JP5583236B1 - グラフェン配線 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電膜1とコンタクト層絶縁膜3内に形成されたコンタクトプラグ2に接続されたグラフェン配線10を形成する。グラフェン配線は触媒下地層11と触媒層12、グラフェン層13とからなる。グラフェン層は、単層又は100層以下の多層のグラフェンシートで構成される。グラフェン層はその側面にドーパント層14とを備え、グラフェン層の層間又は層上には、原子又は分子が存在する。
【選択図】図1
Description
グラフェン配線を形成するためには、基板上に一様に成膜したグラフェンを配線形状に加工、または、配線形状に形成した触媒層上へのグラフェンの成長を行う。
しかし、グラフェン配線を10nm程度まで細くした場合は、電子の量子閉じ込め効果による半導体化、もしくは、端部による散乱効果によって、抵抗が増大する懸念がある。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置100の斜視図である。
半導体装置100は、半導体基板の絶縁膜3上のグラフェン配線10と、グラフェン配線10の下面および上面にそれぞれ接続されたコンタクトプラグ2と、コンタクトプラグ2を介してグラフェン配線10に接続される導電膜1と、を有する。コンタクトプラグ2はコンタクト層絶縁膜3内に形成される。
触媒下地層11は、例えば、Ti、Ta、Ru、W等の金属の窒化物または酸化物からなる。また、触媒下地層11は、異なる複数の層からなる積層構造を有してもよい。触媒下地層11の厚さは、例えば、0.5nm以上10nm以下である。
導電膜1は、例えば、LSI等の半導体基板の一部に含まれる導電部材である。
コンタクトプラグ2は、例えば、層間配線である。
コンタクト層絶縁膜3は、例えば、層間配線の絶縁膜である。
(第1の工程)
まず、図2に示すように、コンタクトプラグ2及びコンタクト層絶縁膜3上に、触媒下地層111を形成する。
触媒下地層111は、それぞれ好適な材料をCVD(Chemical Vapor Deposition)などで膜厚調整をして成膜することができる。触媒層112も触媒下地層111と同様に成膜することができる。
次に、グラフェン層113を製膜する。成膜前に、良質なグラフェン成長のために、触媒金属層112の微粒子化工程であるプラズマ前処理を行うことが好ましい。H2、ArやN2等のガスを用い、処理時間30秒以上300秒以内、処理温度25℃以上300℃以下の範囲で微粒子化工程としてのプラズマ前処理を行う。上記ガスを用いた1回の処理、あるいは異なるガスを用いて2回以上に分けて処理を行ってもよい。
次に、図3に示すように、例えば、リソグラフィー法とRIE法の組み合わせによりグラフェン層113の一部を加工する。加工されたグラフェン層13は配線の形状を有する。配線の形状は、目的の形状にすることができる。
次に、図4に示すように、図3のグラフェン層13が配線状に加工された部材に対して、ドーパント層114を堆積する。堆積方法はCVDなどが挙げられる。堆積処理によって、グラフェン層13にドーパント層114を構成する原子や分子がグラフェン層13に移行するが、必要に応じてドーパント層114を構成する原子又は分子をグラフェン層13に移行することを促進するために、加熱処理を行なっても良い。
次に、例えば、リソグラフィー法とRIE法の組み合わせにより、ドーパント層114、触媒層112と触媒下地層111を配線状に加工する。グラフェン層13の側面にドーパント層214が残存するようにし、触媒層112、触媒下地層111もドーパント層114に合わせて加工を行う。本工程により、図1に示したグラフェン配線10を有する半導体装置100を得る。
2:コンタクトプラグ
3:コンタクト層絶縁膜
10:配線
11:触媒下地層
12:触媒層
13、113:グラフェン層
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上の触媒層と、
前記触媒層上のグラフェン層と、
前記グラフェン層の側面に原子又は分子を含むドーパント層とを備え、
前記グラフェン層の層間又はグラフェン層上には、前記ドーパント層から移行した前記原子又は分子が存在することを特徴とするグラフェン配線。 - 前記グラフェン層の幅は、3nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン配線。
- 前記グラフェン層の幅は、3nm以上30nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のグラフェン配線。
- 前記原子又は分子は、Co、Ni、Fe、RuとCuのうちのいずれかの単体金属、前記いずれかの単体金属を含む合金、前記いずれかの単体金属を含む炭化物、Na、Li、K、Sc、Y、La、Zr、Hf、IrとPtからなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のグラフェン配線。
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