JP5705466B2 - 可動物体の位置を制御する方法、位置決め装置を制御する制御システム、およびリソグラフィ装置 - Google Patents
可動物体の位置を制御する方法、位置決め装置を制御する制御システム、およびリソグラフィ装置 Download PDFInfo
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Description
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームBに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームBに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。スキャンモードにおいては、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光時のターゲット部分の幅(非スキャン方向)が限定される一方、スキャン動作の長さによって、ターゲット部分の高さ(スキャン方向)が決まる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを実質的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームBに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、パルス放射源SOを採用することができ、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、本明細書に記載した型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (9)
- 少なくとも1つのリラクタンスモータを介して所定の自由度で変位可能な位置決め装置を制御する制御システムであって、
少なくとも1つの力感知素子であって、対応するリラクタンスモータによって加えられた力の量を感知する力感知素子と、
対応する力感知素子からの出力に基づいて前記対応するリラクタンスモータによって加えられた前記力の量を調整するコントローラと、を含み、
前記コントローラは、前記対応する力感知素子からの、前記対応するリラクタンスモータによって加えられた前記力の量を示す信号を含む1つ以上の制御信号を受信し、前記位置決め装置のための速度軌道計画に関連付けられた加速軌道計画を取得し、前記加速軌道計画に関連付けられた力軌道計画を取得し、前記対応するリラクタンスモータによって加えられた前記力の量を、前記力軌道計画から取得した必要な力の量と比較し、前記比較に基づいて前記対応するリラクタンスモータによって加えられた前記力の量を調整して所望の力を求める、制御システム。 - 前記コントローラは、前記対応するリラクタンスモータに供給される電流を調節することによって前記力の量を調整する、請求項1に記載の制御システム。
- 前記コントローラは、前記受信すること、前記加速軌道計画を取得すること、前記力軌道計画を取得すること、前記比較すること、および必要に応じて前記調整して所望の力を維持することを繰り返すようにさらに構成される、請求項1又は2に記載の制御システム。
- 前記コントローラは、前記位置決め装置の各移動イベントに従って前記対応するリラクタンスモータのコアと磁束保持バーとの間のギャップのサイズを調整する、請求項1から3の何れか一項に記載の制御システム。
- 前記制御システムおよび前記位置決め装置はリソグラフィ装置の一部である、請求項1から4の何れか一項に記載の制御システム。
- 前記少なくとも1つの力感知素子は、圧電セラミックおよびひずみゲージのうちの少なくとも1つを含む、請求項1から5の何れか一項に記載の制御システム。
- 位置制御ループをさらに含む、請求項1から6の何れか一項に記載の制御システム。
- 放射ビームを調整する照明システムと、
パターニングデバイスを支持するパターニングデバイスステージであって、前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付与された放射ビームを形成することができるパターニングデバイスステージと、
基板を保持する基板ステージと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン付与された放射ビームを投影する投影システムと、
少なくとも第1自由度で前記基板および前記パターニングデバイスのうちの1つを保持するショートストロークモジュールの位置を制御する位置決めシステムと、
を含むリソグラフィ装置であって、
前記位置決めシステムは、
前記第1自由度で前記ショートストロークモジュールを移動させる1つ以上のリラクタンスモータを含む第1モータアセンブリと、
前記第1自由度で前記ショートストロークモジュールを移動させる第2のタイプの1つ以上のモータを含む第2モータアセンブリと、
少なくとも前記第1モータアセンブリを制御する制御システムと、を備え、
前記制御システムは、請求項1から7の何れか一項に記載の制御システムである、リソグラフィ装置。 - 第1自由度で可動物体を位置決めする方法であって、
前記第1自由度で前記可動物体を加速させる1つ以上のリラクタンスモータを含むモータアセンブリを設けることと、
前記モータアセンブリによって加えられた力の量を示す少なくとも1つのフィードバック信号を供給することと、
前記少なくとも1つのフィードバック信号に基づいて前記モータアセンブリによって加えられた前記力の量を調整するための少なくとも1つの制御信号を供給することと、
前記少なくとも1つのフィードバック信号に基づいて前記少なくとも1つの制御信号を決定するコントローラを設けることと、を含み、
前記コントローラは、前記物体のための速度軌道計画に関連付けられた加速軌道計画を取得すること、前記物体のための前記加速軌道計画に関連付けられた力軌道計画を取得すること、前記モータアセンブリによって加えられた前記力の量を、前記力軌道計画から取得された必要な力の量と比較すること、及び、前記少なくとも1つの制御信号を介して提供される、前記比較に基づいた力調整を決定すること、によって前記少なくとも1つの制御信号を決定する、方法。
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