JP2012035888A - シート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な構造で接着シートを確実に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】シート剥離装置2は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートSが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反Rを繰り出す繰出手段4と、繰出手段4で繰り出された原反Rの剥離シートから接着シートSを剥離する剥離手段5とを備え、剥離手段5は、剥離シートRLを折り曲げる折曲端縁52と、折曲端縁52に沿って設けられ、剥離シートRLを部分的に接着シートSから離れる方向に変形させる変形手段53とを備えている。
【選択図】図2
【解決手段】シート剥離装置2は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートSが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反Rを繰り出す繰出手段4と、繰出手段4で繰り出された原反Rの剥離シートから接着シートSを剥離する剥離手段5とを備え、剥離手段5は、剥離シートRLを折り曲げる折曲端縁52と、折曲端縁52に沿って設けられ、剥離シートRLを部分的に接着シートSから離れる方向に変形させる変形手段53とを備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、シート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出し、繰り出された原反の剥離シートから接着シートを剥離する剥離装置および貼付装置において、剥離シートに対する接着シートの仮着力が強い場合に、当該接着シートを確実に剥離シートから剥離するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の剥離装置は、予め幅方向に二分割された剥離シートに仮着された接着シートを剥離シートから剥離するものであり、剥離シートを剥離プレートの傾斜縁で斜めに折り返して繰出方向に対して横方向に方向転換させることで、剥離シートから接着シートを剥離するように構成されている。
特許文献1に記載の剥離装置は、予め幅方向に二分割された剥離シートに仮着された接着シートを剥離シートから剥離するものであり、剥離シートを剥離プレートの傾斜縁で斜めに折り返して繰出方向に対して横方向に方向転換させることで、剥離シートから接着シートを剥離するように構成されている。
しかしながら、特許文献1に記載の剥離装置では、2つの剥離シートをそれぞれ別々の方向に方向転換させるため、剥離シートを繰出方向に対して左右方向に送り出すことになり、その後も剥離シートを複数回にわたって方向転換させる必要があるため、装置の構造が複雑化し、装置全体が大型化してしまうという不都合や、予め幅方向に二分割された剥離シートが採用された原反しか対応ができないという不都合がある。
本発明は、簡易な構造で接着シートを確実に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる折曲端縁と、前記折曲端縁に沿って設けられ、前記剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させる変形手段とを備えていることを特徴とする。
本発明のシート剥離装置において、前記剥離手段は、前記原反を前記剥離シート側から案内するガイド面を備え、前記変形手段は、前記ガイド面を交差する方向に突出した第1突出部を備えて構成されることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置において、前記剥離手段は、前記原反を前記剥離シート側から案内するガイド面を備え、前記変形手段は、前記ガイド面方向に突出した第2突出部を備えて構成されることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置において、前記剥離手段は、前記原反を前記剥離シート側から案内するガイド面を備え、前記変形手段は、前記ガイド面方向に突出した第2突出部を備えて構成されることが好ましい。
本発明のシート剥離方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出し、繰り出された原反の剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させつつ、当該剥離シートを折り曲げて当該剥離シートから接着シートを剥離することを特徴とする。
一方、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる折曲端縁と、前記折曲端縁に沿って設けられ、前記剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させる変形手段とを備えていることを特徴とする。
本発明のシート貼付装置は、前記基材シート側から前記接着シートを保持する保持手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記原反の繰出方向と同じ方向であって、前記原反の繰出速度と同じ速度で前記保持手段を移動可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記原反の繰出方向と同じ方向であって、前記原反の繰出速度と同じ速度で前記保持手段を移動可能に設けられていることが好ましい。
本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出し、繰り出された原反の剥離シートを部分的に接着シートから離れる方向に変形させつつ、当該剥離シートを折り曲げて当該剥離シートから接着シートを剥離し、剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、剥離シートを部分的に接着シートから離れる方向に変形させるため、接着シートの一部が剥離シートから剥離した状態または剥離しかかった状態で剥離シートを折り曲げることができ、例えば、接着シートを所定の形状に切断するときに形成される剥離シートの抜き跡に接着シートの接着剤が入り込んでいるような場合や、接着シートの接着剤が染み出さないように、接着シートの外縁部にニス等の封止剤が塗布された場合であって、剥離シートに対する接着シートの仮着力が非常に強いものであっても、当該接着シートを確実に剥離シートから剥離することができる。また、従来例のように、剥離シートを繰出方向に対して左右方向に送り出したりする必要がないため、装置の構造が複雑化したり、装置全体が大型化したりすることを抑制することができる上、予め幅方向に二分割された剥離シートが採用された原反でなくとも対応が可能となる。従って、簡易な構造で剥離シートから接着シートを確実に剥離することができる。
本発明において、基材シート側から接着シートを保持する保持手段を設ければ、保持手段によって接着シートを一旦保持してから被着体に貼付することができるので、接着シートを確実に被着体に貼付することができる。
また、本発明において、原反の繰出方向と同じ方向であって、原反の繰出速度と同じ速度で保持手段を移動可能に設ければ、保持手段により接着シートを保持しながら剥離シートを接着シートから離れる方向に変形させることができる上、剥離シートから剥離されるまで接着シートが保持され続けるため、接着シートを確実に剥離させることができ、剥離した接着シートを保持手段で保持し、被着体に確実に貼付することができる。
また、本発明において、原反の繰出方向と同じ方向であって、原反の繰出速度と同じ速度で保持手段を移動可能に設ければ、保持手段により接着シートを保持しながら剥離シートを接着シートから離れる方向に変形させることができる上、剥離シートから剥離されるまで接着シートが保持され続けるため、接着シートを確実に剥離させることができ、剥離した接着シートを保持手段で保持し、被着体に確実に貼付することができる。
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、各実施形態における明示のない例えば、上、下、左、右、または、手前、奥という方向を示す表現は、全て図1を基準に用いられている。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、各実施形態における明示のない例えば、上、下、左、右、または、手前、奥という方向を示す表現は、全て図1を基準に用いられている。
〔第1実施形態〕
図1および図2に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された接着シートSを剥離シートRLから剥離するとともに、剥離した接着シートSを被着体Wに貼付するものである。ここで、接着シートSは、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADが積層されて構成されるとともに、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLの一方の面に仮着された原反Rとして予め準備されている。
図1および図2に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された接着シートSを剥離シートRLから剥離するとともに、剥離した接着シートSを被着体Wに貼付するものである。ここで、接着シートSは、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADが積層されて構成されるとともに、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLの一方の面に仮着された原反Rとして予め準備されている。
シート貼付装置1は、原反Rの剥離シートRLから接着シートSを剥離するシート剥離装置2と、剥離された接着シートSを保持する保持手段としての吸着盤6と、吸着盤6で保持した接着シートSを被着体Wに押圧して貼付する押圧手段3とを備えている。シート剥離装置2は、原反Rを繰り出す繰出手段4と、繰り出された原反Rの剥離シートRLを折り返すことで当該剥離シートRLから接着シートSを剥離する剥離手段としてのピールプレート5とを備えている。
繰出手段4は、その全体がフレーム7に支持されている。この繰出手段4は、原反Rをロール状に巻回して支持する支持ローラ41と、原反Rを案内するガイドローラ42Aと、駆動機器としての回動モータ43によって駆動するブレーキローラ44と、ブレーキローラ44との間に原反Rを挟み込むピンチローラ45と、接着シートSが剥離された剥離シートRLを案内するガイドローラ42Bと、駆動機器としての回動モータ46によって駆動する駆動ローラ47と、駆動ローラ47との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ48と、図示しない駆動機器によって剥離シートRLを回収する回収ローラ49とを備えている。なお、回動モータ43,46は、それぞれの出力軸の回転速度制御や回転トルクを制御可能なモータで構成され、張力付与手段を構成する。
ピールプレート5は、原反Rを剥離シートRL側から案内するガイド面51と、原反Rの剥離シートRLを折り曲げる折曲端縁52と、この折曲端縁52沿いにガイド面51を交差する方向つまり上方に突出した複数の第1突出部53とを備えている。また、第1突出部53は、原反Rの繰出方向の上流側から折曲端縁52に向かうにしたがって、ガイド面51からの突出量が大きくなるように形成されている。
吸着盤6は、図示しない複数の吸引口を有し、この吸引口によって基材シートBS側から接着シートSを吸着保持可能に構成されている。
押圧手段3は、図示しないフレームに支持された駆動機器としての直動モータ31と、この直動モータ31のスライダ32に設けられ、その出力軸34が吸着盤6の上面部に固定された駆動機器としての直動モータ33とを備えている。
押圧手段3は、図示しないフレームに支持された駆動機器としての直動モータ31と、この直動モータ31のスライダ32に設けられ、その出力軸34が吸着盤6の上面部に固定された駆動機器としての直動モータ33とを備えている。
以上のシート貼付装置1において、剥離シートRLから接着シートSを剥離するとともに、剥離した接着シートSを被着体Wに貼付する手順について説明する。
先ず、図1に示すように原反Rを通紙し、繰出手段4が回動モータ46を駆動して駆動ローラ47を回転させることによって原反Rを繰り出す。この原反Rを繰り出す際、繰出手段4は、回動モータ43を駆動し、ブレーキローラ44を介して原反Rに所定の張力を付与する。具体的には、駆動ローラ47が原反Rを繰り出す力よりも小さな力で、ブレーキローラ44が原反Rに繰り出方向とは反対の方向に力を加える。そして、繰り出された原反Rは、ピールプレート5のガイド面51に沿って繰出方向に案内され、接着シートSの繰出方向先端側が第1突出部53に達する。その後も原反Rの繰り出しを続行すると、図3(A)、(B)に示すように、剥離シートRLは、第1突出部53の突出方向延長線上に位置する部分が第1突出部53に乗り上っていくのに対し、それ以外の部分は、張力によって引っ張られて接着シートSから離れる方向に変形する。そして、接着シートSは、剥離シートRLから部分的に剥離し、当該接着シートSの繰出方向先端側がピールプレート5の折曲端縁52近傍に達すると、図1の実線で示すように、原反Rの繰り出し動作が一旦停止され、スタンバイ状態となる。
先ず、図1に示すように原反Rを通紙し、繰出手段4が回動モータ46を駆動して駆動ローラ47を回転させることによって原反Rを繰り出す。この原反Rを繰り出す際、繰出手段4は、回動モータ43を駆動し、ブレーキローラ44を介して原反Rに所定の張力を付与する。具体的には、駆動ローラ47が原反Rを繰り出す力よりも小さな力で、ブレーキローラ44が原反Rに繰り出方向とは反対の方向に力を加える。そして、繰り出された原反Rは、ピールプレート5のガイド面51に沿って繰出方向に案内され、接着シートSの繰出方向先端側が第1突出部53に達する。その後も原反Rの繰り出しを続行すると、図3(A)、(B)に示すように、剥離シートRLは、第1突出部53の突出方向延長線上に位置する部分が第1突出部53に乗り上っていくのに対し、それ以外の部分は、張力によって引っ張られて接着シートSから離れる方向に変形する。そして、接着シートSは、剥離シートRLから部分的に剥離し、当該接着シートSの繰出方向先端側がピールプレート5の折曲端縁52近傍に達すると、図1の実線で示すように、原反Rの繰り出し動作が一旦停止され、スタンバイ状態となる。
次いで、被着体Wがコンベア等の搬送路CV上を搬送されてくると、図示しないセンサによって検知されて、ピールプレート5前方の下方所定位置で停止する。被着体Wが停止したことが確認されると、シート貼付装置1は、吸着盤6の図示しない吸引口で吸引を行いつつ、上記同様に回動モータ43,46で原反Rに張力を付与しながら接着シートSを繰り出す。この時、接着シートSは、その一部が折曲端縁52に沿って断続的に剥離シートRLから剥離した状態となっているため、剥離シートRLから簡単に剥離され、折曲端縁52を通り過ぎた時点で剥離シートRLから確実に剥離されて吸着盤6の吸引によって吸着保持される。
この際、押圧手段3は、図3中二点鎖線で示すように、吸着盤6が接着シートSを吸着保持した状態で、直動モータ31を駆動して、原反Rの繰出方向と同じ方向であって、原反Rの繰出速度と同じ速度で吸着盤6を移動させるため、剥離シートRLから剥離されるまで接着シートSが吸着盤6で保持され続け、これにより接着シートSがより確実に剥離されるようになる。
そして、吸着盤6が、図1に二点差線で示すように、被着体W上の所定位置まで移動すると、直動モータ33が吸着盤6を下方に向かって下降させ、接着シートSの接着面を被着体Wに当接させて、接着シートSを被着体Wに押圧して貼付する。
以上のようにして接着シートSを被着体Wに貼付したら、シート貼付装置1は、吸着盤6による接着シートSの吸着保持を解除してから、直動モータ33によって吸着盤6を上昇させるとともに、各部を初期位置に復帰させる。これにより、剥離された接着シートSの被着体Wへの貼付が完了する。
以上のようにして接着シートSを被着体Wに貼付したら、シート貼付装置1は、吸着盤6による接着シートSの吸着保持を解除してから、直動モータ33によって吸着盤6を上昇させるとともに、各部を初期位置に復帰させる。これにより、剥離された接着シートSの被着体Wへの貼付が完了する。
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置1は、剥離シートRLを折曲端縁52に沿って断続的に接着シートSから離れる方向に変形させるため、接着シートSの一部が剥離シートRLから剥離した状態で剥離シートRLを折り曲げることができ、剥離シートRLに対する接着シートSの仮着力が非常に強い原反Rであっても、剥離シートRLから接着シートSを確実に剥離することができる。また、剥離シートRLを繰出方向に対して左右方向に送り出したりする必要がないため、シート貼付装置1の構造を簡略化することができる。
すなわち、シート貼付装置1は、剥離シートRLを折曲端縁52に沿って断続的に接着シートSから離れる方向に変形させるため、接着シートSの一部が剥離シートRLから剥離した状態で剥離シートRLを折り曲げることができ、剥離シートRLに対する接着シートSの仮着力が非常に強い原反Rであっても、剥離シートRLから接着シートSを確実に剥離することができる。また、剥離シートRLを繰出方向に対して左右方向に送り出したりする必要がないため、シート貼付装置1の構造を簡略化することができる。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態を図4に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Aにおけるピールプレート5は、変形手段として第1突出部53にかえて第2突出部54を備えている点で前記第1実施形態と相違する。
すなわち、ピールプレート5の折曲端縁52には、ガイド面51方向に突出した複数の第2突出部54が形成され、これら第2突出部54で変形手段が構成される。このようなピールプレート5を備えたシート貼付装置1Aにおいても、剥離シートRLは、第2突出部54以外の部分が張力によって右方つまり突出に対する陥没方向に引っ張られて接着シートSから離れる方向に変形するため、接着シートSの一部が剥離シートRLから剥離した状態で剥離シートRLが折り曲げられ、接着シートSが剥離シートRLから確実に剥離される。
次に、本発明の第2実施形態を図4に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Aにおけるピールプレート5は、変形手段として第1突出部53にかえて第2突出部54を備えている点で前記第1実施形態と相違する。
すなわち、ピールプレート5の折曲端縁52には、ガイド面51方向に突出した複数の第2突出部54が形成され、これら第2突出部54で変形手段が構成される。このようなピールプレート5を備えたシート貼付装置1Aにおいても、剥離シートRLは、第2突出部54以外の部分が張力によって右方つまり突出に対する陥没方向に引っ張られて接着シートSから離れる方向に変形するため、接着シートSの一部が剥離シートRLから剥離した状態で剥離シートRLが折り曲げられ、接着シートSが剥離シートRLから確実に剥離される。
〔第3実施形態〕
次に、本発明の第3実施形態を図5に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Bは、押圧手段として押圧手段3にかえて押圧ローラ8を備えている点で前記第1および前記第2実施形態と相違する。
すなわち、本実施形態のシート貼付装置1Bは、シート剥離装置2と押圧ローラ8とを備え、シート剥離装置2は、繰出手段4と、第1または第2実施形態のピールプレート5とを備えている(図5は第1実施形態のピールプレート5を示している)。また、押圧ローラ8は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しないフレームに回転自在に支持されている。
次に、本発明の第3実施形態を図5に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Bは、押圧手段として押圧手段3にかえて押圧ローラ8を備えている点で前記第1および前記第2実施形態と相違する。
すなわち、本実施形態のシート貼付装置1Bは、シート剥離装置2と押圧ローラ8とを備え、シート剥離装置2は、繰出手段4と、第1または第2実施形態のピールプレート5とを備えている(図5は第1実施形態のピールプレート5を示している)。また、押圧ローラ8は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しないフレームに回転自在に支持されている。
以上のシート貼付装置1Bにおいて、搬送路CV上の被着体Wがピールプレート5の下方の所定位置に達したことが図示しないセンサによって検知されると、シート貼付装置1Bは、上記同様に回動モータ43,46を駆動して駆動ローラ47を回転させ、搬送路CVの動きに同期して原反Rを繰り出す。すると、接着シートSの折曲端縁52近傍の部分が部分的に剥離した状態で剥離シートRLが引っ張られて折り曲げられるため、接着シートSが剥離シートRLから確実に剥離される。そして、剥離された接着シートSは、押圧ローラ8によって被着体Wの上面に押圧されて被着体Wに貼付される。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
例えば、変形手段は、接着シートSの幅全域に対応する幅に設けてもよいし、接着シートSの幅全域に対応する幅に設けなくてもよい。つまり、楕円、円形、菱形等の剥離初期領域の幅が接着シートSの幅全域よりも小さい場合は、必ずしも接着シートSの幅全域に対応した幅の変形手段でなくてもよい。接着シートSは、剥離初期領域さえ剥離ができれば、他の領域は以外と簡単に剥離ができるからである。このように剥離初期領域の幅が狭い接着シートSの場合、変形手段を構成する第1突出部53や第2突出部54は、複数でなく単数であっても対応が可能となる。
さらに、第1突出部53と第2突出部54とを組み合せたピールプレート5を採用することもできる。
また、剥離シートRLを接着シートSから離れる方向に変形し易くするために、ピールプレート5の内部や、第1、第2突出部53,54の近傍にコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段を設けるように構成してもよい。
さらに、第1突出部53と第2突出部54とを組み合せたピールプレート5を採用することもできる。
また、剥離シートRLを接着シートSから離れる方向に変形し易くするために、ピールプレート5の内部や、第1、第2突出部53,54の近傍にコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段を設けるように構成してもよい。
前記第1および前記第2実施形態では、回動モータ43およびブレーキローラ44によって剥離シートRLに張力を付与していたが、剥離シートRLに張力を付与する手段としてはこれに限られず、例えば、支持ローラ41を回動モータで駆動する構成とし、支持ローラ41と駆動ローラ47との間に回転速度差やトルク差を与えて剥離シートRLに張力を付与するようにしてもよい。
前記第1および前記第2実施形態では、ピールプレート5によって剥離シートRLから剥離される接着シートSを吸着盤6で一旦保持し、吸着盤6で保持した接着シートSを被着体Wに押圧して貼付する押圧手段3を示したが、押圧手段としては、例えば、吸着盤6で保持した接着シートSを圧縮エアで吹き飛ばして被着体に貼付する所謂エアジェットタイプのものとしてもよい。また、前記第1および前記第2実施形態では、吸着盤6を昇降させる直動モータ33を直動モータ31によって接着シートSの繰出方向に移動させたが、直動モータ31を採用することなく、直動モータ33を折曲端縁52の下流側(図1中二点鎖線で示す位置)に固定しておく構成としてもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
また、前記実施形態では、被着体Wおよび接着シートSを具体的に例示していないが、本発明のシート貼付装置および貼付方法では、被着体Wおよび接着シートSの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体Wが適宜な物品(例えば、段ボールケースや樹脂容器等)であって、接着シートSがラベルであってもよく、被着体Wが半導体ウェハであって、接着シートSが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体Wが光ディスクの基板であって、接着シートSが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体Wとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
1,1A,1B シート貼付装置
2 シート剥離装置
3 押圧手段
4 繰出手段
5 ピールプレート(剥離手段)
6 吸着盤(保持手段)
8 押圧ローラ(押圧手段)
51 ガイド面
52 折曲端縁
53 第1突出部(変形手段)
54 第2突出部(変形手段)
AD 接着剤層
BS 基材シート
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
W 被着体
2 シート剥離装置
3 押圧手段
4 繰出手段
5 ピールプレート(剥離手段)
6 吸着盤(保持手段)
8 押圧ローラ(押圧手段)
51 ガイド面
52 折曲端縁
53 第1突出部(変形手段)
54 第2突出部(変形手段)
AD 接着剤層
BS 基材シート
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
W 被着体
Claims (8)
- 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる折曲端縁と、前記折曲端縁に沿って設けられ、前記剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させる変形手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離手段は、前記原反を前記剥離シート側から案内するガイド面を備え、
前記変形手段は、前記ガイド面を交差する方向に突出した第1突出部を備えて構成されることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。 - 前記剥離手段は、前記原反を前記剥離シート側から案内するガイド面を備え、
前記変形手段は、前記ガイド面方向に突出した第2突出部を備えて構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出し、
繰り出された原反の剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させつつ、当該剥離シートを折り曲げて当該剥離シートから接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。 - 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる折曲端縁と、前記折曲端縁に沿って設けられ、前記剥離シートを部分的に前記接着シートから離れる方向に変形させる変形手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記基材シート側から前記接着シートを保持する保持手段を備えていることを特徴とする請求項5に記載のシート貼付装置。
- 前記押圧手段は、前記原反の繰出方向と同じ方向であって、前記原反の繰出速度と同じ速度で前記保持手段を移動可能に設けられていることを特徴とする請求項6に記載のシート貼付装置。
- 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出し、
繰り出された原反の剥離シートを部分的に接着シートから離れる方向に変形させつつ、当該剥離シートを折り曲げて当該剥離シートから接着シートを剥離し、
剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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JP2010179490A JP2012035888A (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | シート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法 |
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JP2014088203A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
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