-08-19 | 2004-05-11 | 音叉型圧電振動片 |
US10/916,602 US7015631B2 (en) | 2003-08-19 | 2004-08-12 | Tuning-fork type piezo-oscillator piece and mounting method thereof |
CNB200410058590XA CN100440562C (zh) | 2003-08-19 | 2004-08-18 | 音叉型压电振动片及音叉型压电振动片的安装方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295606 | 2003-08-19 | ||
JP2004141105A JP3951058B2 (ja) | 2003-08-19 | 2004-05-11 | 音叉型圧電振動片 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006287991A Division JP4529143B2 (ja) | 2003-08-19 | 2006-10-23 | 音叉型圧電振動片 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005102138A JP2005102138A (ja) | 2005-04-14 |
JP2005102138A5 JP2005102138A5 (ja) | 2005-09-22 |
JP3951058B2 true JP3951058B2 (ja) | 2007-08-01 |
Family
ID=34315608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004141105A Expired - Lifetime JP3951058B2 (ja) | 2003-08-19 | 2004-05-11 | 音叉型圧電振動片 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7015631B2 (ja) |
JP (1) | JP3951058B2 (ja) |
CN (1) | CN100440562C (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7521846B2 (en) | 2004-10-20 | 2009-04-21 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device |
Families Citing this family (78)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8766745B1 (en) | 2007-07-25 | 2014-07-01 | Hrl Laboratories, Llc | Quartz-based disk resonator gyro with ultra-thin conductive outer electrodes and method of making same |
US7994877B1 (en) | 2008-11-10 | 2011-08-09 | Hrl Laboratories, Llc | MEMS-based quartz hybrid filters and a method of making the same |
JP4049017B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
JP4415382B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
JP4658625B2 (ja) * | 2005-01-25 | 2011-03-23 | 日本電波工業株式会社 | 角速度センサ及びその製造方法 |
JP4415389B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
EP1732218B1 (en) * | 2005-06-09 | 2008-12-10 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
ATE390758T1 (de) * | 2005-06-09 | 2008-04-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator und anordnung mit dem in ein gehäuse eingeschlossenen resonator |
US7112914B1 (en) | 2005-06-09 | 2006-09-26 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
DE602005012488D1 (de) * | 2005-06-09 | 2009-03-12 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Kompakter piezoelektrischer Resonator |
US7084556B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-08-01 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
US20060279176A1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-12-14 | Eta Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
US7138752B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-11-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
EP1732220B1 (en) * | 2005-06-09 | 2008-03-26 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
WO2007004348A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Daishinku Corporation | 圧電振動片及び圧電振動デバイス |
US7694734B2 (en) * | 2005-10-31 | 2010-04-13 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for insulating a resonator downhole |
JP4389924B2 (ja) | 2006-11-07 | 2009-12-24 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電デバイス |
JP5015678B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2012-08-29 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電振動片 |
US10266398B1 (en) | 2007-07-25 | 2019-04-23 | Hrl Laboratories, Llc | ALD metal coatings for high Q MEMS structures |
JP5062413B2 (ja) * | 2007-11-08 | 2012-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子 |
EP2071721B1 (en) * | 2007-12-13 | 2011-02-23 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Piezoelectric resonator in a small-sized package |
JP4629094B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
US20090174289A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Adaptivenergy Llc | Magnetic impulse energy harvesting device and method |
US8151640B1 (en) | 2008-02-05 | 2012-04-10 | Hrl Laboratories, Llc | MEMS on-chip inertial navigation system with error correction |
US7802356B1 (en) | 2008-02-21 | 2010-09-28 | Hrl Laboratories, Llc | Method of fabricating an ultra thin quartz resonator component |
JP2009206759A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
EP2256923A4 (en) * | 2008-03-18 | 2013-11-06 | Citizen Holdings Co Ltd | PIEZOELECTRIC DEVICE |
US8446079B2 (en) * | 2008-05-23 | 2013-05-21 | Statek Corporation | Piezoelectric resonator with vibration isolation |
JP5181938B2 (ja) * | 2008-09-03 | 2013-04-10 | 株式会社大真空 | 音叉型水晶振動子 |
WO2010035714A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動デバイス |
JP4685910B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2011-05-18 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP4709884B2 (ja) | 2008-09-29 | 2011-06-29 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP4714770B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2011-06-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
US7811862B2 (en) * | 2008-12-17 | 2010-10-12 | Infineon Technologies Ag | Thermally enhanced electronic package |
US8067880B2 (en) * | 2008-12-27 | 2011-11-29 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibration element and electronic component |
CN102025342B (zh) * | 2009-09-18 | 2014-12-17 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器、以及电子仪器 |
TW201131975A (en) * | 2009-09-18 | 2011-09-16 | Seiko Epson Corp | Vibrating reed, vibrator, oscillator, and electronic device |
US8176607B1 (en) | 2009-10-08 | 2012-05-15 | Hrl Laboratories, Llc | Method of fabricating quartz resonators |
JP5593979B2 (ja) * | 2009-11-11 | 2014-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、センサー及び電子機器 |
US8299863B2 (en) * | 2009-12-25 | 2012-10-30 | Seiko Epson Corporation | Flexural mode resonator element, resonating device, and electronic apparatus |
US8283988B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-10-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
JP5782707B2 (ja) * | 2010-12-01 | 2015-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 電子機器 |
JP5732728B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2015-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
US8692632B2 (en) * | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
JP2011220997A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-11-04 | Seiko Epson Corp | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 |
JP5085681B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
JP5062784B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-10-31 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
JP5085682B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP2010246126A (ja) * | 2010-04-28 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
US8912711B1 (en) * | 2010-06-22 | 2014-12-16 | Hrl Laboratories, Llc | Thermal stress resistant resonator, and a method for fabricating same |
JP5585240B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2014-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片及び振動デバイス |
US20120098389A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Micro Crystal Ag | Method for mounting a piezoelectric resonator in a case and packaged piezoelectric resonator |
CN102455193A (zh) * | 2010-10-26 | 2012-05-16 | 查红红 | 一种开放式传感器中的碗型振子及其成型方法 |
US9130148B2 (en) * | 2011-02-25 | 2015-09-08 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator plate, piezoelectric resonator, method for manufacturing piezoelectric resonator plate, and method for manufacturing piezoelectric resonator |
TW201242246A (en) * | 2011-02-25 | 2012-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, vibration gyro element, vibration gyro sensor, and electronic apparatus |
JP5911349B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-04-27 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
TWI493866B (zh) * | 2012-05-10 | 2015-07-21 | Siward Crystal Technology Co Ltd | Piezoelectric components |
JP6119134B2 (ja) | 2012-07-19 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP6155897B2 (ja) | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
US9599470B1 (en) | 2013-09-11 | 2017-03-21 | Hrl Laboratories, Llc | Dielectric high Q MEMS shell gyroscope structure |
JP6346423B2 (ja) * | 2013-09-25 | 2018-06-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子 |
JP6216213B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2017-10-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
US9879997B1 (en) * | 2013-11-19 | 2018-01-30 | Hrl Laboratories, Llc | Quartz resonator with plasma etched tethers for stress isolation from the mounting contacts |
JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
US9977097B1 (en) | 2014-02-21 | 2018-05-22 | Hrl Laboratories, Llc | Micro-scale piezoelectric resonating magnetometer |
JP6636683B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2020-01-29 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
US9991863B1 (en) | 2014-04-08 | 2018-06-05 | Hrl Laboratories, Llc | Rounded and curved integrated tethers for quartz resonators |
JP5787007B2 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
US10308505B1 (en) | 2014-08-11 | 2019-06-04 | Hrl Laboratories, Llc | Method and apparatus for the monolithic encapsulation of a micro-scale inertial navigation sensor suite |
JP6450551B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-01-09 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
JP5885825B1 (ja) * | 2014-12-25 | 2016-03-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
US10031191B1 (en) | 2015-01-16 | 2018-07-24 | Hrl Laboratories, Llc | Piezoelectric magnetometer capable of sensing a magnetic field in multiple vectors |
JP6536783B2 (ja) * | 2015-02-09 | 2019-07-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
WO2017110126A1 (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
US10175307B1 (en) | 2016-01-15 | 2019-01-08 | Hrl Laboratories, Llc | FM demodulation system for quartz MEMS magnetometer |
JP6769487B2 (ja) * | 2016-08-30 | 2020-10-14 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
JP6939876B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2021-09-22 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
WO2023013169A1 (ja) * | 2021-08-03 | 2023-02-09 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5458395A (en) | 1977-10-19 | 1979-05-11 | Matsushima Kogyo Kk | Piezooelectric vibrator |
JPS5685921A (en) | 1979-12-14 | 1981-07-13 | Seiko Epson Corp | Quartz oscillator |
JPS5685922A (en) | 1979-12-14 | 1981-07-13 | Seiko Epson Corp | Quartz oscillator |
JPS57185717A (en) | 1981-05-12 | 1982-11-16 | Citizen Watch Co Ltd | Tuning fork type quartz oscillator |
JP2002319838A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-10-31 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス及びそのパッケージ |
JP3900846B2 (ja) * | 2001-03-02 | 2007-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
TW567664B (en) * | 2001-10-09 | 2003-12-21 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
JP4049017B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
-
2004
- 2004-05-11 JP JP2004141105A patent/JP3951058B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-08-12 US US10/916,602 patent/US7015631B2/en active Active
- 2004-08-18 CN CNB200410058590XA patent/CN100440562C/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7521846B2 (en) | 2004-10-20 | 2009-04-21 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1585146A (zh) | 2005-02-23 |
CN100440562C (zh) | 2008-12-03 |
JP2005102138A (ja) | 2005-04-14 |
US7015631B2 (en) | 2006-03-21 |
US20050062368A1 (en) | 2005-03-24 |
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