JP5591422B1 - 加工テーブル用治具、加工テーブル用治具の製造方法およびレーザ加工方法 - Google Patents
加工テーブル用治具、加工テーブル用治具の製造方法およびレーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5591422B1 JP5591422B1 JP2014513824A JP2014513824A JP5591422B1 JP 5591422 B1 JP5591422 B1 JP 5591422B1 JP 2014513824 A JP2014513824 A JP 2014513824A JP 2014513824 A JP2014513824 A JP 2014513824A JP 5591422 B1 JP5591422 B1 JP 5591422B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- copper foil
- layer
- workpiece
- processing table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 128
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 110
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 94
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
- B23K37/04—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
- B23K37/0408—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work for planar work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
図1は、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示す図である。レーザ加工装置100は、レーザビーム(パルスレーザ光)20を照射することによって被処理基板である被加工物(ワーク)2にレーザ穴あけ加工を行う装置である。本実施の形態では、剥離可能なよう積層された多層銅箔の治具(jig)1Aを用いてレーザ加工が行われる。
(A)1度の治具1Aの設置で、複数回の最上層の除去が可能となり、治具1Aの交換頻度が低下する。この結果、生産時間のロスを減少させることができる。
(B)治具1Aの作製には、プリント配線板の作製工程を利用できるので、容易かつ短期間で治具1Aを作製することが可能となる。また、被加工物2のそれぞれにシートなどの治具を接着する必要が無くなるので、製造コストを低減できる。
また、治具1Aの作製に用いられる銅箔および接着層は、プリント配線板の製造工程で一般的に使用されているので、入手が容易であり、製造コストを低減できる。
Claims (3)
- レーザ穴あけ加工の際に加工テーブル上に載置されるとともに、上面側に被加工物が載置されることによって前記被加工物の底面側に配置され、
前記被加工物に照射されるレーザビームを反射する反射層を備え、
前記反射層が反射層毎に剥離可能なよう接着層によって板状に積層された積層部を有することを特徴とする加工テーブル用治具。 - 被加工物に照射されるレーザビームを反射する反射層を反射層毎に剥離可能なよう接着層によって板状に積層する積層ステップを含むことを特徴とする加工テーブル用治具の製造方法。
- 被加工物に照射されるレーザビームを反射する反射層を反射層毎に剥離可能なよう接着層によって板状に積層された加工テーブル用治具を、加工テーブル上に載置する第1の載置ステップと、
前記加工テーブル用治具の上面側に被加工物を載置する第2の載置ステップと、
前記被加工物にレーザビームを照射して前記被加工物に穴あけ加工を行なうレーザ加工ステップと、
前記加工テーブル用治具が損傷した場合または前記加工テーブル用治具上に加工屑が堆積した場合に、前記加工テーブル用治具の最上層にある反射層および接着層を剥離する剥離ステップと、を含むことを特徴とするレーザ加工方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2013/078354 WO2015056349A1 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 加工テーブル用治具、加工テーブル用治具の製造方法およびレーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5591422B1 true JP5591422B1 (ja) | 2014-09-17 |
JPWO2015056349A1 JPWO2015056349A1 (ja) | 2017-03-09 |
Family
ID=51702004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014513824A Active JP5591422B1 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 加工テーブル用治具、加工テーブル用治具の製造方法およびレーザ加工方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5591422B1 (ja) |
KR (1) | KR101519314B1 (ja) |
CN (1) | CN104755220B (ja) |
TW (1) | TWI546152B (ja) |
WO (1) | WO2015056349A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105196710B (zh) * | 2015-10-16 | 2016-10-05 | 张晶 | 激光打印设备 |
CN105195905B (zh) * | 2015-10-16 | 2017-07-18 | 惠州市杰普特电子技术有限公司 | 新型激光打印设备 |
CN106041324B (zh) * | 2016-06-03 | 2017-10-17 | 张家港协鑫集成科技有限公司 | 层压件开孔定位装置及方法 |
KR102581007B1 (ko) * | 2018-11-21 | 2023-09-22 | 엘지이노텍 주식회사 | 비아 홀 가공 방법 |
US20220015245A1 (en) * | 2018-11-21 | 2022-01-13 | Lg Innotek Co., Ltd. | Jig for via-hole processing, via-hole processing device, and via-hole processing method using same |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6319986U (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-09 | ||
JPS6319987U (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-09 | ||
FR2747065B1 (fr) * | 1996-04-05 | 1998-06-12 | Milly Daniel Paul | Dispositif de protection pour table a laser |
JP3875867B2 (ja) * | 2001-10-15 | 2007-01-31 | 新光電気工業株式会社 | シリコン基板の穴形成方法 |
JP4084224B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2008-04-30 | リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 | レーザー加工方法 |
DE102004020737A1 (de) * | 2004-04-27 | 2005-11-24 | Lzh Laserzentrum Hannover E.V. | Vorrichtung zum Durchtrennen von Bauteilen aus sprödbrüchigen Materialien mit spannungsfreier Bauteillagerung |
TW200715928A (en) * | 2005-10-06 | 2007-04-16 | Mec Co Ltd | Method for manufacturing a printed wiring board |
KR100831593B1 (ko) * | 2007-04-23 | 2008-05-23 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법, 비아홀 천공 장치 |
KR101043729B1 (ko) * | 2008-12-31 | 2011-06-24 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체설비의 교정용 기준 웨이퍼 및 그 제조 방법 |
MY162078A (en) * | 2010-02-24 | 2017-05-31 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Copper foil for printed circuit board and copper-clad laminate for printed circuit board |
JP2012055954A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Panasonic Corp | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
-
2013
- 2013-10-18 CN CN201380012396.5A patent/CN104755220B/zh active Active
- 2013-10-18 JP JP2014513824A patent/JP5591422B1/ja active Active
- 2013-10-18 KR KR1020147024350A patent/KR101519314B1/ko active IP Right Grant
- 2013-10-18 WO PCT/JP2013/078354 patent/WO2015056349A1/ja active Application Filing
-
2014
- 2014-02-18 TW TW103105244A patent/TWI546152B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104755220A (zh) | 2015-07-01 |
TW201515759A (zh) | 2015-05-01 |
TWI546152B (zh) | 2016-08-21 |
JPWO2015056349A1 (ja) | 2017-03-09 |
CN104755220B (zh) | 2016-11-16 |
WO2015056349A1 (ja) | 2015-04-23 |
KR101519314B1 (ko) | 2015-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5591422B1 (ja) | 加工テーブル用治具、加工テーブル用治具の製造方法およびレーザ加工方法 | |
TWI464029B (zh) | Laser processing method | |
JP5151313B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
WO2006051866A1 (ja) | レーザ加工方法及び半導体チップ | |
KR102467419B1 (ko) | 디스플레이 장치 제조방법 | |
JP2007335698A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2007335700A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2011035245A (ja) | 板状ワークの分割方法 | |
US10957836B2 (en) | Printed board and light emitting device | |
CN107662050B (zh) | 激光加工装置以及激光加工方法 | |
KR102353912B1 (ko) | 레이저 가공 방법 | |
JP2008193067A (ja) | 金属膜パターン形成方法 | |
JP2013004926A (ja) | 回路基板の製造方法、回路基板の製造装置、及び、レーザ加工用治具 | |
US20150239066A1 (en) | Substrate cutting apparatus and method of manufacturing display apparatus by using a substrate cutting apparatus | |
JP4084224B2 (ja) | レーザー加工方法 | |
JP6744634B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JPH11333975A (ja) | 樹脂付き導体箔およびそれを用いた積層板およびそれらの製造方法 | |
TWI595956B (zh) | 加工設備 | |
KR101398562B1 (ko) | 투명도전성 필름 가공 방법 | |
JP3869736B2 (ja) | レーザ加工方法及び多層配線基板 | |
JP2003285185A (ja) | レーザ加工方法 | |
US6955737B2 (en) | Supported greensheet structure and method in MLC processing | |
JP2005072210A (ja) | 積層基板の製造方法およびパッケージの製造方法ならびに積層基板およびパッケージ | |
JP2001170791A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP3440093B1 (ja) | 薄板状の加工対象物に、配線用及び位置合わせ用の穴を形成するレーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140701 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5591422 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |