JP5506202B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
これをアライメント制御温度として温度変化管理装置202のアライメント制御温度記憶部へ記憶することにより、以降のフローでアライメントを制御する温度変化量となる。ステップ504では各点の測定前に試料室107の温度を測定し、ステップ505で温度変化管理装置202に記憶した基準温度との比較から温度変化量を算出する。この変化量が温度変化管理装置202へ記憶されているアライメント制御温度を超えるまではステップ404から408と同様にステップ506から510にて測定を行い、アライメント制御温度を超えた場合にはステップ511でアライメントを行うとともに温度変化管理装置203に記憶した基準温度をリセットし、次のステップ504で測定した試料ステージの温度を新しい基準温度として温度変化管理装置202に記憶する。
この量をアライメント制御移動距離としてステージ移動距離管理装置702へ記憶することにより、以降のフローでアライメントを制御する試料ステージの移動量となる。ステップ903では試料ステージの移動量をステージ移動距離管理装置702で確認し、この移動量がアライメント制御移動距離を超えるまではステップ404から408と同様にステップ506から510にて測定を行い、アライメント制御移動距離を超えた場合にはステップ511でアライメントを行うと同時にステージ移動距離管理装置702のステージ移動量記憶部の値を一度初期化し、以降の試料ステージの動作に対して移動距離の累積加算を行っていく。
102 電子レンズ
103 偏向器
104 イメージシフト
105 検出器
106 電子ビーム
107 試料室
108 試料テーブル
109 試料
110 真空排気装置
111 画像処理装置
112 SEM制御装置
113 画像表示装置
114 温度センサ
115 アライメント制御装置
116 ステージ干渉計
117 測定用ミラー
118 駆動モータ
119 ステージ制御装置
301 マスク(測定前)
302 マスク(測定中)
303 アライメント点
304 測定点(左下)
305 測定点(右上)
Claims (4)
- 荷電粒子ビーム源と、
当該荷電粒子ビーム源から放出される荷電粒子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、
複数の測定位置に対して、前記荷電粒子ビームの走査位置が位置付けられるように、前記試料を移動する試料ステージと、
前記試料上に設けられた複数のアライメントパターンを用いて試料の回転成分を補正するアライメントと、前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる画像に対し、予め登録されたパターンデータを用いて所定のパターン位置を特定するアドレッシングを実行する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料室、或いは試料ステージの温度を測定する温度センサを備え、
前記制御装置は、
前記アドレッシングを実行したときのアドレッシングパターンの所定位置からの位置ずれ量、或いは前記試料上の複数の測定位置に対する測定回数が、所定値を越えたときに前記温度センサによって測定された第1の温度と、前記試料測定前に前記温度センサによって測定された第2の温度との変化量を求め、当該変化量に基づいて、アライメントを実施する温度と初期温度間の温度変化量を算出する温度変化管理装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記温度変化管理装置は、以下の演算式に基づいて、前記温度変化量を算出することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
T=(D×dT)/dL
T:温度変化量
D:走査位置を偏向する偏向器に設定されたしきい値
dT:第1の温度と第2の温度間の変化量
dL:複数のアライメントパターンを用いた試料測定前の第1のアライメントと、第2の温度が測定されたときに行う複数のアライメントパターンを用いた第2のアライメントとの間の複数のアライメントパターン間の位置変化の中の最大の位置変化量 - 荷電粒子ビーム源と、
当該荷電粒子ビーム源から放出される荷電粒子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、
複数の測定位置に対して、前記荷電粒子ビームの走査位置が位置付けられるように、前記試料を移動する試料ステージと、
前記試料上に設けられた複数のアライメントパターンを用いて試料の回転成分を補正するアライメントと、前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる画像に対し、予め登録されたパターンデータを用いて所定のパターン位置を特定するアドレッシングを実行する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、
前記アドレッシングを実行したときのアドレッシングパターンの所定位置からの位置ずれ量、或いは前記試料上の複数の測定位置に対する測定回数が、所定値を越えたときの前記試料ステージの第1の累積移動距離を求め、当該第1の累積移動距離に基づいて、アライメントを実施する累積異動距離と初期累積移動距離間の累積移動距離変化量を算出するステージ移動距離管理装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記ステージ移動距離管理装置は、以下の演算式に基づいて、前記累積移動距離変化量を算出することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
S=(D×LT)/dL
S:累積移動距離変化量
D:走査位置を偏向する偏向器に設定されたしきい値
LT:第1の累積移動距離
dL:第1の累積移動距離移動前に行われる複数のアライメントパターンを用いた第1のアライメントと、第1の累積移動距離移動後に行われる複数のアライメントパターンを用いた第2のアライメントとの間の複数のアライメントパターン間の位置変化の中の最大の位置変化量
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