JP5609271B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Description
基板と、前記基板上に設けられた電極とを有する固定子と、前記固定子の前記電極を有する面上に配置される移動子と、を備えた静電アクチュエータにおいて、
前記固定子の移動子側の面または前記移動子の固定子側の面に、多数の突状体を等間隔に設け、
前記移動子または前記固定子のうち、前記多数の突状体に対向する面に、潤滑層を形成したことを特徴とする静電アクチュエータである。
前記電極は、前記基板上に各々独立して設けられ、互いに平行に配置された複数の線状電極であり、
前記多数の突状体は、多数の線状の突状体であってもよい。
前記線状の突状体は、前記複数の線状電極と直交する方向に延在するようにしてもよい。
前記多数の突状体は、多数の円錐体であってもよい。
前記多数の突状体が設けられた前記固定子の移動子側の面または前記移動子の固定子側の面のうち、前記多数の突状体以外の部分に第1の追加潤滑層を形成してもよい。
前記多数の突状体の表面に、第2の追加潤滑層を形成してもよい。
前記多数の突状体は、導電性材料からなっていてもよい。
前記潤滑層は、炭素含有シリカからなっていてもよい。
1a〜1d 線状電極
1b1、1d1 パッド電極
1b2、1d2 スルーホール配線
2 移動子
2a 樹脂基板
2b 抵抗体膜
100 静電アクチュエータ
101a 第1のバスライン
101b 第2のバスライン
101c 第3のバスライン
101d 第4のバスライン
102 基板
103a 接着層
103b カバーフィルム
104 摺動構造体
104a 追加潤滑層
104b 突状体
105 潤滑層
a〜d 信号
Claims (8)
- 基板と、前記基板上に設けられた電極とを有する固定子と、前記固定子の前記電極を有する面上に配置される移動子と、を備えた静電アクチュエータにおいて、
前記固定子の移動子側の面または前記移動子の固定子側の面に、多数の突状体を三角格子状に配置することにより等間隔に設け、
前記移動子または前記固定子のうち、前記多数の突状体に対向する面に、潤滑層を形成し、
前記固定子または前記移動子の多数の突状体を設けた面のうち、少なくとも前記多数の突状体以外の部分に追加潤滑層を有し、
前記多数の突状体の表面に、追加潤滑層を有することを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記多数の突状体は、多数の線状の突状体であることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータ。
- 前記電極は、前記基板上に各々独立して設けられ、互いに平行に配置された複数の線状電極であり、
前記線状の突状体は、前記複数の線状電極と直交する方向に延在することを特徴とする請求項2に記載の静電アクチュエータ。 - 前記多数の突状体は、多数の円錐体であることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータ。
- 前記多数の突状体は、導電性材料からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。
- 前記潤滑層は、炭素含有シリカからなることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータ。
- 前記多数の突状体は、印刷により形成されることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータ。
- 前記多数の突状体は、前記固定子側に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の静電アクチュエータ。
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