JP2010179985A - 浮上搬送装置および浮上搬送方法 - Google Patents
浮上搬送装置および浮上搬送方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】板状基体の搬送路を形成する基台10と、前記基台10を覆う囲い板20と、前記基台10に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルと、板状基体の搬送時のずれを検出する手段とで構成される浮上搬送装置100であって、前記複数の噴射ノズルは、板状基体を前記基台10の面に沿って浮上搬送させ、前記複数の吸引ノズルは、前記噴射ノズルの列の外側に配置されて、板状基体の搬送時のずれを検出する手段からの信号によって、前記複数の吸引ノズルのいずれかの吸引力が調整されて、前記板状基体30の搬送のずれが補正される浮上搬送装置100とする。
【選択図】図1
Description
図7の浮上搬送装置は、其台100の上に囲い板200が設置され、其台100の表面には、噴出ノズル7、7a、7b、8、8a、8b、他(図示していないが、其台100の前面にある)が配置されている。
また、前記吸引ノズルの吸引パイプの垂直方向の断面形状を、一方の側が、円弧Rをなして基台の平面部に合流するように形成することを特徴とする浮上搬送方法である。
図1は、本発明の実施の形態1による浮上搬送装置の斜視図である。図1にて、浮上搬送装置100は、基台10と囲い板20とで構成されている。前記基台10の平面部分に、被搬送体が搬送されるための搬送路が形成される。貴台10の平面部分には、複数の噴出孔と、複数の吸引孔が配置されており、図1では、噴出孔2A、2B、2C、吸引孔1A、1Bが露出している。前記噴出孔2A、2B、2Cからは、気体が噴出して、前記噴出した気体が、板状基体30を浮上させ、かつ搬送方向へ前進させる。また、吸引孔1A、1Bには、周辺の気体が吸引されていき、浮上搬送装置100の周辺部の気体を吸引し、浮上搬送装置100の搬送方向を安定化させる。ここで、前記気体は、空気でも良いし、その他の不活性ガス、窒素ガス、他でも良い。
吸引孔1A、1Bは、浮上搬送装置100の周辺部の気体を吸引し、図2に示したごとく、導入パイプの軸方向と、搬送垂直方向とのなす角度は、角度θをつけており、浮上搬送装置100の搬送方向のずれを安定化させる働きを行う。
ここで、角度θは、搬送逆方向側に35°以上から60°以下の範囲が選択される。
基台の面の垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に35°以上から60°以下の範囲が設定される。
図6は、本発明の実施の形態2の浮上搬送装置に使用される吸引ノズルの断面図である。
図6にて、円弧状部分を有する吸引ノズル61にて、吸引パイプ部600の垂直方向の断面形状は、基台表面に通じる一方の側が、円弧状部分9をなして基台10の表面部に通じている。これによって、気流のコアンダ効果が生じ、其台の表面近傍に流れる気流の流れ90が生じ、より安定した板状其体の搬送が可能となる。この図6の吸引ノズルを使用することによって、板状其体へあたる気流の総量に関して衝突が軽減され、静電気の発生を、従来よりも抑制できる。
比較例は、従来の図7の装置を使用した。
表1より、実施例1、実施例2ともに、比較例よりも搬送の精度が優れており、また静電気の発生、およびパーテイクルの発生を軽減している。
10、100 基台
20、200 囲い板
30、300 板状基体
21A、21B、21C 噴出ノズル
2A、2B、2C 噴出孔
210A、210B、210C 噴出パイプ部
11A、11B 吸引ノズル
1A、1B 吸引孔
110A、110B 吸引パイプ部
40、400 気体供給管
50 気体吸収管
61 円弧状部分を有する吸引ノズル
600 吸引パイプ部
6 吸引孔
9 円弧状部分
90 其台の表面近傍に流れる気流の流れ
62 配管パイプ
Claims (6)
- 板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルと、前記板状基体の搬送時のずれを検出する手段とで構成される浮上搬送装置であって、前記複数の噴射ノズルは、板状基体を前記基台の面に沿って浮上搬送させ、前記複数の吸引ノズルは、前記噴射ノズルの列の外側に配置されて、板状基体の搬送時のずれを検出する手段からの信号によって、前記複数の吸引ノズルのいずれかの吸引力が調整されて、前記板状基体の搬送のずれが補正されることを特徴とする浮上搬送装置。
- 前記噴出ノズルの噴出パイプ部の方向は、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に30°以上から45°以下の範囲であり、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向は、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に35°以上から60°以下の範囲であることを特徴とする請求項1記載の浮上搬送装置。
- 前記吸引ノズルの吸引パイプ部の垂直方向の断面形状は、基台表面に通じる一方の側が、円弧状をなして基台の表面部に通じていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の浮上搬送装置。
- 板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルとを用いて板状基体を気流を用いて搬送する浮上搬送方法であって、
前記複数の噴射ノズルからの気流の噴出によって、板状基体を前記基台の平面に沿って浮上搬送させ、
板状基体の搬送方向のずれを検出する手段が、前記複数の吸引ノズルの気流の吸引力を制御して、前記板状基体の搬送のずれを補正することを特徴とする浮上搬送方法。 - 前記噴出ノズルの噴出パイプ部の方向を、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に30°以上から45°以下の範囲とし、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向を、基台の面の(搬送)垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に35°以上から60°以下の範囲とすることを特徴とする請求項4記載の浮上搬送方法。
- 前記吸引ノズルの吸引パイプ部の垂直方向の断面形状を、一方の側が、円弧状をなして基台の平面部に合流するように形成することを特徴とする請求項4または5のいずれかに記載の浮上搬送方法。
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