JP5591563B2 - 位置確認装置 - Google Patents

Description

本発明は、圧電素子等の板状部材の位置決め状態を確認する位置確認装置に関する。

従来の板状部材としては、例えば特許文献１のように、デュアル・アクチュエータ方式のヘッドサスペンションに取り付けられる圧電素子がある。

この圧電素子は、ヘッドサスペンションの取付部に取り付けられてヘッド部側を微小駆動するようになっている。従って、ヘッドサスペンションは、ヘッド部側の位置決め精度が向上してディスクの高密度化に対応することができる。

かかる圧電素子は、ヘッドサスペンションの取付部に対する取付位置のばらつきが、ヘッド部側の駆動ストロークにばらつきを生じさせることになる。従って、圧電素子には、取付部に対する高い位置決め精度が要求される。

このため、圧電素子は、予め取付部に対応した目標位置に位置決められ、その位置決め状態の確認後に姿勢保持状態で取付部に取り付けられる。

従来の位置決め状態の確認を行うものとしては、例えば特許文献２のような空気流量による位置確認装置がある。この位置確認装置では、圧電素子に対して空気を吹き付けて、その空気流量に応じて圧電素子の位置決め状態を確認することができる。

しかしながら、従来の構造では、軽量な圧電素子に空気を吹き付けると飛散等するおそれがあり、位置決め状態の確認を確実に行うことはできなかった。

特開２００２−０５０１４０号公報 特開２００８−１１２９０１号公報

解決しようとする問題点は、板状部材の位置決め状態の確認を確実に行うことができない点である。

本発明は、圧電素子の位置決め状態の確認を確実に行うために、平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な圧電素子を載置させ大まかな位置決め用のステージ部と、該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢する位置決め装置に用いる位置確認装置であって、前記ステージ部に貫通形成され前記圧電素子の位置決め状態で少なくとも一部が閉塞される貫通孔と、前記付勢部の気体の吹き出しと共に前記貫通孔を介して気体を引き込み、該気体の流量に応じて前記圧電素子の位置決め状態を確認する流量計測部とを備え、前記突当部と前記圧電素子の端面とのクリアランスと前記流量計測部が引き込む気体の流量との相関関係を予め求め、前記流量計測部は、前記予め得た相関関係と前記位置決め状態で前記流量計測部が引き込む気体の流量とから前記位置決め状態の確認を行うことを最も主要な特徴とする。

本発明の位置決め装置に用いる位置確認装置では、気体の吹き出しによって微小な圧電素子をステージ部上で位置決めることができ、この圧電素子の位置決め状態を気体の吹き出し及び引き込みにより容易且つ確実に確認することができる。

位置確認装置を示す平面図である（実施例１）。 図１の位置確認装置の姿勢調整動作を示す斜視図である（実施例１）。 位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図である（実施例１）。 クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである（実施例１）。 位置確認装置を示す平面図である（実施例２）。 位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同位置決め前状態を示している（実施例３）。 位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同位置決め前状態、（ｃ）は同クリアランスがある位置決め状態を示している（実施例４）。 位置決め装置を示す平面図である（実施例５）。 位置決め装置を示す平面図である（実施例６）。 変形例に係る位置決め装置を示す平面図である（実施例６）。 位置決め装置を示す平面図である（実施例７）。 位置決め装置を示す平面図である（実施例８）。 位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同クリアランスがある位置決め状態を示している（実施例９）。

板状部材の位置決め状態の確認を確実に行うという目的を、板状部材の引込流量に応じて位置決め状態を確認することで実現した。

［位置確認装置の構成］
図１は、本発明の実施例１に係る位置確認装置を示す平面図、図２は、図１の位置確認装置の姿勢調整動作を示す斜視図、図３は、位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図、図４は、クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである。

本実施例の位置確認装置１は、例えばハードディスク内に設けられるデュアル・アクチュエータ方式のヘッドサスペンションを製造する際に用いられる。この位置確認装置１は、板状部材としての圧電素子３をヘッドサスペンションの取付部に対応した目標位置に予め位置決め、かかる目標位置に対する圧電素子３の置決め状態を確認するものである。

圧電素子３としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミックスからなるものが用いられる。圧電素子３は、平面四角形の平板状に形成されている。本実施例では、例えば約１〜２ｍｍ角の平面正方形であり、板厚が約０．１ｍｍに設定されている。従って、本実施例の圧電素子３は、平面視の各辺がミリ単位であると共に板厚が平面視の各辺に対して１／１０以下に設定された微小な薄板状となっている。ただし、圧電素子３は、各辺を約０．１〜３．５ｍｍの範囲、板厚を約０．０２〜０．１５ｍｍの範囲で設定した微小な薄板状とすることができ、その設定に応じて各辺と板厚との比率も変更される。

なお、位置確認装置１は、圧電素子に限らず、同様の微小な板状部材に適用することができる。また、圧電素子は、使用目的に応じて平面矩形等としてもよい。

本実施例の位置確認装置１は、図１及び図２のように、ステージ部５と、突当部７と、付勢部９と、位置確認部１１とを備えている。

ステージ部５は、平面四角形の平板状に形成されている。ただし、ステージ部５は、円板形状等の他の形状であってもよい。ステージ部５の表面１３は、平面からなり、圧電素子３を載置できるようになっている。このステージ部５の表面１３上には、突当部７が設けられている。

突当部７は、一対の突当体１５，１７からなっている。突当体１５，１７は、平面矩形の棒状に形成され、ステージ部５外周の隣接する二辺に沿って配置されている。従って、突当体１５，１７は、相互に交差方向に延設されている。突当体１５，１７の端部間には、隙間１９が設けられている。突当体１５，１７の内周側には、それぞれ圧電素子３の面方向での突当面２１，２３が形成されている。

一対の突当面２１，２３は、相互に交差配置された平面からなっている。この突当面２１，２３は、圧電素子３外周の隣接する二辺の端面２５，２７に対応して設けられている。また、突当面２１，２３は、ヘッドサスペンションの取付部に対してアライメントされている。

従って、突当面２１，２３は、圧電素子３外周の端面２５，２７を面方向で各別に突き当て、圧電素子３を取付部に対応した目標位置に位置決めできるようになっている。

なお、突当部７は、突当面２１，２３が圧電素子３の端面に対応していればよく、突当体の形状を変更してもよい。ただし、突当体を平面円形とした場合は、周回状の外周面によって突当面が形成される。このため、圧電素子３は、突当面に対して点接触することになる。

突当面２１，２３の長さは、圧電素子３の対応する各辺よりも長く形成されている。ただし、圧電素子３の対応する各辺よりも短く形成してもよい。

前記付勢部９は、ノズル２９を介して気体としての空気を吹き出し、圧電素子３を付勢するようになっている。ノズル２９は、軸心方向に進退移動自在に支持された円筒状に形成されている。ノズル２９の軸心は、圧電素子３の面方向に沿っている。また、ノズル２９の軸心は、平面視で突当部７の突当面２１，２３に対して約４５°傾斜している。ノズル２９の先端には、吹出口３１が設けられている。

吹出口３１は、突当部７の突当面２１，２３間の挟角部３３に向けて開口している。吹出口３１の吹き出し方向は、ノズル２９の配置に応じて、平面視で突当部７の突当面２１，２３に対して約４５°傾斜している。これにより、吹き出し方向は、位置決め状態の圧電素子３の対角線に沿うようになっている。

なお、吹き出し方向は、圧電素子の平面形状に応じて、対角線に沿うように角度変更される。また、付勢部９は、吹出口３１から空気を吹き出せればよいため、空気の流路及び吹出口さえあればノズル２９の形状自体は自由である。

前記付勢部９は、図示しないコントローラによって空気の吹出制御が行われる。吹出制御では、ノズル２９の進退移動、或いは空気の流量調整によって圧電素子３に対する付勢力を調整できるようになっている。

前記位置確認部１１は、貫通孔３５，３７と、流量計測部３９とからなっている。

貫通孔３５，３７は、ステージ部５に貫通形成されている。貫通孔３５，３７は、後述する圧電素子３の位置決め状態で、圧電素子３によって閉塞されるようになっている。この貫通孔３５，３７は、断面円形に形成され、貫通孔３５，３７の径は、圧電素子３の各辺の長さよりも短い約０．５ｍｍに設定されている。なお、貫通孔の断面形状は、例えば多角形にすることも可能である。

貫通孔３５，３７は、後述する流量計測部３９の吸引方向であるステージ部５の板厚方向において、それぞれ突当部７の突当体１５，１７と部分的に重なっている。これにより、貫通孔３５，３７は、部分的に塞がれている。この貫通孔３５，３７の塞ぎ量は、任意に設定することができる。

本実施例では、突当体１５，１７が貫通孔３５，３７の約半分を塞ぎ、且つ突当体１５，１７の突当面２１，２３が貫通孔３５，３７の断面中心を通っている。従って、貫通孔３５，３７は、ステージ部５の表面１３上で半円形状に開口し、突当面２１，２３上で最大径となっている。

このため、貫通孔３７，３７は、一対の突当面２１，２３に沿って配置されている。この貫通孔３５，３７は、後述する圧電素子３の位置決め状態で、圧電素子３の中心よりも突当部７の突当面２１，２３に沿った外側に偏倚している。

前記流量計測部３９は、ステージ部５の裏面４１側で貫通孔３５，３７に接続されている。流量計測部３９は、貫通孔３５，３７を介して気体である空気を引き込み、ステージ部５上の圧電素子３を吸引する。流量計測部３９の吸引制御は、コントローラによって行われる。

この流量計測部３９は、図示しない流量計を備えている。流量計は、前記空気の引込流量を測定する。測定された引込流量は、コントローラに入力される。コントローラでは、引込流量に応じて圧電素子３の位置決め状態を確認する。
［圧電素子の位置決め及び確認］
本実施例の位置確認装置１では、図２のように、圧電素子３をステージ部５上で目標位置に位置決めした後、その位置決め状態の確認が行われる。

位置決めの際には、図２（ａ）のように、まず位置確認装置１のステージ部５上に圧電素子３を載置する。この載置により、圧電素子３は大まかな位置決めが行われる。載置された圧電素子３上には、図２（ｂ）のように、搬送パッド４３がセットされる。搬送パッド４３の先端は、圧電素子３の表面に対して０．００５ｍｍの僅かな隙間を有している。なお、搬送パッド４３は、圧電素子３を吸引支持して姿勢を保持しながら搬送するものである。

次いで、位置確認装置１は、図２（ｃ）のように、付勢部９のノズル２９から圧電素子３に対して空気を吹き出す。吹き出された空気は、その吹き出し方向設定により、大まかに位置決められた圧電素子３外周の隣接する二端面４５，４７に吹き付けられる。従って、圧電素子３を突当部７の突当面２１，２３の双方に向けて確実に付勢することができる。

かかる付勢により、圧電素子３は、突当部７の突当面２１，２３側にスライド移動して面方向で突き当てられる。このスライド移動時には、付勢部９からの空気が圧電素子３の下面側に入り込む。

このため、圧電素子３は、ステージ部５に対して僅かに浮上することになる。従って、位置確認装置１では、圧電素子３の突き当て動作を円滑に行わせることができる。

また、位置確認装置１では、圧電素子３のスライド移動に応じ、付勢部９のノズル２９の進出又は空気の流量の増加を行うことができる。なお、付勢部９のノズル２９の進出及び空気の流量の増加は、双方を行わせることもできる。これにより、付勢力の低下を抑制して、より円滑に圧電素子３の突き当て動作を行わせることができる。

こうして圧電素子３は、突当部７の突当面２１，２３に面方向で突き当てられ、ヘッドサスペンションの取付部に対応した目標位置に位置決められる。

圧電素子３の位置決め後は、位置確認部１１による位置決め状態の確認が行われる。確認の際には、図２（ｄ）のように、まず流量計測部３９による圧電素子３の吸引が行われる。そして、位置確認部１１は、かかる吸引時の引込流量に応じて、圧電素子３の位置決め状態を確認する。

流量計測部３９の引込流量は、図３に示す突当部７の突当面２１，２３と圧電素子３の端面２５，２７とのクリアランスＤに応じて変化する。すなわち、クリアランスＤが大きくなると、これに応じて貫通孔３５，３７の開口量が増加して流量計測部３９の引込流量も増加することになる。

従って、クリアランスＤ及び引込流量は、図４のように、いずれか一方が増加すると他方も増加する正の相関関係になっている。なお、図４では、クリアランスＤが０ｍｍ、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．０３ｍｍ、０．０４ｍｍの時の引込流量を示している。

この相関関係に基づき、コントローラは、引込流量に対応するクリアランスＤが許容範囲内か否かを判断する。なお、許容範囲を画定する閾値は、ヘッドサスペンションに要求されるヘッド部側の位置決め精度に応じて設定される。

クリアランスＤが許容範囲内である場合は、図２（ｅ）のように、流量計測部３９の吸引を停止させると共に搬送用の搬送パッド４３によって圧電素子３を吸引支持する。この吸引支持の際には、圧電素子３が、突当面２１，２３によって上昇移動を案内される。その後は、図２（ｆ）のように、付勢部９の空気の吹き出しを停止させ、位置決め状態を保持しながら圧電素子３をヘッドサスペンションの取付部へ搬送する。

一方、クリアランスＤが許容範囲外である場合は、クリアランスＤが許容範囲内になるまで上記位置決め及びその確認作業が繰り返されることになる。
［実施例１の効果］
本実施例の位置確認装置１は、圧電素子３を載置させる位置決め用のステージ部５と、該ステージ部５に貫通形成され前記圧電素子３の位置決め状態で閉塞される貫通孔３５，３７と、該貫通孔３５，３７を介して空気を引き込み、該空気の流量に応じて圧電素子３の位置決め状態を確認する流量計測部３９とを備えている。

従って、位置確認装置１では、小型で軽量且つ薄板状の圧電素子３であっても、引き込みによって圧電素子３をステージ部５上に吸引し位置させることができる。このため、位置確認装置１では、圧電素子３のステージ部５に対する飛散や位置ずれ等を抑制しながら、位置決め状態を容易且つ確実に確認することができる。

前記突当部７は、圧電素子３外周の隣接する二辺の端面２５，２７に対応して設けられた一対の突当面２１，２３を備えているため、圧電素子３を確実に位置決めることができる。

貫通孔３５，３７は、一対の突当面２１，２３に沿って複数配置されているため、引込流量差が大きくなり、閾値設定を細かくすることができ、圧電素子３の位置決め状態の確認精度も向上することができる。

位置確認装置１は、突当部７の突当面２１，２３から交差方向に突出して断面形状が小さくなるように開口しているため、突当部７と圧電素子３とのクリアランスＤ内での貫通孔３５，３７の開口量を大きくすることができる。

従って、位置確認装置１では、引込流量差を大きくすることができ、クリアランスＤの僅かな差に対する感度を向上することができる。結果として、より確実に圧電素子３の位置決め状態の確認精度を向上することができる。

本実施例の位置確認装置１は、貫通孔３５，３７の開口が断面半円形であるため、クリアランスＤ内に最大径部分を位置させることができる。従って、位置確認装置１では、より確実に引込流量差を大きくすることができ、クリアランスＤの僅かな差に対する感度を向上することができる。

本実施例の位置確認装置１は、圧電素子３を面方向に付勢して突き当てを行わせる付勢部９を備え、付勢部９が圧電素子３を空気の吹き出しによって付勢する。

従って、位置確認装置１は、圧電素子３を付勢部９からの空気の吹き出しによって直接クランプせずに突当部７に対して完全に突き当てることができ、確実に圧電素子３を目標位置に位置決めることができる。

この結果、圧電素子３に対して余計な衝撃や力等を作用させることがなく、クラックやチッピング等の損傷を生じさせることが確実に抑制される。

さらに、従来のように圧電素子を固体で付勢する場合は、圧電素子に対する加工精度や動作精度を向上させる必要があるのに対し、本願の位置決め装置１では、圧電素子３を空気の吹き付けによって付勢するため、かかる精度の向上が不要となる。

従って、位置決め装置１では、圧電素子３の位置決め精度を容易に向上することができる。

また、吹き出された空気は、圧電素子３の下面側にも入り込むため、圧電素子３をステージ部５に対して僅かに浮上させることができる。従って、位置決め装置１では、圧電素子３の突き当て動作を円滑に行わせることができる。

また、付勢部９は、一対の突当面２１，２３間の挟角部３３に向けて空気を吹き出す吹出口３１を備えているため、圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて確実に付勢することができる。従って、位置確認装置１では、単一の吹出口３１によって圧電素子３を付勢して確実に位置決めることができる。

吹出口３１の吹出方向は、位置決め状態の圧電素子３の対角線に沿っている。従って、位置確認装置１では、より確実に単一の吹出口３１によって圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて付勢することができる。

本実施例では、圧電素子３が平面正方形であり、吹出口３１の吹出方向が一対の各突当面２１，２３に対して４５°傾斜しているため、より確実に単一の吹出口３１によって圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて付勢することができる。

本実施例の位置確認装置１では、付勢部９のノズル２９の進出或いは空気の流量の増加によって付勢力の低下を抑制することができる。このため、より円滑に圧電素子３の突き当て動作を行わせることができる。

図５は、本発明の実施例２に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例１の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＡを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ａは、突当部７Ａの突当体１５Ａ，１７Ａ間の隙間をなくしたものである。すなわち、突当部７Ａは、一方の突当体１５Ａの端部を延設して他方の突当体１７Ａの端部を突き当てられている。なお、突当体１５Ａ，１７Ａは、一体に形成しても良い。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。

図６は、本発明の実施例３に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例２の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＢを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｂでは、上記実施例の単一の吹出口３１を備えた付勢部９に代えて、一対の吹出口４９，５１を備えた付勢部９Ｂを設けたものである。

すなわち、付勢部９Ｂは、一対のノズル５３，５５を備えている。ノズル５３，５５の軸心は、平面視で突当部７Ｂの突当面２１Ｂ，２３Ｂにそれぞれ沿って設けられている。ノズル５３，５５の吹出口４９，５１は、突当部７Ｂの突当面２３Ｂ，２１Ｂに向けて開口し、対向する突当面２３Ｂ，２１Ｂに向けて空気を吹き出すようになっている。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、一対の吹出口４９，５１の空気の流量を調整することで、圧電素子３の位置を容易に微調整することができる。

図７は、本発明の実施例４に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例２の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＣを付して詳細な説明を省略する。また、図７では、付勢部を省略してあるが、実際は、上記実施例の付勢部９及び９Ｂの何れかが用いられる。

本実施例の位置確認装置１Ｃは、上記実施例１の平面正方形の圧電素子３に代えて、平面矩形の圧電素子３Ｃの位置決めを行うものである。

この位置確認装置１Ｃでは、圧電素子３Ｃの短辺及び長辺に応じて、貫通孔３５Ｃ，３７Ｃの位置が圧電素子３Ｃの中心よりも突当部７Ｃの突当面２１Ｃ，２３Ｃに沿った外側に偏倚している。なお、本実施例では、突当部７Ｃの突当体２１Ｃ，２３Ｃの幅方向の寸法が上記実施例よりも大きく設定されている。

本実施例では、圧電素子３Ｃが平面矩形であっても上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。

図８は、本発明の実施例５に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＤを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｄは、圧電素子３Ｄの長辺に対応する突当部７Ｄの突当面２１Ｄ側に貫通孔５７を追加したものである。すなわち、本実施例では、突当面２１Ｄに沿って一対の貫通孔３５Ｄ，５７が設けられている。一対の貫通孔３５Ｄ，５７は、圧電素子３Ｃの中心に対し突当部７Ｃの突当面２１Ｄに沿った内外に偏倚配置されている。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、貫通孔５７の追加によって引込流量差を大きくすることができ、閾値設定を細かくすることができ、圧電素子３の位置決め状態の確認精度も更に向上することができる。

図９は、実施例６に係る位置確認装置の平面図であり、図１０は、同変形例を示している。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＥを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｅでは、圧電素子３Ｅの長辺に対応する突当部７Ｅの突当面２１Ｅ側にのみ貫通孔３５Ｅを設けたものである。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。

なお、本実施例の位置確認装置は、図１０のように変形することも可能である。

本変形例は、圧電素子３Ｅの短辺に対応する突当部７Ｅの突当面２３Ｅ側にのみ貫通孔３７Ｅを設けたものである。

図１１は、本発明の実施例７に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＦを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｆは、突当部７Ｆの突当面２１Ｆ，２３Ｆ間の挟角部３３Ｆに対応して単一の貫通孔５９を設けたものである。

貫通孔５９は、突当体１５Ｆ，１７Ｆによって約３／４が塞がれ、且つ突当体１５Ｆ，１７Ｆの突当面２１Ｆ，２３Ｆが貫通孔５９の断面中心を通っている。従って、貫通孔５９は、ステージ部５Ｆの表面４１Ｆ上で１／４円状に開口している。
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、単一の貫通孔５９でも引込流量差を大きくすることができる。

図１２は、本発明の実施例８に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＧを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｇは、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇを円形に開口させたものである。

すなわち、突当部７Ｇの突当体１５Ｇ，１７Ｇには、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇに対応して凹部６１，６３が設けられている。凹部６１，６３は、平面視半円形状に形成されており、突当体１５Ｇ，１７Ｇの板厚方向に沿って設けられている。この凹部６１，６３により、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇは、ステージ部５Ｇ上で平面視円形に開口している。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、圧電素子３Ｇが突当部７Ｇに完全に突き当てられた状態でも、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇを半分開口させることができる。

このため、本実施例では、クリアランスＤが略零の場合の引込流量を増加させることができる。この結果、本実施例では、クリアランスＤと引込流量との相関関係の直線性を向上させて、位置確認精度を向上させることができる。

図１３は、本発明の実施例９に係る位置確認装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＨを付して詳細な説明を省略する。

本実施例の位置確認装置１Ｈは、貫通孔３５Ｈ，３７Ｈが突当部７Ｈの突当面２１Ｈ，２３Ｈに平面視で接するように設けられている。従って、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇは、ステージ部５Ｇ状で平面円形に開口している。

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
［その他］
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各種の変更が可能である。

上記実施例では、空気の吹き出しによって圧電素子を付勢していたが、例えば押圧プレートによって圧電素子を押圧・付勢してもよい。

貫通孔の個数は、任意であり、上記実施例に限らず、増減することが可能である。

また、上記実施例７の貫通孔は、他の実施例１〜６，８及び９に組み合わせても良い。

上記実施例１の突当部７に隙間を設けた構成は、実施例３〜９に適用してもよい。

実施例８の突当部７Ｇに凹部を設けた構成は、他の実施例１〜４、６及び７に適用してもよい。

１ 位置確認装置
３ 圧電素子
５ ステージ部
７ 突当部
９ 付勢部
２１，２３ 突当面
３５，３７ 貫通孔
３９ 流量計測部

Claims (7)

1. 平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な圧電素子を載置させ大まかな位置決め用のステージ部と、
   該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、
   前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、
   前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢する位置決め装置に用いる位置確認装置であって、
   前記ステージ部に貫通形成され前記圧電素子の位置決め状態で少なくとも一部が閉塞される貫通孔と、
   前記付勢部の気体の吹き出しと共に前記貫通孔を介して気体を引き込み、該気体の流量に応じて前記圧電素子の位置決め状態を確認する流量計測部とを備え、
   前記突当部と前記圧電素子の端面とのクリアランスと前記流量計測部が引き込む気体の流量との相関関係を予め求め、
   前記流量計測部は、前記予め得た相関関係と前記位置決め状態で前記流量計測部が引き込む気体の流量とから前記位置決め状態の確認を行う、
   ことを特徴とする位置確認装置。
2. 請求項１記載の位置確認装置であって、
   前記ステージ部上の圧電素子を面方向で突き当てて位置決める突当部を備えている、
   ことを特徴とする位置確認装置。
3. 請求項２記載の位置確認装置であって、
   前記圧電素子は、平面四角形であり、
   前記突当部は、前記圧電素子外周の隣接する二辺に対応して設けられた一対の突当面を備えている、
   ことを特徴とする位置確認装置。
4. 請求項３記載の位置確認装置であって、
   前記貫通孔は、前記一対の突当面に沿って複数配置されている、
   ことを特徴とする位置確認装置。
5. 請求項３記載の位置確認装置であって、
   前記貫通孔は、前記一対の突当面の挟角部に配置されている、
   ことを特徴とする位置確認装置。
6. 請求項３〜５の何れかに記載の位置確認装置であって、
   前記貫通孔は、前記突当面から交差方向に突出して断面形状が小さくなるように開口している、
   ことを特徴とする位置確認装置。
7. 請求項６記載の位置確認装置であって、
   前記貫通孔の開口は、断面半円形である、
   ことを特徴とする位置確認装置。