JP5520129B2 - シート剥離装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、被着体に塵が落下して歩留まりが低下することを抑制することができ
るシート剥離装置を提供することにある。
また、本発明の目的は、接着シートの剥離時に接着シートと共に被着体が持ち上げられ
ることを防止することができるシート剥離装置を提供することにある。
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に当接し、当該接着シートの弾性力によって被着体を支持手段側に押圧して接着シートの剥離姿勢を形成する剥離姿勢形成手段と、前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記剥離姿勢形成手段は、剥離された接着シートの接着面に当接しつつ回転可能な剥離ローラと、この剥離ローラに接し、前記接着シートの弾性力によって生じる当該剥離ローラの変形を抑制可能なサポート手段とを備え、
前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離姿勢形成手段と接着シートが剥離された被着体との間に折返しシート部を形成するように剥離姿勢形成手段及び移動手段を制御する、という構成を採っている。
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に当接し、当該接着シートの弾性力によって被着体を支持手段側に押圧して接着シートの剥離姿勢を形成する剥離姿勢形成手段と、前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記剥離姿勢形成手段は、剥離された接着シートの接着面に当接しつつ回転可能な剥離ローラと、この剥離ローラに接し、前記接着シートの剥離によって発生する塵を接着する粘着ローラとを備え、
前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離姿勢形成手段と接着シートが剥離された被着体との間に折返しシート部を形成するように剥離姿勢形成手段及び移動手段を制御する、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
11 支持手段
12 繰出手段
13 貼付手段
14 剥離姿勢形成手段
15 移動手段
17 制御手段
59 剥離ローラ
60 粘着ローラ(サポート手段)
65 吸引手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
SA 折返しシート部
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に当接し、当該接着シートの弾性力によって被着体を支持手段側に押圧して接着シートの剥離姿勢を形成する剥離姿勢形成手段と、前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記剥離姿勢形成手段は、剥離された接着シートの接着面に当接しつつ回転可能な剥離ローラと、この剥離ローラに接し、前記接着シートの弾性力によって生じる当該剥離ローラの変形を抑制可能なサポート手段とを備え、
前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離姿勢形成手段と接着シートが剥離された被着体との間に折返しシート部を形成するように剥離姿勢形成手段及び移動手段を制御することを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に当接し、当該接着シートの弾性力によって被着体を支持手段側に押圧して接着シートの剥離姿勢を形成する剥離姿勢形成手段と、前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記剥離姿勢形成手段は、剥離された接着シートの接着面に当接しつつ回転可能な剥離ローラと、この剥離ローラに接し、前記接着シートの剥離によって発生する塵を接着する粘着ローラとを備え、
前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離姿勢形成手段と接着シートが剥離された被着体との間に折返しシート部を形成するように剥離姿勢形成手段及び移動手段を制御することを特徴とするシート剥離装置。
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