JP5591562B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施例1に係る位置決め装置を示す平面図、図2は、図1の位置決め装置の姿勢調整動作を示す斜視図、図3は、位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図、図4は、クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである。
[圧電素子の位置決め]
本実施例の位置決め装置1では、図2のように、圧電素子3をステージ部5上で目標位置に位置決めした後、その位置決め状態の確認が行われる。
[実施例1の効果]
本実施例の位置決め装置1は、圧電素子3を載置させるステージ部5と、ステージ部5上の圧電素子を面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部7と、圧電素子3を面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部9とを備え、付勢部9は、圧電素子3を空気の吹き出しによって付勢する。
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、単一の貫通孔59でも引込流量差を大きくすることができる。
[その他]
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各種の変更が可能である。
3 圧電素子
5 ステージ部
7 突当部
9 付勢部
21,23 突当面
35,37 貫通孔
39 流量計測部
Claims (4)
- 平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な平面四角形の薄板状部材の圧電素子を載置させ大まかな位置決めを行うステージ部と、
該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、
前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、
前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢し、
前記付勢部の付勢により前記圧電素子をスライド移動させる位置決め装置であって、
前記突当部は、前記圧電素子外周の隣接する二辺に対応して設けられた一対の突当面を備え、
前記付勢部は、前記一対の突当面間の挟角部に向けて前記気体を吹き出す単一の吹出口を備え、
前記付勢部の付勢は、前記大まかに位置決められた圧電素子の隣接する二端面に外周から気体を吹き付けて行い、
前記スライド移動時に前記付勢部からの気体が前記圧電素子の下面側に入り込み該圧電素子を浮上させる、
ことを特徴とする位置決め装置。 - 請求項1記載の位置決め装置であって、
前記圧電素子は、平面正方形であり、
前記吹出口の吹出方向は、前記一対の各突当面に対して45°傾斜している、
ことを特徴とする位置決め装置。 - 請求項1又は2に記載の位置決め装置であって、
前記付勢部は、進退移動によって付勢力を調整する、
ことを特徴とする位置決め装置。 - 請求項1〜3の何れかに記載の位置決め装置であって、
前記付勢部は、前記気体の流量によって付勢力を調整する、
ことを特徴とする位置決め装置。
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