JP5671788B2 - カラーフィルタ基板用フォトマスク及びカラーフィルタ基板 - Google Patents
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Description
前記フォトマスクのコーナー部に網点を形成し、前記感光性レジストの塗布膜厚に対応して、前記膜厚の厚い部位の光透過量を低減するカラーフィルタ基板用フォトマスクであって、
前記光透過量を低減させるフォトマスクの部位は、通常用いられるフォトマスクに別のフォトマスクの網点からなる遮光性部位を積層したフォトマスクであることを特徴とするカラーフィルタ基板用フォトマスクとしたものである。
ある。
説明する。
反応容器にシクロヘキサン370部を収容し、この容器に窒素ガスを注入しながら80℃に加熱して、同温度でメタクリル酸20.0部、メチルメタクリレート10.0部、n−ブチルメタクリレート55.0部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15.0部、及び2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4.0部の混合物を1時間かけて滴下し、重合反応を行った。
滴下終了後、さらに80℃で3時間反応させた後、アゾビスイソブチル1.0部をシクロヘキサン50部に溶解させたものを添加し、さらに80℃で1時間反応を続けて、アクリル樹脂共重合体溶液を得た。
下記表1に示す組成の混合物を攪拌混合し、直径1mmのガラスビーズを用いてサンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルターで濾過し、黒色の顔料分散体を調整した。
CB:カーボンブラック(C.I.Pigment Black 7、三菱化学社製「MA11」)
顔料分散剤:日本ルーブリゾー社製「ソルスパース20000」
有機溶剤:シクロヘキサン
Red 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等の赤色顔料を用いることができる。赤色着色組成物には、黄色顔料、橙色顔料を併用することができる。
Green 7、10、36、37等の緑色顔料を用いることができる。緑色着色組成物には赤色着色組成物と同様の黄色顔料を併用することができる。
Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等の青色顔料、好ましくはC.I.Pigment Blue 15:6を用いることができる。また、青色着色組成物には、C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等の紫色顔料、好ましくはC.I.Pigment Violet 23を併用することができる。
先に調整した黒色の顔料分散体を含む、下記表2に示す処方の混合物を均一になるように攪拌混合した、1μmのフィルタで濾過して、各BM、R,G,Bの着色フォトレジストを得た。尚、表2は黒色の着色フォトレジストの調整例を記載したもので、R,G,Bについての組成の詳細は省略した。
顔料分散体:先に調整した物
アクリル樹脂:先に調整した物
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(東亞合成社製「アロニックスM−402」)
有機溶剤:シクロヘキサン
光重合開始剤:α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(チバスペシャルティケミカルズ社製「イルガキュアー379」。
とができる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
また外周部パターンの線幅(外周線幅)は基板中央に形成したマークより1μm以上太く形成されており、図示はしないが、基板の対角線に沿ってレジスト膜厚を計測したところ、コーナーは基板中央部に較べて0.10μmから0.15μm程度厚いものであった。
2、中央四角形
3、口の字部分
Claims (5)
- スピンコート法にて表面に感光性レジスト膜を塗布した基板にパターン露光を行うカラーフィルタ基板用フォトマスクにおいて、
前記フォトマスクのコーナー部に網点を形成し、前記感光性レジストの塗布膜厚に対応して、前記膜厚の厚い部位の光透過量を低減するカラーフィルタ基板用フォトマスクであって、
前記光透過量を低減させるフォトマスクの部位は、通常用いられるフォトマスクに別のフォトマスクの網点からなる遮光性部位を積層したフォトマスクであることを特徴とするカラーフィルタ基板用フォトマスク。 - 前記フォトマスクの端部に、アライメントマークを有することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ基板用フォトマスク。
- 前記フォトマスクのコーナー部に、アライメントマークを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のカラーフィルタ基板用フォトマスク。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ基板用フォトマスクを用いてブラックマトリックスが形成されたことを特徴とするカラーフィルタ基板。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ基板用フォトマスクを用いて着色画素が形成されたことを特徴とするカラーフィルタ基板。
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