JP5549364B2 - ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
光部2の画像取込速度)の少なくとも1つを調整することにより、検査対象のウェーハWの画像における平均輝度を調整することができ、画像の平均輝度を欠陥検出可能範囲に適切に収めることができるようになる。
Claims (7)
- 検査対象のウェーハを載置するウェーハ載置手段と、赤外光を前記ウェーハに対して照射する照射手段と、前記赤外光が照射された前記ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像されたウェーハの画像に基づいて前記ウェーハの欠陥を検査するウェーハ欠陥検査装置であって、
前記画像中の前記ウェーハの検査対象の領域内の各画素について、所定の直線方向に並ぶ複数の画素中の当該画素を含む所定の範囲内の複数の画素の輝度を平均した輝度を、前記各画素における基準平均輝度として算出する基準平均輝度算出手段と、
前記各画素における前記基準平均輝度と、前記各画素の輝度との差分値を算出する差分値算出手段と、
前記各画素についての前記差分値と、所定の閾値とを比較することにより、前記各画素が欠陥候補画素であるか否かを判定する判定手段と、
前記欠陥候補画素に基づいて、前記ウェーハにおける欠陥を検査する検査手段と、
前記各画素に対する前記所定の閾値を、前記各画素における前記基準平均輝度に基づいて決定する閾値決定手段と、
を有するウェーハ欠陥検査装置。 - 前記閾値決定手段は、前記基準平均輝度に所定の値を乗算した値を前記所定の閾値に決定する
請求項1に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記基準平均輝度算出手段は、前記所定の直線方向における前記所定の範囲内の画素が、前記ウェーハの外周近傍の検査対象外領域の画素に該当する場合には、当該検査対象外領域の画素の輝度を、前記検査対象の領域との境界の画素の輝度であると仮定して、前記基準平均輝度を算出する
請求項1または請求項2に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記基準平均輝度算出手段は、前記所定の直線方向における前記所定の範囲内の画素が、前記ウェーハの外周近傍の検査対象外領域の画素に該当する場合には、当該検査対象外領域の画素の輝度を、前記所定の直線方向の直線上の前記検査対象の領域との境界に対して対称位置にある画素の輝度であると仮定して、前記基準平均輝度を算出する
請求項1または請求項2に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記検査手段は、
前記欠陥候補画素に基づいて、欠陥候補領域を特定する欠陥候補領域特定手段と、
前記欠陥候補領域における輝度プロファイルの凹凸、前記欠陥候補領域における輝度と基準平均輝度との最大差と基準平均輝度との比である輝度比、前記欠陥候補領域における平均輝度変化率、前記欠陥候補領域の面積、前記欠陥候補領域の円形度、又は、前記欠陥候補領域についての重心を基準としての長い幅と短い幅との比の少なくともいずれか1つに基づいて、所定の欠陥種類に該当するか否かを判定する欠陥種類判定手段とを有する
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記検査手段は、
前記所定の欠陥種類に該当する欠陥候補領域の個数に基づいて、前記ウェーハが製品として合格か否かを判定する合否判定手段
を更に有する
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 検査対象のウェーハの画像に基づいて、前記ウェーハの欠陥を検査するウェーハ欠陥検査方法であって、
前記画像中の前記ウェーハの検査対象の範囲内の各画素について、所定の直線方向に並ぶ複数の画素中の当該画素を含む所定の範囲内の複数の画素の輝度を平均した輝度を、前記各画素における基準平均輝度として算出するステップと、
前記各画素における前記基準平均輝度と、前記各画素の輝度との差分値を算出するステップと、
前記各画素についての前記差分値と、所定の閾値とを比較することにより、前記各画素が欠陥候補画素であるか否かを判定するステップと、
前記欠陥候補画素に基づいて、前記ウェーハにおける欠陥を検査するステップと、
前記各画素に対する前記所定の閾値を、前記各画素における前記基準平均輝度に基づいて決定するステップと、
を有するウェーハ欠陥検査方法。
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