JP5526666B2 - サファイア単結晶の製造装置 - Google Patents
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Description
そのため、サファイアを効率よく安定的に生産できるサファイア単結晶製造装置が求められている。
その一方で、特許文献2に開示されたカーボンフェルトは軟らかい材料であって、高温下で割れが生じる課題の解決を図り得る反面、耐荷重が低く、荷重をかけると徐々に変形し、大型化しづらいといった課題が生じ得る。また、上記の通り、育成炉内の温度分布が変化することにより結晶育成の再現性が悪くなることを防ぐ観点からも、変形を防止し且つ配置精度を高めることが課題となる。
図1にサファイア単結晶の製造装置1の正面断面図(概略図)を示す。本実施形態に係るサファイア単結晶の製造装置1は、公知の垂直ブリッジマン法によってサファイア単結晶を製造する育成炉10を備える。その構造を簡単に説明すると、育成炉10は、冷却水が流通される筒状のジャケット12およびベース13によって密閉された空間内に、上下に長い筒状ヒーターが1個ないし複数個配設されて構成される。本実施の形態では1個の円筒ヒーター14を用いている。なお、育成炉10の寸法は、製造する単結晶の大きさによって当然異なるが、一例として、直径0.5[m]、高さ1[m]程度である。
円筒ヒーター14の周りには断熱部材16が配置され、断熱部材16によって囲まれてホットゾーン18が形成されている。なお、断熱部材16の詳細については後述する。
円筒ヒーター14への通電量を制御することによって、ホットゾーン18内の上下方向に温度勾配を作ることができる。
ルツボ軸22は図示しないがボールネジにより上下動され、これによりルツボ20は、上昇速度、下降速度を精密に制御されて上下動可能となっている。
特にタングステンは各温度において、線膨張係数がサファイアよりも小さく、したがって、これらの材料からなるルツボを用いることによって、後述するように結晶化過程、アニール処理過程、冷却過程において、収縮率がサファイアよりも小さく、ルツボ20の内壁面とサファイア単結晶の外壁面とが非接触の状態となって、サファイアに応力が加わらず、サファイアのクラック発生を防止できる。
断熱部材16は、少なくとも円筒ヒーター14の径方向の外周を取り囲む位置において筒状形状を有し、且つ、育成炉10内に発生させる所望の温度勾配(図7(E)参照)に対応させて、温度の高い育成炉10内の上部において下部よりも径方向に厚く、温度の低い育成炉10内の下部において上部よりも径方向に薄い形状を有する(図1参照)。
さらに、底部にも断熱部材16dが配設される。一例として、断熱部材16dは、円板状(もしくは円柱状)であって、ルツボ軸22用貫通孔等を有する。
上記の構成によれば、ルツボ20内に種子結晶24および原料26を収納し、育成炉10内の円筒ヒーター14内にルツボ20を配置して円筒ヒーター14により加熱して原料26および種子結晶24の一部を融解すると共に、円筒ヒーター14に上が高く下が低い温度勾配を形成することによって融液を順次結晶化させる一方向凝固法によるサファイア単結晶の製造装置1において、結晶育成に最適な所望の温度勾配(図7(E)参照)を育成炉10内に生じさせることが可能となる。加えて、育成炉10内の上下方向において断熱部材16(筒状部材16a、16b)の径方向厚さを適宜設定することで、温度勾配の制御を容易に行うことが可能となる。
なお、図4に示すリング部17aは、一例であって、配設位置に応じて内外径、溝形状等が適当に設定される。
これによって、当該溝部16ag、16bg、16cgに、対応するリング部17aが嵌合することにより、筒状部材16a、16bおよび断熱部材16cがそれぞれ正確に径方向に位置決めされる効果が生じる。
あるいは、溝部16ag、16bg、16cgを設けると共に、もしくは溝部16ag、16bg、16cg設けることに代えて、円筒部17bの外径と大径の筒状部材16aの内径を一致させ、且つ、円筒部17bの内径と小径の筒状部材16bの外径を一致させることによっても、筒状部材16a、16bを正確に径方向に位置決めすることが可能となる。
さらに、筒状部材16a、16bはカーボンフェルトからなるため、上下方向に積層された複数の筒状部材16a、16bが変形したり、配置位置にズレが生じたりする恐れがある。特にサファイア単結晶の育成に関しては、育成炉10内の温度勾配の制御が非常に重要であり、当該筒状部材16a、16bの変形あるいは配置位置のズレが僅かに生じるだけで、育成炉10内の温度勾配を含む温度分布が変化して結晶育成の再現性が悪くなり、育成される単結晶に結晶欠陥が生じ得る。
しかし、上記の構成によれば、骨組部材17によって、鉛直方向に作用する重量(積層された断熱部材16の重量)を支えることが可能となるため、断熱部材16(16a、16b、16c、16d)に変形が生じることを防止できる。
さらに、骨組部材17によって、特に筒状部材16a、16bの径方向の位置決めを正確に行うことが可能となり、配置位置のズレが生じることを防止できる。
それらの結果、育成炉10内の温度勾配を含む温度分布に変化が生じることを防止できるため、育成される単結晶に結晶欠陥が生じることを防止でき、高品質の単結晶製造が可能となる。
ルツボ20内にはサファイアの種子結晶24と原料26が入れられる(図7(A))。
育成炉10の円筒ヒーター14で囲まれたホットゾーンは、サファイアの融点を跨いで、上部側が融点の温度以上、下部側が融点の温度以下の温度となるように温度制御されている(図7(F))。
サファイアの種子結晶24と原料26が入れられたルツボ20は、ホットゾーンを下部から上部側へと上昇させられ、原料26が融解し、種子結晶24の上部が融解した段階で上昇を停止され(図7(B))、次いでゆっくりと所要の下降速度で下降される(図7(C))。これにより種子結晶24の結晶面に沿って融液が徐々に結晶、析出する(図7(C)、(D))。
種子結晶24はc面が水平になるようにルツボ20中に配置され、融液はこのc面に沿って、すなわちc軸方向に成長する。
また、結晶の成長軸は、上記実施の形態ではc軸としたが、a軸を成長軸としてもよく、またr面に垂直な方向を成長軸としてもよい。
また、複数の構成部材の積層構造等によって、断熱部材の大型化・重量化の課題解決を図りつつ、上下方向における断熱部材の径方向厚さを変化させて、結晶育成に最適な温度勾配を生じさせ、さらに、変形防止・ズレ防止を図ることによって、育成炉内の温度分布の形成に影響を与える断熱部材の形状精度と配置精度を確保している。
それらの結果、結晶欠陥が生じることを防止して高品質のサファイア単結晶を製造することを可能としている。
10 育成炉
12 ジャケット
13 ベース
14 円筒ヒーター
16 断熱部材
17 骨組部材
18 ホットゾーン
20 ルツボ
22 ルツボ軸
24 種子結晶
26 原料
28 均熱ゾーン
Claims (5)
- ルツボ内に種子結晶および原料を収納し、育成炉内の筒状ヒーター内に該ルツボを配置して筒状ヒーターにより加熱して原料および種子結晶の一部を融解して結晶化させるサファイア単結晶の製造装置において、
前記筒状ヒーターを取り囲むように前記育成炉内に断熱部材が配設されてホットゾーンが形成され、
前記断熱部材は、上下方向に積層された複数の筒状部材と、該複数の筒状部材の全部もしくは一部の重量を鉛直方向に支える骨組部材とを備え、且つ、該複数の筒状部材を積層する際の径方向の位置決めを行う位置決め手段を有し、
前記複数の筒状部材は、カーボンフェルトを成形した部材より成ること
を特徴とするサファイア単結晶の製造装置。 - 前記製造装置は、筒状ヒーターに上が高く下が低い温度勾配を形成することによって融液を順次結晶化させる一方向凝固法によるサファイア単結晶の製造装置であって、
前記断熱部材は、少なくとも前記筒状ヒーターの径方向の外周を取り囲む位置において筒状形状を有し、且つ、前記温度勾配に対応させて、温度の高い前記育成炉内の上部において下部よりも径方向に厚く、温度の低い下部において上部よりも径方向に薄い形状を有すること
を特徴とする請求項1記載のサファイア単結晶の製造装置。 - 前記育成炉内の上部において径方向に厚く、下部において径方向に薄い形状を有する前記断熱部材は、
大径の前記筒状部材と小径の前記筒状部材との両方を径方向に重ね合わせて配設することにより径方向に厚い形状が形成され、いずれか一方を単独で配設することにより径方向に薄い形状が形成されること
を特徴とする請求項2記載のサファイア単結晶の製造装置。 - 前記骨組部材は、前記筒状部材が載置されるリング部と、該筒状部材が載置された該リング部の重量を鉛直方向に支える円筒部とを備え、
前記リング部および前記円筒部は、カーボン材料を成形加工した部材より成ること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のサファイア単結晶の製造装置。 - 前記断熱部材は、最上部の前記筒状部材の上に直接もしくは前記骨組部材を介して配設される円板状部材を備え、
前記円板状部材は、カーボンフェルトを用いて形成されていること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のサファイア単結晶の製造装置。
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