JP4899125B2 - 導電性ボールの搭載方法及び搭載装置 - Google Patents
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Description
第1に、前記配列マスクを前記被搭載物上に保持するマスク保持手段と、内部が空間で下端面が開口部とされるボールカップと、ボールカップ内に設けられ、配列マスクの上方に設けられて真空源と接続されて下面に導電性ボールを吸着可能なボール吸着体と、真空源によるボール吸着体の吸引状態のON及びOFFを切り換える真空切り換え手段と、ボールカップを配列マスクの上面に沿って移動可能にする移動ユニットとを備える。
第2に、真空切り換え手段により、ボール吸着体の吸引状態をONにしてボールカップと配列マスクとの間に形成される気体流通路から気体を流入させることによりボール吸着体下方に存在する導電性ボールをボール吸着体に吸着させる吸着工程及び吸着動作と、前記ボールカップを所定の搭載位置に移動させる移動工程及び移動動作と、前記所定の搭載位置においてボール吸着体の吸引状態をOFFにしてボール吸着体に吸着していた導電性ボールを落下させることにより、導電性ボールを被搭載物上に搭載する搭載工程及び搭載動作とを複数回繰り返すことにより、前記被搭載物上に形成される搭載箇所へ導電性ボールを搭載する。
尚、ボールカップ5及びボール吸着体52は導電性材料から構成され、図2乃至5に示されるようにアース60により接地されている。これにより静電気を帯びた半田ボール1がボールカップ5の内面やボール吸着体52に付着することを防止している。更に、ボールカップ5の外側には微小な振動をボールカップ5に付与するバイブレータ61が取り付けられており、少なくともボールカップ5内の吸引状態がOFFのときに振動し、ボールカップ5に取り付けられているボール吸着体52に振動を伝え、半田ボール1の落下を促進するようになっている。
尚、ボール吸着体52はボール配列マスク3の上方に配置してあるため、吸着された半田ボール1は位置エネルギを有することになり、半田ボール1がフラックス上に落下したときに電極と密着することになる。
2......ウエハ
3......ボール配列マスク
4......半田ボール供給装置
5......ボールカップ
6......ウエハ載置ステージ
10.....移動ユニット
11.....X軸ガイド
12.....Y軸ガイド
13,15,17.....駆動モータ
14,16.....ボールねじ
18.....昇降装置
31......貫通孔
33.....型枠
51.....開口部
52.....ボール吸着体
53.....上部空間
54.....下部空間
55.....吸引通路
56.....ボール供給路
57.....電磁開閉弁
58.....レギュレータ
59.....真空源
60.....アース
61.....バイブレータ
62.....スリット
63.....ボールガイド
64.....気体供給カップ
65.....気体供給路
66.....ケーシング
67.....ボール供給カップ
68.....昇降装置
Claims (6)
- 被搭載物上に所定のパターンで形成されている搭載箇所に合わせて貫通孔が設けられた配列マスクを用いて、導電性ボールを被搭載物の搭載箇所に搭載する導電性ボールの搭載方法において、
前記配列マスクを前記被搭載物上に保持するマスク保持手段と、
内部が空間で下端面が開口部とされるボールカップと、
ボールカップ内に設けられ、配列マスクの上方に設けられて真空源と接続されて下面に導電性ボールを吸着可能なボール吸着体と、
真空源によるボール吸着体の吸引状態のON及びOFFを切り換える真空切り換え手段と、
ボールカップを配列マスクの上面に沿って移動可能にする移動ユニットとを備え、
真空切り換え手段により、ボール吸着体の吸引状態をONにしてボールカップと配列マスクとの間に形成される気体流通路から気体を流入させることによりボール吸着体下方に存在する導電性ボールをボール吸着体に吸着させる吸着工程と、前記ボールカップを所定の搭載位置に移動させる移動工程と、前記所定の搭載位置においてボール吸着体の吸引状態をOFFにしてボール吸着体に吸着していた導電性ボールを落下させることにより、導電性ボールを被搭載物上に搭載する搭載工程とを複数回繰り返すことにより、前記被搭載物上に形成される搭載箇所へ導電性ボールを搭載することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。 - 上記搭載工程において、ボール吸着体の吸引状態のON及びOFFを複数回繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボールの搭載方法。
- 被搭載物上に所定のパターンで形成されている搭載箇所に合わせて貫通孔が設けられた配列マスクを用いて、導電性ボールを被搭載物の搭載箇所に搭載する導電性ボールの搭載装置において、
前記配列マスクを前記被搭載物上に保持するマスク保持手段と、
内部が空間で下端面が開口部とされるボールカップと、
ボールカップ内に設けられ、配列マスクの上方に設けられて真空源と接続されて下面に導電性ボールを吸着可能なボール吸着体と、
真空源によるボール吸着体の吸引状態のON及びOFFを切り換える真空切り換え手段と、
ボールカップを配列マスクの上面に沿って移動可能にする移動ユニットとを備え、
真空切り換え手段により、ボール吸着体の吸引状態をONにしてボールカップと配列マスクとの間に形成される気体流通路から気体を流入させることによりボール吸着体下方に存在する導電性ボールをボール吸着体に吸着させる吸着動作と、前記ボールカップを所定の搭載位置に移動させる移動動作と、前記所定の搭載位置においてボール吸着体の吸引状態をOFFにしてボール吸着体に吸着していた導電性ボールを落下させることにより、導電性ボールを被搭載物上に搭載する搭載動作とを複数回繰り返すことにより、前記被搭載物上に形成される搭載箇所へ導電性ボールを搭載することを特徴とする導電性ボールの搭載装置。 - ボールカップは、導電性材料からなり、接地されている請求項3に記載の導電性ボールの搭載装置。
- 上記搭載動作において、真空切り換え手段はボール吸着体の吸引状態のON/OFFを複数回繰り返す請求項3又は4に記載の導電性ボールの搭載装置。
- ボール吸着体を振動させる振動手段を設けた請求項3から5のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
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