JP5517832B2 - レーザアニール装置及びレーザアニール方法 - Google Patents
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Description
レーザパルスを出射するレーザ光源と、
アニール対象物を保持するステージと、
前記レーザ光源から出射したレーザパルスを、前記ステージに保持されたアニール対象物に伝搬する光学系であって、前記アニール対象物上におけるレーザパルスの入射位置を移動させる走査器を含む光学系と、
前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射する、入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスの入射領域が重複部分をもたないように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射する、入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスが、前記アニール対象物表面に画定される複数のレーザ照射領域のうち、相互に異なる領域に入射するように、かつ前記レーザ照射領域の各々において前記レーザパルスの入射領域が重複するように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御するレーザアニール装置が提供される。
(a)表層部に不純物が添加された半導体基板を準備する工程と、
(b)前記半導体基板の不純物が添加された領域に、複数のレーザパルスを入射させて前記半導体基板のアニールを行う工程と
を有し、
前記工程(b)において、
入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスの入射領域が重複部分をもたないように、前記半導体基板に複数のレーザパルスを入射させ、
入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスが、前記半導体基板表面に画定される複数のレーザ照射領域のうち、相互に異なる領域に入射するように、かつ前記レーザ照射領域の各々において前記レーザパルスの入射領域が重複するように前記レーザパルスの入射位置を移動させるレーザアニール方法が提供される。
11 バリアブルアッテネータ
12 光ファイバ
13 レンズ
14 ガルバノスキャナ
15 fθレンズ
16 XYステージ
17 制御装置
18a 短軸用レンズアレイ
18b 長軸用レンズアレイ
20 パルスレーザビーム
30 貼り合わせ基板
30a シリコン層
30b 配線層
30c シリコン層
Claims (9)
- レーザパルスを出射するレーザ光源と、
アニール対象物を保持するステージと、
前記レーザ光源から出射したレーザパルスを、前記ステージに保持されたアニール対象物に伝搬する光学系であって、前記アニール対象物上におけるレーザパルスの入射位置を移動させる走査器を含む光学系と、
前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射する、入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスの入射領域が重複部分をもたないように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射する、入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスが、前記アニール対象物表面に画定される複数のレーザ照射領域のうち、相互に異なる領域に入射するように、かつ前記レーザ照射領域の各々において前記レーザパルスの入射領域が重複するように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御するレーザアニール装置。 - 前記制御装置は、前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射するレーザパルスが、前記複数のレーザ照射領域のすべてに順に、1ショットずつ入射するサイクルを繰り返すように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御する請求項1に記載のレーザアニール装置。
- 前記制御装置は、前記レーザ光源から出射され、前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射するレーザパルスのショット数が、前記複数のレーザ照射領域のすべての任意の位置につき等しくなるように、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御する請求項1または2に記載のレーザアニール装置。
- 更に、前記光学系は、前記レーザ光源と前記走査器との間のレーザパルスの光路上に配
置され、入射するレーザパルスの光強度を変化して出射する光強度調整器を含み、
前記制御装置は、前記レーザ光源から出射され、前記光強度調整器及び前記走査器を経由して、前記ステージに保持されたアニール対象物に入射するレーザパルスが、前記複数のレーザ照射領域のうちの第1照射領域と第2照射領域とに、異なるパルスエネルギ密度で入射するように、前記光強度調整器を出射するレーザパルスの光強度、及び、前記走査器によるレーザパルスの入射位置の移動を制御する請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザアニール装置。 - (a)表層部に不純物が添加された半導体基板を準備する工程と、
(b)前記半導体基板の不純物が添加された領域に、複数のレーザパルスを入射させて前記半導体基板のアニールを行う工程と
を有し、
前記工程(b)において、
入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスの入射領域が重複部分をもたないように、前記半導体基板に複数のレーザパルスを入射させ、
入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスが、前記半導体基板表面に画定される複数のレーザ照射領域のうち、相互に異なる領域に入射するように、かつ前記レーザ照射領域の各々において前記レーザパルスの入射領域が重複するように前記レーザパルスの入射位置を移動させるレーザアニール方法。 - 前記工程(b)において、前記複数のレーザ照射領域のすべてに順に、1ショットずつレーザパルスを入射させるサイクルを繰り返して、前記複数のレーザ照射領域のアニールを行う請求項5に記載のレーザアニール方法。
- 前記工程(b)において、前記複数のレーザ照射領域のすべての任意の位置につき等しいショット数のレーザパルスを入射させる請求項5または6に記載のレーザアニール方法。
- 前記工程(b)において、前記複数のレーザ照射領域のうちの第1照射領域と第2照射領域とに、パルスエネルギ密度を異なる値にして、レーザパルスを入射させる請求項5〜7のいずれか1項に記載のレーザアニール方法。
- (a)表層部に不純物が添加され、内部に配線層が形成された半導体基板を準備する工程と、
(b)前記半導体基板の不純物が添加された領域に、複数のレーザパルスを入射させて前記半導体基板のアニールを行う工程と
を有し、
前記工程(b)において、
入射順序が連続する任意の2つのレーザパルスの入射領域が重複部分をもたないように、前記半導体基板に複数のレーザパルスを入射させるレーザアニール方法。
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