JP5544166B2 - 変形可能型集積回路装置 - Google Patents
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Description
・回路要素を備えた少なくとも1つの回路領域を有する主たる基板表面を有する基板を設けるステップと、
・前記回路領域の外側において前記主たる基板表面上にテンプレート構造を製造し、当該テンプレート構造を、前記主たる基板表面に平行な方向における消滅しない面積ベクトル成分を含む面積ベクトルを持つ少なくとも1つの表面を有するようにするステップと、
・前記テンプレート構造上にエッチストップ層を堆積し、このエッチストップ層を、前記基板の材料を除去するために適した薬剤に耐性があるものとするステップと、
・前記エッチストップ層の頂部に導電体トラックを製造するステップと、
・第1の導電体トラック表面上に第1の変形可能な材料の層を堆積するステップと、
・前記基板を一時的担体上へ実装し、前記テンプレート構造を、前記一時的担 体に面するようにするステップと、
・前記回路領域において基板アイランドを形成し、前記一時的担体の側の反対の背面から前記エッチストップ層まで前記基板を除去するステップと、
・前記エッチストップ層を選択的に除去し、これにより前記導電体トラックを露出させるステップと、
・第2の変形可能な材料の層を第2の導電体トラック表面上に堆積するステップと、
・前記一時的担体を除去するステップと、
を有する。
以下、本発明を、添付図面を参照してさらに詳しく説明する。
Claims (17)
- 集積回路装置であって、
・回路要素を含む回路領域を持つ主たる基板表面を有する基板アイランド
を有し、
・前記基板アイランドに付けられ、緩和した折り畳まれた状態から緊張した広げられた状態へ展開可能な少なくとも1つの折り畳み構造
を有し、前記折り畳み構造は、少なくとも1つの受動型電気構成部を含み、その折り畳まれた状態において前記主たる基板表面に平行な方向における消滅しない面積ベクトル成分を含む面積ベクトルを持つ少なくとも1つの表面を有し、当該面積ベクトル成分は、当該折り畳まれた状態から当該広げられた状態へと変形するときに減少させられ又は消失し、前記集積回路装置が、両面において弾性的に変形可能な材料の層を有し、前記基板アイランドの前記回路領域及び前記折り畳み構造の前記受動型電気構成部が、前記弾性的に変形可能な材料の層に埋め込まれている、
集積回路装置。 - 請求項1に記載の集積回路装置であって、前記折り畳み構造は、その折り畳まれた状態において、断面図において、直立形態又は逆さまの形態につき、U字又はV字に似ている部分を有する、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、前記受動型電気構成部が、導電体トラックを有する、集積回路装置。
- 請求項3に記載の集積回路装置であって、前記導電体トラックは、当該折り畳まれた状態から当該広げられた状態への変形に対して前記折り畳み構造の中立ラインに配置される、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、前記折り畳み構造は、独立した折り畳み構造である、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、前記折り畳み構造は、前記基板アイランド及びアンテナを接続する、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、前記折り畳み構造は、前記基板アイランドを第2の基板アイランドに接続する、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、それぞれの折り畳み構造が前記基板アイランドの4つの横の側に付され、当該集積回路装置を4方向において伸張するために展開可能とした、集積回路装置。
- 請求項1に記載の集積回路装置であって、一時的担体に実装させられる集積回路装置。
- 集積回路装置を製造する方法であって、
・回路要素を備えた少なくとも1つの回路領域を有する主たる基板表面を有する硬質基板を設けるステップと、
・前記回路領域の外側において前記主たる基板表面上にテンプレート構造を製造し、当該テンプレート構造を、前記主たる基板表面に平行な方向における消滅しない面積ベクトル成分を含む面積ベクトルを持つ少なくとも1つの表面を有するようにするステップと、
・前記テンプレート構造上にエッチストップ層を堆積し、このエッチストップ層を、前記基板の材料を除去するために適した薬剤に耐性があるものとするステップと、
・前記エッチストップ層の頂部に導電体トラックを製造するステップと、
・前記回路領域の第1の回路領域表面及び第1の導電体トラック表面上に第1の変形可能な材料の層を堆積するステップと、
・前記基板を一時的担体上へ実装し、前記テンプレート構造を、前記一時的担体に面するようにするステップと、
・前記回路領域の第2の回路領域表面において基板アイランドを形成し、前記一時的担体の側の反対の背面から前記エッチストップ層まで前記基板を除去するステップと、
・前記エッチストップ層を選択的に除去し、これにより前記導電体トラックを露出させるステップと、
・第2の変形可能な材料の層を前記第2の回路領域表面に形成された前記基板アイランド及び第2の導電体トラック表面上に堆積するステップと、
・前記一時的担体を除去するステップと、
を有する方法。 - 請求項10に記載の方法であって、前記テンプレート構造を製造するステップは、U字又はV字の形状の溝を前記主たる基板表面へエッチングすることを有する、方法。
- 請求項11に記載の方法であって、前記基板を一時的担体に実装するステップの前に、前記溝を封止するステップが行われる、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記溝を封止するステップの後で前記基板を一時的担体上へ実装するステップの前に、セパレータ層を前記基板上へ堆積するステップが行われる、方法。
- 請求項13に記載の方法であって、前記一時的担体を除去するステップの後に前記セパレータ層及び溝封止を除去するステップを有する方法。
- 請求項11に記載の方法であって、前記基板を前記一時的担体に実装するステップは、前記主たる基板表面上で前記溝の中に接着層を堆積して平坦化することを有する、方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記テンプレート構造を製造するステップは、前記基板表面上に***したテンプレート構造を製造するステップを有する、方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記基板を設けるステップは、前記回路領域までの横方向の距離をもってアンテナ構造を製造することを有する、方法。
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