JP5679547B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、被着体に供給される接着シートの張力を所定範囲内に長期に亘って容易に維持することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記接着シートを被着体に向かって供給する供給手段と、この供給手段から供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付可能な貼付手段とを備え、
前記供給手段は、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与可能な張力付与ローラを含み、この張力付与ローラは、前記原反との接触面積を縮小させる接触面積縮小手段を有する、という構成を採っている。
前記接着シートを被着体に向かって供給する供給手段と、この供給手段から供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付可能な貼付手段とを備え、
前記供給手段は、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与可能な張力付与ローラを含み、この張力付与ローラは、円柱面に樹脂等、摩擦力を低下させることができるものをコーティングした低摩擦手段を採用することによって当該低摩擦手段を採用しない場合に比べて前記原反との摩擦力を低下させる、という構成を採っている。
前記接着シートとの接触面積を縮小させる接触面積縮小手段を有する張力付与ローラにより、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与しながら当該接着シートを被着体に向かって供給する工程と、
供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
前記接着シートとの摩擦力を低摩擦手段を採用することによって当該低摩擦手段を採用しない場合に比べて摩擦力を低下させる張力付与ローラにより、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与しながら当該接着シートを被着体に向かって供給する工程と、
供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
また、低摩擦手段により、予め摩擦係数を小さくしておいても、新品のときの抵抗力と、塵や埃等が付着したときの抵抗力とで変化量が少なくなり、上記同様の効果がある。これにより、張力付与ローラを交換したり清掃したりする作業負担を軽減しつつ、接着シートに付与する張力を所定範囲内に長期に亘って容易に維持することが可能となる。
なお、本明細書及び特許請求の範囲において、「接触面積を縮小させる」とは、張力付与ローラの円柱面に凹凸を設け、当該凹凸を特に設けない円柱面とした場合に比べ、原反への接触面積を縮小させることを意味する。
シート貼付装置10は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートSを、テーブルT上のウエハW及びリングフレームRFに向かって供給する供給手段12と、供給手段12から供給された接着シートSをウエハW及びリングフレームRFに押圧して貼付可能な貼付手段13とを備えて構成されている。なお、ウエハWの回路面(図1中下面)には、保護シートPSが貼付されている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
12 供給手段
13 貼付手段
21 フィードローラ(張力付与ローラ)
22 第1ピンチローラ(張力付与ローラ)
32 接触面積縮小手段
43 低摩擦手段
R 原反
RF リングフレーム(被着体)
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを含む原反の前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着シートを被着体に向かって供給する供給手段と、この供給手段から供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付可能な貼付手段とを備え、
前記供給手段は、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与可能な張力付与ローラを含み、この張力付与ローラは、円柱面に樹脂等、摩擦力を低下させることができるものをコーティングした低摩擦手段を採用することによって当該低摩擦手段を採用しない場合に比べて前記原反との摩擦力を低下させることを特徴とするシート貼付装置。 - 請求項1記載のシート貼付装置を用いて基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを含む原反の前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートとの摩擦力を低摩擦手段を採用することによって当該低摩擦手段を採用しない場合に比べて摩擦力を低下させる張力付与ローラにより、前記被着体に貼付される接着シートに張力を付与しながら当該接着シートを被着体に向かって供給する工程と、
供給された接着シートを基材シートの他方の面側から押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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