JP4879963B2 - 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 - Google Patents
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Description
この構成によれば、圧電振動片は第1溝部及び第2溝部の基部側の形状及び長さなどを調整することで、第1振動腕部及び第2振動腕部の隙間のエッチングの影響により第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスが不良になることを防止できる。
隙間のエッチングにより振動腕部の剛性の相対的に強くなった側の溝部を長くすることで、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
振動腕部の股部のエッチングにより振動腕部の剛性の強くなった側の溝部をより大きくエッチングし形状を変えることにより、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
第5観点の構成によれば、第1溝部の基部側の形状をU字型にし、第2溝部の基部側の形状をそれより大きくエッチングされた箱型にすることで、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
第6観点の構成によれば、第1溝部の基部側の形状をV字型にし、第2溝部の基部側の形状をそれより大きくエッチングされた箱型にすることで、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
第7観点の構成によれば、第1溝部の基部側の形状をV字型にし、第2溝部の基部側の形状をそれより大きくエッチングされたU字型することで、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
振動腕部の股部のエッチングによって振動腕部の剛性が相対的に強くなった側の溝部を、より大きくエッチングし非対称的な形状にすることで、第1振動腕部及び第2振動腕部の剛性バランスをとることができる。
第10の観点の圧電振動子は、第1観点ないし第9観点のいずれかの圧電振動片とその圧電振動片を収納するパッケージとを有する。
第10観点の圧電振動子及び第11観点の圧電発振器は、第1観点ないし第9観点のいずれかの圧電振動片を用いることで、周波数がシフトし、所望の周波数からずれることを防止できる。
(第1の実施例)
第1の実施例の音叉型圧電振動片10について、図1及び図2を参照しながら説明する。
図1は、本実施例の音叉型圧電振動片10を示す図であり、(a)はその平面図で、(b)は−X方向から見た側面図である。
基部11の縦方向の長さL1は、例えば0.58mmないし0.64mmに形成されている。この基部11から突出して配置されている第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bの縦方向の長さL2は約1.45mmないし1.65mmに形成されている。従って、第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bの長さL2に対する基部11の長さL1は、約40パーセントとなっている。また、第1溝部13Aの長さL3の範囲は第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bの長さL2の約60パーセントから70パーセントであり、0.87mmないし1.12mmに形成されている。第2溝部13Bの長さL4の範囲は第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bの長さL2の約61パーセントから75パーセントであり、0.90mmないし1.30mmに形成されている。つまり、本実施例の第2溝部13Bは第1溝部13Aに比べて基部11側に0.03mmないし0.17mmほど長く形成されている。したがって、第1溝部13Aと第2溝部13Bとは、第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bの間の中心線AXを中心として線対称でない。
第2の実施例の音叉型圧電振動片10について、図3を参照しながら説明する。
図3は、第2の実施例に係る音叉型圧電振動片10の平面図である。図3(a)では第1振動腕部12A側の端部16aをU字型にし、第2振動腕部12B側の端部16bを箱型にする。図3(b)では第1振動腕部12A側の端部17aをV字型にし、第2振動腕部12B側の端部17bを箱型にする。図3(c)では第1振動腕部12A側の端部18aをV字型にし、第2振動腕部12B側の端部18bをU字型にする。ここで、第2の実施例は第1の実施例に比べれば、溝部の長さ及び端部の形状だけが異なっているので、説明した部分は省略し、同じ構成要素については同符号を付し説明する。
第3の実施例の音叉型圧電振動片10について、図4を参照しながら説明する。
図4は、第3の実施例に係る音叉型圧電振動片10の平面図である。図4(a)の溝部は端部19a、19bの形状を溝部の中心線BX(図のY軸の方向)に対して線対称でない同じ斜めにし、図4(b)の溝部は端部20a、20bの形状を中心線BXに対して線対称でない階段のような形状にする。なお、第3の実施例は第2の実施例に比べれば、端部だけ異なっているので、説明した部分は省略し、同じ構成要素については同符号を付し説明する。
第1の変形例の音叉型圧電振動片10について、図5を参照しながら説明する。
図5は、第1の変形例に係る音叉型圧電振動片10の平面図である。図5(a)では第1溝部21A端部21aの形状を箱型に、第1溝部21Aより長い第2溝部21Bの端部21bを中心線BX(図のY軸の方向)に対して対称でない斜めにする。図5(b)では第1溝部22A端部22aの形状をV字型に、第1溝部22Aより長い第2溝部22Bの端部22bを中心線BX(図のY軸の方向)に対して対称でない階段のような形状にする。なお、第1の変形例は第1の実施例に比べれば、端部だけ異なっているので、説明した部分は省略し、同じ構成要素については同符号を付し説明する。
本変形例の音叉型圧電振動片10について、図6を参照しながら説明する。
図6(a)は、本発明の一つの変形例を示す平面図である。図6(a)に示されたように、股部31は第1振動腕部12A側が第2振動腕部12B側より大きくエッチングされて第2振動腕部12B側に異形部32が形成されている。第1溝部23A、23C及び第2溝部23B、23DはY軸方向で二つに分けている。ここで、基部11側の第1溝部23Aの端部23aはV字型(第2の実施例と同じ形状)で、基部11側の第2溝部23Bの端部23bは箱型(第1の実施例と同じ長さ)である。そして、第1の実施例のように第1溝部23Aは第2溝部23Bより短くになっている。さらに、第1振動腕部12A及び第2振動腕部12Bは、基部11に対する付け根の箇所で先端側に向かって徐々に縮幅(幅はW5からW6になる)した後、途中のある点Pから先端側まではW5より大きな等しい寸法W7で延びる。
圧電振動子40及び圧電発振器50について、図7を参照しながら説明する。なお、同じ構成要素については同符号を付し説明する。
11 … 基部
12A … 第1振動腕部
12B … 第2振動腕部
13A、14A、15A、16A、17A、18A、19A、20A、21A、22A、23A、23A、23C、24C … 第1溝部
13B、14B、15B、16B、17B、18B、19B、20B、21B、22B、23B、24B、23D、24D … 第2溝部
31 … 股部
32 … 異形部
40 … 圧電振動子
44 … パッケージ
45 … 蓋体
46 … 導電性接着剤
47 … 封止剤
48 … 集積回路
50 … 圧電発振器
L1 … 基部の長さ
L2 … 振動腕部の長さ
L3 … 第1溝部の長さ
L4 … 第2溝部の長さ
W1 … 基部の幅
W2 … 振動腕部の幅
W3 … 振動腕部の隙間の幅
W4 … 溝部の幅
P … 幅寸法の変化点
W5 … 振動腕部の基部側の付け根の箇所の幅
W6 … P点での幅
W7 … 先端の幅
D1 … 振動腕部の厚さ
D2 … 溝部の厚さ
AX … 一対の振動腕部の間の中心線
BX … 溝部のY方向の中心線
Claims (8)
- 基部と、
前記基部の一端側から所定方向に突出する第1振動腕部及び第2振動腕部と、
前記第1振動腕部の表裏面の少なくとも一方の面に前記所定方向に伸びて形成されている第1溝部と、
前記第2振動腕部の表裏面の少なくとも一方の面に前記所定方向に伸びて形成されている第2溝部と、を備え、
前記第1溝部の長さと前記第2溝部の長さとが異なり、前記第2溝部の端部は前記第1溝部の端部よりも前記基部側に伸びて形成されることを特徴とする圧電振動片。 - 前記第1振動腕部と前記第2振動腕部との間で前記基部に異形部が形成され、
前記異形部は前記第1振動腕部側よりも前記第2振動腕部側に大きく形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。 - 前記第1溝部の前記基部側の端部と前記第2溝部の前記基部側の端部とは前記表裏面の少なくとも一方の面の法線方向から観て同じ形状である請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片。
- 前記第1溝部の前記基部側の端部と前記第2溝部の前記基部側の端部との形状は、箱型、U字型又はV字型であることを特徴とする請求項3に記載の圧電振動片。
- 前記第1溝部の前記基部側の端部と前記第2溝部の前記基部側の端部とは前記表裏面の少なくとも一方の面の法線方向から観て異なる形状である請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片。
- 基部と、
前記基部の一端側から所定方向に突出する第1振動腕部及び第2振動腕部と、
前記第1振動腕部の表裏面の少なくとも一方の面に前記所定方向に伸びて形成されている第1溝部と、
前記第2振動腕部の表裏面の少なくとも一方の面に前記所定方向に伸びて形成されている第2溝部と、
前記第1振動腕部と前記第2振動腕部との間で前記基部に形成された異形部とを備え、
前記異形部は前記第1振動腕部側よりも前記第2振動腕部側に大きく形成され、前記第2溝部の前記基部側の端部は前記第1溝部の基部側の端部よりも大きな体積がエッチングされていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかの圧電振動片と、
前記圧電振動片を収納するパッケージと、
を有することを特徴とする圧電振動子。 - 請求項7の圧電振動子と、
前記パッケージ内に収納された発振回路と、
を有することを特徴とする圧電発振器。
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