JP5602820B2 - ZnO焼結体の製造方法 - Google Patents
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(1)ZnO粉末とB2O3粉末とを混合、焼成及び粉砕してZn4B6O13粉末を得る工程と、平均粒径が0.5〜1μmのZnO粉末と平均粒径が0.2〜0.5μmのZn4B6O13粉末とを混合、成形、焼成してZnO焼結体を得る工程と、を含むZnO焼結体の製造方法。
(2)ZnO粉末とB2O3粉末の混合比はmol比で4:6〜7:3であり、ZnO粉末とB2O3粉末とを大気雰囲気中、800〜1000℃にて焼成を行う(1)記載のZnO焼結体の製造方法。
(3)得られたZn4B6O13粉末とZnO粉末をBの含有割合がB2O3換算で0.01〜3.0mol%になるように混合する(1)又は(2)記載のZnO焼結体の製造方法。
ZnO粉末(純度99.8%、平均粒径0.7μm)とB2O3粉末(純度99.9%、平均粒径0.5μm)とをmol比で6:4の割合で秤量、混合した後、大気雰囲気中、900℃で焼成することで、Zn4B6O13単相の複合酸化物を得た。これを、アルミナボールを媒体として24時間ボールミル粉砕した。得られた粉末の平均粒径をレーザー回折式粒度分布測定したところ0.4μmであり、これを添加物用のZn4B6O13粉末とした。
同様にして表1に示すようにZnO粉末とZn4B6O13粉末の粒径、Bの含有割合(B2O3換算量mol%)を変化させてZnO焼結体を作製し、実施例1と同じ評価をした。いずれの場合とも膜抵抗のバラツキは10%以内と良好なZnO膜が得られた。
同様にして表1に示すようにZnO粉末とZn4B6O13粉末の粒径、複合酸化物の種類を変化させて焼結体を作製し、実施例1と同じ評価をした。比較例1については、低抵抗化は示したものの膜抵抗のバラツキが大きくなった。比較例2、3については、複合酸化物の低融点化によりZnOが十分に緻密化しなかったために、得られた膜も低抵抗にならなかった。
Claims (3)
- ZnO粉末とB2O3粉末とを混合、焼成及び粉砕してZn4B6O13粉末を得る工程と、平均粒径が0.5〜1μmのZnO粉末と平均粒径が0.2〜0.5μmのZn4B6O13粉末とを混合、成形、焼成してZnO焼結体を得る工程と、を含むZnO焼結体の製造方法。
- ZnO粉末とB2O3粉末の混合比はmol比で4:6〜7:3であり、ZnO粉末とB2O3粉末とを大気雰囲気中、800〜1000℃にて焼成を行う請求項1記載のZnO焼結体の製造方法。
- 得られたZn4B6O13粉末とZnO粉末をBの含有割合がB2O3換算で0.01〜3.0mol%になるように混合する請求項1又は2記載のZnO焼結体の製造方法。
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