JP5672783B2 - 測定装置、測定プログラムおよび測定方法 - Google Patents
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Description
次に、図11を用いて、自動検査装置10、情報処理装置16が実行する処理の流れを説明する。図11は、各装置の処理の流れを説明するためのフローチャートである。自動検査装置10は、被評価回路23が有するビアを判別させる命令を利用者から受けたことをトリガとして、処理を開始する。
上述したように、実施例2の自動検査装置10と情報処理装置16とは、被評価回路23の各ビア24〜27の電圧電流特性を測定し、測定された電圧電流特性を用いて、各ビア24〜27の種別を判別する。このため、自動検査装置10と情報処理装置16とは、1度の測定処理でビアの種別を適切に判別することができる。
上述した実施例2の自動検査装置10と情報処理装置16とは、別個の装置であったが、実施例はこれに限定されるものではなく、例えば、自動検査装置は情報処理装置の各部を有する自動検査装置であってもよい。また、自動検査装置と情報処理装置とを有するクリップテスタとして実施されてもよい。このような場合には、電圧電流特性を測定するためのプローブとクリップテストを実行するための探針とは共用のプローブ又は探針であってもよい。
上述した実施例2では、各種ビアを判別するための条件の例として、複数の判別式について説明したが、実施例はこれに限定されるものではない。例えば、CADデータ等によってあらかじめ種別が判別された複数のビアの電圧電流特性を測定し、各種別のビアについて測定された電圧電流特性に基づいて、異なる条件を算出してもよい。例えば、判別式のみならず、閾値を条件として用いても良い。
上述した実施例2では、ビアの種別を判別するために−1.2V〜1.2Vの電圧が印加された。しかし、実施例はこれに限定されるものではなく、回路に応じて異なる範囲の電圧を印加してもよい。
上述した実施例では、ビアの電圧電流特性を測定したが、実施例は、これに限定されるものではなく、例えば、ビアに接続される端子部分、ボンディングワイヤなどの、被評価回路上の任意の回路部分について電圧電流特性を測定してもよい。
ところで、実施例1の測定装置、および実施例2の自動検査装置と情報処理装置とは、ハードウェアを利用して各種の処理を実現する場合を説明した。しかし、実施例はこれに限定されるものではなく、あらかじめ用意されたプログラムを測定装置、自動検査装置、又は、クリップテスタが有するコンピュータで実行することによって実現するようにしてもよい。そこで、以下では、図13を用いて、実施例1に示した測定装置と同様の機能を有するプログラムを実行するコンピュータの一例を説明する。図13は、測定プログラムを実行するコンピュータの一例を説明するための図である。
2 電圧印加部
3 電流測定部
4 判別部
10 自動検査装置
11 電圧電流特性計測器
12 電圧印加部
13 電流測定部
16 情報処理装置
17 判別部
20 クリップテスタ
23 被評価回路
24〜27 ビア
Claims (7)
- 回路における任意のビアに電圧を変化させながら印加する電圧印加部と、
前記電圧印加部が前記ビアに電圧を変更させながら印加した際に、当該ビアに流れる電流の大きさの値の変化を測定する電流測定部と、
前記電圧印加部が前記ビアに印加した電圧の変化と、前記電流測定部によって測定された電流の大きさの値の変化との関係が、あらかじめ測定された電源ビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアが電源ビアであると判別し、前記関係が、あらかじめ測定されたフィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアがフィードバック端子に係るビアであると判別し、前記関係が、前記電源ビアの電圧電流特性および前記フィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たさない場合は、前記ビアがロジックビアであると判別する判別部と
を有することを特徴とする測定装置。 - 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに所定の電圧が印加された際に、前記電流測定部によって測定された電流の大きさが所定の閾値を超えた場合には、当該ビアが電源ビアであると判別することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記判別部は、前記電流測定部によって測定された電流の大きさの変化が、前記電圧印加部によって印加された電圧の強さに対して線形性を有する場合には、前記電圧印加部によって電圧が印加されたビアをフィードバック端子に係るビアであると判別することを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。
- 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して−1Vの電圧が印加された際に前記電流測定部によって−290mA以下の電流が測定された場合、又は、前記電圧印加部によって0.2Vの電圧が印加された際に前記電流測定部によって1mA以上の電流が測定された場合には、当該ビアを電源ビアであると判別することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の測定装置。
- 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して0.2Vの電圧が印加された際に前記電流測定部によって20μA以上の電流が測定され、かつ、前記電圧印加部によって当該ビアに1Vの電圧が印加された際に該0.2Vの電圧を印加した際に測定された電流の3〜7倍の電流が前記電流測定部によって測定された場合、又は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して1Vの電圧が印加された際に前記電流測定部によって50μA以上の電流が測定され、かつ、前記電圧印加部によって当該ビアに−1Vの電圧が印加された際に該1Vの電圧を印加した際に測定された電流の−0.8〜−12倍の電流が前記電流測定部によって測定された場合には、当該ビアをフィードバック端子に係るビアであると判別することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の測定装置。
- 回路における任意のビアに電圧を変化させながら印加する電圧印加手順と、
前記電圧印加手順で前記ビアに電圧を変更させながら印加した際に、当該ビアに流れる電流の大きさの値の変化を測定する電流測定手順と、
前記電圧印加手順で前記ビアに印加した電圧の変化と、前記電流測定手順で測定された電流の大きさの値の変化との関係が、あらかじめ測定された電源ビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアが電源ビアであると判別し、前記関係が、あらかじめ測定されたフィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアがフィードバック端子に係るビアであると判別し、前記関係が、前記電源ビアの電圧電流特性および前記フィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たさない場合は、前記ビアがロジックビアであると判別する判別手順と
をコンピュータに実行させることを特徴とする測定プログラム。 - 回路における任意のビアに電圧を変化させながら印加する電圧印加プロセスと、
前記電圧印加プロセスによって前記ビアに電圧を変更させながら印加した際に、当該ビアに流れる電流の大きさの値の変化を測定する電流測定プロセスと、
前記電圧印加プロセスで前記ビアに印加した電圧の変化と、前記電流測定プロセスで測定された電流の大きさの値の変化との関係が、あらかじめ測定された電源ビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアが電源ビアであると判別し、前記関係が、あらかじめ測定されたフィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たす場合は、前記ビアがフィードバック端子に係るビアであると判別し、前記関係が、前記電源ビアの電圧電流特性および前記フィードバック端子に係るビアの電圧電流特性を満たさない場合は、前記ビアがロジックビアであると判別する判別プロセスと
を含むことを特徴とする測定方法。
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JP2010133612A JP5672783B2 (ja) | 2010-06-11 | 2010-06-11 | 測定装置、測定プログラムおよび測定方法 |
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