JP2011129806A - ボール誘導装置、ボール誘導方法およびボール搭載装置 - Google Patents
ボール誘導装置、ボール誘導方法およびボール搭載装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ボール誘導は、ボール誘導ヘッド12と、ボール供給装置31と、気体供給装置32と、駆動機構とを有する。ボール誘導ヘッド12には、気体導入口23と気体吐出口が設けられ、ボール誘導ヘッド12の下面には、下面開口43の接線方向に気体を導く溝27が設けられている。溝27に吐出された気体は、中空部22に吹出されて、ボール誘導ヘッドの移動にともない下面開口に接近したボールをボール囲込領域43の接線方向から内側に移動させ、ボール囲込領域にあるボールが、ボール誘導ヘッドの底部を通過して、ボール誘導ヘッド外へ流れ出することを防止し、ボール誘導ヘッド12を移動させることによりボールをマスク上で移動させ、マスクに形成された開口へボールを振込む。
【選択図】図2
Description
特許文献4は、マスクにダミー孔を明けることにより上記欠点を克服するものであるが、例えば半導体基板ではマスクに明けられた開口の間隔が狭いので、有効に作用するダミー孔をマスクに明けられない問題がある。
更に、本発明のボール誘導装置において、溝を通って中空部へ吹出された気体は、中空部内で渦流を形成して、上面開口から排出されることを特徴とする。
更に、本名発明のボール誘導装置において、ボール供給ヘッドは、鉛直方向を軸として回転することを特徴とする。
中空部材の内面に沿った流れである渦流でボールを移動させるので、中空部中心部の気圧の低下が小さくなり、マスクの浮上を抑制することもできた。
更に、ボール供給ヘッドを回転させることにより、気体流量の低減と溝の個数を低減でき、且つボール囲込領域からのボールの逸脱を防止できた。
更に、本発明のボール搭載装置は、上記ボール誘導装置を用いることにより、マスクの浮上とボールの逸脱を抑制して、ボール搭載ミスを大幅に減少させたボール搭載装置を実用化することができた。
2 基板ローダ・アンローダ
3 基板搬送ロボット
5 基板ステージ
7 フラックス印刷装置
8 ボール振込装置
12 ボール誘導ヘッド
19 基板
21 中空部材
22 中空部
24 気体流路
26 気体吐出口
27 溝
30 ボール誘導装置
31 ボール供給装置
32 気体供給装置
42 上面開口
43 下面開口(ボール囲込領域)
47 接線方向
57 配列マスク
71 メッシュ
72 気体攪拌装置
76 渦流
Claims (7)
- マスク上のボール囲込領域にボールを供給するボール供給装置と、気体を排出する上面開口を有するボール誘導ヘッドの中空部へ気体を吹出すことにより上記ボールを上記ボール囲込領域内に囲い込む上記ボール誘導ヘッドと、上記気体を上記ボール誘導ヘッドに供給する気体供給装置と、上記ボール誘導ヘッドを水平方向に移動させるヘッド駆動装置とを有することを特徴とするボール誘導装置。
- 前記ボール誘導ヘッドは、上面開口と、下面開口と、気体の供給口と、気体を溝へ吐出する吐出口と、上記供給口と上記吐出口を連結する気体流路と、下面に形成された複数の上記溝が加工された中空部材を有し、
前記気体供給装置から上記供給口に導入された前記気体は、上記気体流路と、上記吐出口と、上記溝とを通って前記マスク上の前記ボール囲込領域へ流れ出し、上記上面開口から排出されることを特徴とする請求項1記載のボール誘導装置。 - 前記溝を通って前記中空部へ吹出された前記気体は、前記下面開口の接線方向に流れる気体を含むことを特徴とする請求項1または2記載のボール誘導装置。
- 前記溝を通って前記中空部へ吹出された前記気体は、前記中空部内で渦を巻き、前記上面開口から排出されることを特徴とする請求項1乃至3記載のボール誘導装置。
- 前記ボール供給ヘッドは、鉛直方向を軸として回転することを特徴とする請求項1乃至4記載のボール供給装置。
- 気体供給装置から供給された気体をボール誘導ヘッドの下面に形成された複数の溝から上記ボール誘導ヘッドの中空部へ吹出させ且つボール誘導ヘッドの上面に形成された上面開口から排出して、上記ボール供給装置からマスク上の上記ボール囲込領域に供給されたボールを上記ボール誘導ヘッドと共に移動させることを特徴とするボール誘導方法。
- 基板ローダ・アンローダ装置と、基板搬送ロボットと、ステージと、フラックス印刷装置と、前記ボール誘導装置を有するボール振込装置とからなるボール搭載装置において、
請求項1乃至5記載の前記ボール誘導装置を水平方向に移動させることにより、上記基板搬送ロボットが上記基板ローダ・アンローダ装置から上記ステージに載置した前記基板の電極上に前記マスクの開口を介して前記ボールを配列させることを特徴とするボール搭載装置。
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