JP5508890B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
このような保護テープは、最終的に剥離されるものであるが、保護テープがウエハに全面的に接着しているため、ウエハ外周縁からの初期の剥離が困難になる、という不都合があり、特に、ウエハ径が大きくなればなるほど、外周縁の曲率が大きくなって顕在化する。
本発明の目的は、ウエハ等の被着体に、接着シートを貼付した後に、当該接着シートを外縁側から容易に剥離することが可能となる状態で、接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、不接着処理手段が塗布手段を含んで構成されていれば、当該塗布手段を接着剤層又は被着体に相対する位置に設けるだけで不接着処理を施すことができ、更に、被着体を支持するテーブル内に塗布手段を設ける構成とすることで、不接着処理手段をシート貼付装置に適用する際の位置的なレイアウト等の制約を解消することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、前記実施形態では、接着シートの外縁Sbを含む一部領域内に処理面部を形成する場合を説明したが、接着シートの外縁Sbを含まない領域に処理面部を形成し、この処理面部が形成された領域をウエハの外縁Wbを含む外縁領域Waに貼付するようにしてもよい。
12 繰出手段
13 テーブル
14 押圧手段
15 不接着処理手段
16 切断手段
87 塗布手段(照射手段)
A 接着剤層
BS 基材シート
S 接着シート
Sa 対応領域(処理面部)
Sb 接着シートの外縁
W ウエハ(被着体)
Wa 外縁領域(処理面部)
Wb ウエハの外縁(被着体の外縁)
W1 表面
Claims (7)
- 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体の表面に臨む位置に接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記被着体、及び、接着シートの少なくとも一方に、前記被着体に不接着な不接着処理を施して処理面部を形成する不接着処理手段と、
前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記処理面部が接着シートの外縁を含む一部領域内に位置するとともに、前記処理面部が前記被着体と前記接着シートとの間に位置する状態で前記接着シートを被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体の表面に臨む位置に接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記被着体の外縁を含む外縁領域、及び、当該外縁領域上に貼付される接着シートの対応領域の少なくとも一方に、前記被着体に不接着な不接着処理を施して処理面部を形成する不接着処理手段と、
前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記処理面部が前記被着体と前記接着シートとの間に位置する状態で前記接着シートを被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記不接着処理手段は、前記被着体と接着剤層との少なくとも一方に不接着処理剤を塗布する塗布手段を含んで構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記塗布手段は、前記被着体を支持するテーブル内に設けられ、当該塗布手段は、前記接着シートの幅方向に沿って移動可能に設けられていることを特徴とする請求項3記載のシート貼付装置。
- 前記接着剤層は、エネルギー線によって接着力が消失若しくは低下する接着剤からなり、前記不接着処理手段は、前記エネルギー線の照射手段を含んで構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記接着シートは、前記被着体の外縁からはみ出す大きさを備え、当該接着シートを被着体に貼付した後に、前記被着体の大きさに合わせて接着シートを切断する切断手段を更に含むことを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のシート貼付装置。
- 基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体の表面に臨む位置に接着シートを繰り出す工程と、
前記被着体、及び、接着シートの少なくとも一方に、前記被着体に不接着な不接着処理を施して処理面部を形成する不接着処理工程と、
前記処理面部が接着シートの外縁を含む一部領域内に位置するとともに、前記処理面部が前記被着体と前記接着シートとの間に位置する状態で前記接着シートを被着体に貼付する工程とを備えたことを特徴とするシート貼付方法。
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JP2010032181A JP5508890B2 (ja) | 2010-02-17 | 2010-02-17 | シート貼付装置及び貼付方法 |
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