JP5712721B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
窒化物半導体からなる下地層の(0001)面上に、窒化物半導体からなる電子供給層、窒化物半導体からなる電子走行層の順に積層され、
電子走行層における電子供給層と反対の面上に、ゲート電極、ソース電極、及びドレイン電極が設けられるものである。
(数1)
PSP_ABN(x)=x・PSP_AN+(1−x)・PSP_BN+x・(1−x)・bABN
ここで、2元窒化物半導体の自発分極は、
PSP_AlN=−0.090(C/m2)、
PSP_GaN=−0.034(C/m2)、
PSP_InN=−0.042(C/m2)である。
bAlGaN=0.021(C/m2)、
bInGaN=0.037(C/m2)、
bAlInN=0.070(C/m2)である。
(数2)
PPZ_ABN(x)=2・ε・{e31−e33・(c13/c33)}
格子歪εは、下地層15の格子定数a0と、下地層15にエピタキシャル成長した窒化物半導体層(本実施形態において、電子供給層17及び電子走行層19)の格子定数a1により、次式で示される
(数3)
ε=(a0−a1)/a1
数式2に示すように、ピエゾ分極PPZ_ABN(x)は格子歪εに比例しており、数式3に示す格子歪εが引張歪となる場合には、[000−1]方向に分極しているということである。一方、格子歪εが圧縮歪となる場合には、[0001]方向に分極しているということである。
半導体装置10の構成は、図1に示したものと同じであるため、その図示は省略する。本例では、電子走行層19として、AlGaNに代えて、InGaNを採用している。その他の構成については、上記例と同じである。
半導体装置10の構成は、図1に示したものと同じであるため、その図示は省略する。本例では、変形例1に示す構成に対し、下地層15を、AlGaNから、AlInNに代えている。その他の構成については、変形例1と同じである。
11・・・基板
15・・・下地層
15a・・・一面
17・・・電子供給層
19・・・電子走行層
27・・・二次元電子ガス(2DEG)
Claims (10)
- 窒化物半導体からなる下地層の(0001)面上に、窒化物半導体からなる電子供給層、窒化物半導体からなる電子走行層の順に積層され、
前記電子走行層における前記電子供給層と反対の面上に、ゲート電極、ソース電極、及びドレイン電極が設けられ、
前記電子供給層は、前記下地層よりも格子定数が大きく、格子歪が前記下地層に対して圧縮歪とされており、
[0001]方向を分極の正方向とした場合、前記電子供給層の自発分極とピエゾ分極の和P2が、前記電子走行層の自発分極とピエゾ分極の和P1よりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 前記電子供給層のバンドギャップは、前記電子走行層のバンドギャップよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記電子供給層はAlInNからなり、
前記電子走行層はAlGaNからなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記電子供給層はAlInNからなり、
前記電子走行層はInGaNからなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記電子供給層の自発分極とピエゾ分極の和P2が、前記下地層の自発分極とピエゾ分極の和P3よりも大きいことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記下地層は、AlGaNからなることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記下地層は、AlInNからなることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記下地層は、基板上に積層されるともに(0001)面が前記基板と反対の面とされ、
前記基板に対して前記下地層の格子歪が緩和されていることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記下地層は、窒化物半導体からなる基板であることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記電子走行層における前記電子供給層と反対の面上に、前記電子走行層よりも格子定数が大きく、且つ、前記電子走行層よりもバンドギャップが小さい窒化物半導体からなるコンタクト層を介して、前記ソース電極及び前記ドレイン電極が設けられていることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項に記載の半導体装置。
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JP2011066366A JP5712721B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 半導体装置 |
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JP2012204512A JP2012204512A (ja) | 2012-10-22 |
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JP2011066366A Active JP5712721B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 半導体装置 |
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FR2875338B1 (fr) * | 2004-09-13 | 2007-01-05 | Picogiga Internat Soc Par Acti | Methode d'elaboration de structures hemt piezoelectriques a desordre d'alliage nul |
JP5388839B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2014-01-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Iii族窒化物半導体電界効果トランジスタ |
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2011
- 2011-03-24 JP JP2011066366A patent/JP5712721B2/ja active Active
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