JP5588944B2 - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(X1−X0)2+(Y1−Y0)2≦r2 …(1)
2 第一陽極
3 第二陽極
4 電子線
5、6 集束レンズ
7 対物レンズ
8 絞り板
9 反射板
10 試料
11 試料ステージ
12 二次信号電子
13 偏向コイル(上段)
14 偏向コイル(下段)
15 変換二次電子
16 電磁界直交型偏向器(ExB偏向器)
17 信号検出器
18 信号増幅器
19 加速電極
21、22 イメージシフトの時の電子線軌道
23 偏向コイル
30 高電圧制御電源
31、32 集束レンズ制御電源
33 偏向コイル制御電源
36 対物レンズ制御電源
37 試料印加電源
38 加速電極電源
40 制御演算装置
41 画像メモリ
42 像表示装置
43 記憶装置
44 入力装置
Claims (18)
- 電子源と、
前記電子源から放出される電子線を加速する加速電圧が印加される電源と、
前記電子線を偏向走査する偏向器と、
試料を搭載する試料ステージと、
前記電子線が照射された試料から発生する電子から得られる信号を検出する検出器と、
前記試料上における電子線の照射対象位置が、前記試料の第一の範囲内にあるときには前記偏向器に視野を移動させる偏向信号を与え、前記第一の範囲を超えるときには前記試料ステージを移動して前記電子線の照射位置を前記照射対象位置に近づけるように移動させる制御コンピュータと、を備えた走査型電子顕微鏡において、
前記制御コンピュータは、
前記電子線が所定の走査幅よりも大きい領域を走査する場合には、前記第一の範囲内において前記偏向器に前記視野を移動させる偏向信号を与え、
前記電子線が所定の走査幅よりも小さい領域を走査する場合には、
前記試料上の電子線の照射対象位置が、前記試料の第一の範囲よりも小さい第二の範囲内にあるときには前記偏向器に前記視野を移動させる偏向信号を与え、前記第二の範囲を超えるときには前記試料ステージを移動することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記制御コンピュータは、
前記電子線の偏向位置と、前記電子線のビーム径に関する値の変化量とを関連付けたデータを記憶する記憶部を備え、
前記第二の範囲は、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて設定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記第二の範囲は、前記電子線のビーム径に関する値の変化量が最も小さくなるときの前記試料上の偏向位置を中心位置として設定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記所定の走査幅は、
前記制御コンピュータが前記検出器に検出される信号に基づいて形成する画像における画素の大きさが、前記電子線のビーム径よりも小さくなるときの走査幅であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記電子線のビーム径に関する値は、
当該検出器が検出した信号に基づいて形成される画像のコントラストの変化によって求められる特徴量であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項5において、
前記特徴量は、
像シャープネス値であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記電子線のビーム径に関する値は、
当該検出器が検出した信号に基づいて形成されるラインプロファイルに基づいて求められる寸法値であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記記憶部は、前記制御コンピュータによって制御される光学条件ごとに、
前記電子線の偏向位置と、前記電子線のビーム径に関する値の変化量とを関連付けたデータを記憶することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項8において、
前記光学条件は、
前記電源に印加する電圧、対物レンズに与える信号、或いは電子線のビーム開き角のうち、少なくとも1つ以上であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記制御コンピュータは、
前記記憶部に記憶させるデータに関する情報を入力する入力部を備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項10において、
前記制御コンピュータは、
前記入力部に入力する情報、及び入力結果を画面上に表示するユーザインターフェースを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 電子源と、
前記電子源から放出される電子線を集束する集束レンズと、
前記電子線を偏向する複数の偏向器と、
試料を搭載する試料ステージと、
前記電子線が照射された試料から発生する電子から得られる信号を検出する検出器と、
前記試料上の電子線の照射目的位置が、前記試料の所定の範囲内にあるときには前記偏向器に視野を移動させる偏向信号を与え、前記所定の範囲を超えるときには前記試料ステージを移動して前記電子線の照射位置を制御する制御コンピュータと、を備えた走査型電子顕微鏡において、
前記制御コンピュータは、
前記電子線が所定の走査幅よりも小さい領域を走査するとき、
前記複数の偏向器のうち、少なくとも1つ以上の偏向器に選択的に前記視野を移動させる偏向信号を与えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項12において、
前記所定の走査幅は、
前記制御コンピュータが前記検出器に検出される信号に基づいて形成する画像における画素の大きさが、前記電子線のビーム径よりも小さくなるときの走査幅であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項12において、
前記制御コンピュータは、
前記電子線のビーム径に関する値の変化量が最も小さくなるように、
前記複数の偏向器のうち、
少なくとも1つ以上の偏向器に選択的に信号を与えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項13において、
当該選択的に信号が与えられる偏向器には、
前記集束レンズのクロスオーバーが存在する位置に配置された偏向器が含まれることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 試料上における電子線の照射対象位置が、前記試料の第一の範囲内にあるときには、視野を移動させる偏向器を制御して前記電子線を偏向し、前記第一の範囲を超えるときには前記試料を搭載する試料ステージを移動して前記電子線の照射位置を移動する電子線の照射方法において、
前記電子線が所定の走査幅よりも大きい領域を走査する場合には、前記第一の範囲内において前記偏向器に前記視野を移動させる偏向信号を与え、
前記電子線が所定の走査幅よりも小さい領域を走査する場合には、
前記試料上の電子線の照射対象位置が、前記試料の第一の範囲よりも小さい第二の範囲内にあるときには前記偏向器に前記視野を移動させる偏向信号を与え、前記第二の範囲を超えるときには前記試料ステージを移動することを特徴とする電子線の移動方法。 - 請求項16において、
前記電子線の偏向位置と、前記電子線のビーム径に関する値の変化量とを関連付けたデータを記憶し、
前記第二の範囲は、当該記憶されたデータに基づいて設定されることを特徴とする電子
線の移動方法。 - 請求項16において、
前記所定の走査幅は、
前記制御コンピュータが前記検出器に検出される信号に基づいて形成する画像における画素の大きさが、前記電子線のビーム径よりも小さくなるときの走査幅であることを特徴とする電子線の移動方法。
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JP2011192266A JP5588944B2 (ja) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011192266A JP5588944B2 (ja) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | 走査型電子顕微鏡 |
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