JP5639360B2 - ボール誘導装置、ボール誘導方法およびボール搭載装置 - Google Patents
ボール誘導装置、ボール誘導方法およびボール搭載装置 Download PDFInfo
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Description
特許文献4は、マスクにダミー孔を明けることにより上記欠点を克服するものであるが、例えば半導体基板ではマスクに明けられた開口の間隔が狭いので、有効に作用するダミー孔をマスクに明けられない問題がある。
更に、本発明のボール誘導装置において、溝を通って中空部へ吹出された気体は、中空部内で渦流を形成して、上面開口から排出されることを特徴とする。
更に、本名発明のボール誘導装置において、ボール供給ヘッドは、鉛直方向を軸として回転することを特徴とする。
中空部材の内面に沿った流れである渦流でボールを移動させるので、中空部中心部の気圧の低下が小さくなり、マスクの浮上を抑制することもできた。
更に、ボール供給ヘッドを回転させることにより、気体流量の低減と溝の個数を低減でき、且つボール囲込領域からのボールの逸脱を防止できた。
更に、本発明のボール搭載装置は、上記ボール誘導装置を用いることにより、マスクの浮上とボールの逸脱を抑制して、ボール搭載ミスを大幅に減少させたボール搭載装置を実用化することができた。
2 基板ローダ・アンローダ
3 基板搬送ロボット
5 基板ステージ
7 フラックス印刷装置
8 ボール振込装置
12 ボール誘導ヘッド
19 基板
21 中空部材
22 中空部
24 気体流路
26 気体吐出口
27 溝
30 ボール誘導装置
31 ボール供給装置
32 気体供給装置
42 上面開口
43 下面開口(ボール囲込領域)
47 接線方向
57 配列マスク
71 メッシュ
72 気体攪拌装置
76 渦流
Claims (3)
- マスク上のボール囲込領域にボールを供給するボール供給装置と、
気体を排出する上面開口を有するボール誘導ヘッドの中空部へ気体を吹出すことにより前記ボールを前記ボール囲込領域内に囲い込む前記ボール誘導ヘッドと、
前記気体を前記ボール誘導ヘッドに供給する気体供給装置と、
前記ボール誘導ヘッドを水平方向に移動させるヘッド駆動装置と、
を有し、
前記ボール誘導ヘッドは、
前記上面開口と、下面開口と、気体の複数の導入口と、気体を溝へ吐出する複数の吐出口と、前記導入口と前記吐出口を連結する気体流路とが形成される中空部材を有し、
前記溝は、前記ボール誘導ヘッドの下面に前記下面開口の接線方向に延びるように形成され、
前記複数の吐出口は、前記中空部の周囲に配置され、
前記気体供給装置から前記導入口に導入された前記気体は、前記気体流路と、前記吐出口と、前記溝とを通って、前記溝の気体吹出口から前記マスク上の前記ボール囲込領域へ流れ出し、前記上面開口から排出されることを特徴とするボール誘導装置。 - 前記ボール誘導ヘッドは、鉛直方向を軸として回転することを特徴とする請求項1記載のボール誘導装置。
- 基板ローダ・アンローダ装置と、基板搬送ロボットと、ステージと、フラックス印刷装置と、前記ボール誘導装置を有するボール振込装置とからなるボール搭載装置において、
請求項1または2記載の前記ボール誘導装置を水平方向に移動させることにより、前記基板搬送ロボットが前記基板ローダ・アンローダ装置から前記ステージに載置した前記基板の電極上に前記マスクの開口を介して前記ボールを配列させることを特徴とするボール搭載装置。
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