JP5505306B2 - 駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、駆動装置に関する。

現在、レーザー光などの光線を偏向させつつ走査する光スキャナは、バーコードリーダー、レーザープリンタ、およびディスプレイなどの種々の光学機器に用いられている。従来、このような光スキャナとしては、多角柱ミラーをモータで回転させて反射光を走査するポリゴンミラーや、平面ミラーを電磁アクチュエータによって回転振動させるガルバノミラ一などが知られている。

しかしながら、このようなモータや電磁アクチュエータで駆動するような機械的構造については、その構造部品のサイズが大きく、且つ高価なものとなる。このため、光スキャナを用いた装置の小型化を阻害するとともに、商品価格の上昇を招く。さらに、２次元的に光を走査する場合、一般的には、各々一軸の回りで回動するポリゴンミラーおよびガルバノミラーを２つ組合せたものが用いられる。しかしながら、正確に２次元的な光の走査を行うためには、例えば、それぞれのミラーによる走査方向が互いに直交するように２つのミラーの位置決め正確に行う必要があり、光学的な調整が非常に煩雑となる。

そこで、装置の小型化、商品価格の低減、および生産性の向上を実現させるために、半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術を用いて半導体基板上にミラーや弾性梁などの機構部品を一体形成したスキャナ（マイクロ光スキャナ）が種々開発されてきている。

例えば、２次元的に光を走査させる光スキャナ（２次元光スキャナ）において、光を反射するミラー部と、該ミラー部を囲み、且つミラー部の中心を通る線上に対向して配置された１対のトーションバーを介してミラー部を支持する可動枠と、該可動枠を囲み、且つトーションバーと直交するミラー部の中心軸の近傍で一端が可動枠に連結された少なくとも１対の曲がり梁を介して可動枠を支持する固定枠と、各曲がり梁の面上に配置されて曲がり梁を曲げ振動させるアクチュエータと、を備える光スキャナが提案されている（例えば、特許文献１など）。この光スキャナでは、曲がり梁は、アクチュエータの駆動により可動枠に回転トルクを付与することで、ミラー部をトーションバーおよび中心軸の２軸を中心として回動させる。そして、一方の軸を中心としてミラー部を駆動させる駆動信号（一方駆動信号）と、他方の軸を中心としてミラー部を駆動させる駆動信号（他方駆動信号）とを重畳して加算した駆動信号（重畳駆動信号）を生成して、アクチュエータに付与することで、各軸を中心としたミラー部の回動を任意かつ独立に制御する。なお、信号の加算は、特殊な波形を有する重畳駆動信号を扱う都合上、アナログ信号を処理する電子回路（加算回路）によって実現される。

また、同様な駆動原理を採用した光スキャナが種々提案されている（例えば、特許文献２〜４など）。

特開２００７−３１０１９６号公報 特許第４００３５５２号 特許第３５１８０９９号 特許第３６５６５９８号

しかしながら、上記従来技術に係る２次元光スキャナの加算回路については、以下の（Ｉ）〜（Ｖ）の問題がある。

（Ｉ）重畳駆動信号に係る単位時間当たりの電圧変化量の最大値は、一方駆動信号と他方駆動信号との重畳によって、一方および他方駆動信号に係る単位時間当たりの電圧変化量の最大値よりも大きくなる。ここで、加算回路のいわゆるスルーレート（大振幅のパルス波形入力に対する応答性を規定したもので、単位時間当たりの出力電圧の変化量［単位：Ｖ／μｓ］で表示）が、重畳駆動信号に係る単位時間当たりの電圧変化量の最大値よりも低い場合には、加算回路から出力される重畳駆動信号の波形が歪んだものとなる。この重畳駆動信号の波形の歪みは、光線の走査における歪みの発生を招くとともに、意図する走査の振幅および位相（タイミング）の制御が困難となる。図２６は、一方駆動信号と他方駆動信号との重畳によって重畳駆動信号を生成する態様について説明する図である。図２６では、一方駆動信号の波形が細線Ｓｈで示され、他方駆動信号の波形が一点鎖線Ｓｖで示され、重畳駆動信号の波形が太線Ｓｓｕｐで示されている。そして、図２７は、図２６の円ＡＲで囲まれた領域について拡大した図である。図２７では、加算回路のスルーレートが細破線の直線Ｃｔｈで示され、重畳駆動信号の電圧変化の傾きが、直線Ｃｔｈの傾きよりも大きくなる部分で、重畳駆動信号の波形が歪む。なお、加算回路のスルーレートを高めるためには、加算回路の大型化ならびに製造コストの上昇を招く。

（II）図２６でも示すように、重畳駆動信号の振幅は、一方駆動信号と他方駆動信号との重畳によって、一方駆動信号および他方駆動信号の振幅よりも大きくなる。加算回路の出力電圧の最大値（最大出力電圧）が、重畳駆動信号の電圧の最大値よりも低い場合には、加算回路から出力される重畳駆動信号の波形が歪んだものとなる。この重畳駆動信号の波形の歪みは、上述したように、光線の走査における歪みの発生を招くとともに、意図する走査の振幅および位相（タイミング）の制御が困難となる。なお、この問題に対しては、加算回路の最大出力電圧の能力を増強することで対処することも考えられるが、高い電源電圧が必要となり、消費電力の増加を招いてしまう。

（III）一方駆動信号の周波数帯域と他方駆動信号の周波数帯域とが大きく離隔している場合には、加算回路の周波数特性およびいわゆる群遅延時間特性に不足がある場合には、周波数帯域の高い方の信号について、意図する走査の振幅および位相（タイミング）の制御が困難となる。例えば、一方駆動信号の周波数が６０Ｈｚで、他方駆動信号の周波数が３０ｋＨｚである場合には、加算回路が６０Ｈｚ付近の低い周波数から３０ｋＨｚ付近の高い周波数まで取り扱い可能であり、且つ位相の角度を角速度で微分したものが６０Ｈｚ付近の低い周波数から３０ｋＨｚ付近の高い周波数までほぼ一定である必要がある。もしも、加算回路の周波数特性および群遅延時間特性の何れか一方でも特性が不足している場合には、意図する波形が得られない。但し、加算回路にこのような周波数特性および群遅延時間特性を持たせるためには、加算回路が、複雑で大型化してしまう。

（IV）アクチュエータに圧電素子を用いた２次元光スキャナでは、上記（Ｉ）〜（III）の問題を考慮して、加算回路には、通常、広い帯域の周波数の信号を取り扱うことが可能な特性（広帯域周波数特性）を有する負帰還増幅回路の構成が用いられる。但し、一般に、広帯域周波数特性を有する負帰還増幅回路の出力に容量性の負荷が接続されると、負帰還増幅回路における動作が不安定となり種々の問題（出力におけるオーバーシュートやリンギングの発生、寄生発振など）が生じることが知られている。そして、２次元光スキャナでは、圧電素子の電極間の静電容量が加算回路の負荷となり、加算回路の動作が不安定となり、意図した２方向への走査が困難となる。例えば、一方駆動信号（具体的には、垂直方向に係る駆動信号）に鋸歯状の波形（図２８(ａ)）を有する信号を採用して、略一定速度で走査するいわゆるリニア駆動を行う場合には、図２８(ｂ)で示すように、一方駆動信号にオーバーシュートやリンギングが発生する。その結果、ノイズ（例えば、横引きの固定ノイズ）が発生する。なお、このような問題の発生を抑制するためには、加算回路に低い歪率の特性が要求される。

（Ｖ）アクチュエータに圧電素子を用いた２次元光スキャナでは、必要な垂直および水平方向の走査の幅を得る必要がある。このため、例えば、水平方向に係る走査については、共振を利用した駆動を行うために比較的大きな駆動電流が必要となる一方、垂直方向に係る走査については、リニア駆動を行うために比較的高い駆動電圧が必要となる。よって、重畳駆動信号を取り扱う加算回路では、高電圧と該高電圧に対する耐性とが必要であり、且つ高電流と該高電流に対する耐性とが必要となる。このため、消費電力の上昇を招くととも、耐高電圧と耐高電流とを実現するための部品の使用による加算回路の大型化および高コスト化を招く。

以上の問題（Ｉ）〜（Ｖ）により、加算回路には、広帯域周波数特性、広帯域に対する群遅延時間特性、高いスルーレート、低い出力インピーダンス、高い出力電圧、低歪率特性などといった高い性能が要求される。このため、加算回路が、複雑で大規模となり、消費電力が高く、製造コストも高い構成となる。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高性能化、複雑化、高消費電力化、および高コスト化を回避しつつ、駆動素子による複数の駆動軸を中心とした被駆動体の任意の回動を実現可能な駆動装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、第１の態様に係る駆動装置は、第１および第２信号入力部を有し、前記第１信号入力部と前記第２信号入力部との間に電圧が印加されることで、第１および第２駆動軸を中心として被駆動体を駆動させる駆動素子と、前記第１駆動軸を中心として前記被駆動体を駆動させるための第１駆動信号を前記第１信号入力部に対して付与するとともに、前記第２駆動軸を中心として前記被駆動体を駆動させるための第２駆動信号を前記第２信号入力部に対して付与する信号付与部とを備える。

第２の態様に係る駆動装置は、第１の態様に係る駆動装置であって、前記被駆動体が、光源部から発せられた光束を反射する反射部を含み、且つ前記第１駆動軸を中心とした回動による前記光束の主走査と、前記第２駆動軸を中心とした回動による前記光束の副走査とを行う。

第３の態様に係る駆動装置は、第２の態様に係る駆動装置であって、前記主走査に係る前記反射部の回動が共振を利用した駆動であり、前記副走査が略一定速度の前記光束の走査を含む。

第４の態様に係る駆動装置は、第１の態様に係る駆動装置であって、前記第１駆動信号が、矩形波の駆動信号を含む。

第５の態様に係る駆動装置は、第４の態様に係る駆動装置であって、前記信号付与部が、ハーフブリッジ回路を用いて前記第１駆動信号を前記第１信号入力部に付与する。

第６の態様に係る駆動装置は、第５の態様に係る駆動装置であって、前記ハーフブリッジ回路が、キャリアが異なるタイプの第１および第２トランジスタを有する。該駆動装置では、前記第１トランジスタが、第１、第２、第３電極を有し、且つ前記第３電極に付与される電位に応じて、前記第１電極と前記第２電極との間で電流が流れる導通状態と、前記第１電極と前記第２電極との間で電流が流れない非導通状態とに設定され、前記第２トランジスタが、第４、第５、第６電極を有し、且つ前記第６電極に付与される電位に応じて、前記第４電極と前記第５電極との間で電流が流れる導通状態と、前記第４電極と前記第５電極との間で電流が流れない非導通状態とに設定される。更に、該駆動装置では、前記第１電極が、電源電圧を印加する電源線に対して電気的に接続され、前記第２電極と前記第４電極とが接続部を介して電気的に接続され、前記第３電極が、前記第６電極に対して電気的に接続され、前記第５電極が、接地され、前記接続部に対して前記第１信号入力部が電気的に接続され、前記第３電極と前記第６電極とを電気的に接続する配線に対して矩形波の信号が付与されることで、前記接続部から前記第１信号入力部に対して矩形波の信号が出力される。

第７の態様に係る駆動装置は、第４の態様に係る駆動装置であって、前記信号付与部が、前記第１駆動信号を、リアクタンス素子を介して前記第１信号入力部に付与する。

第８の態様に係る駆動装置は、第７の態様に係る駆動装置であって、前記リアクタンス素子が、コンデンサを含む。

第９の態様に係る駆動装置は、第１の態様に係る駆動装置であって、前記駆動素子が、圧電素子、電磁素子、磁歪素子、静電素子、および高分子素子のうちの何れか１つを含む。

第１から第９の何れの態様に係る駆動装置によっても、複数の駆動信号を重畳させる加算回路の省略が可能となり、駆動素子に駆動信号を付与する回路設計の自由度が高まる。したがって、高性能化、複雑化、高消費電力化、および高コスト化を回避しつつ、駆動素子による複数の駆動軸を中心とした被駆動体の任意の回動を実現することができる。例えば、広帯域に対応可能な周波数および群遅延時間に係る特性、高いスルーレート、低い出力インピーダンス、高い出力電圧、および低い歪率特性などの多くの性能が要求される加算回路の省略が可能となるため、駆動信号を駆動素子に付与するための駆動回路に関して、規模縮小や、消費電力および製造コストの低減などを図ることができる。

第３の態様に係る駆動装置によれば、主走査は共振を利用した走査であり、比較的高い電流が必要となる傾向にあるが、主走査に係る駆動信号を付与する駆動回路が、相対的に高電圧が要求される副走査に係る駆動回路とは別体となる。このため、主走査に係る駆動信号を付与する駆動回路の電源電圧が低減されることで、消費電力の大幅な低減と、高電圧に対する耐久性の要求の低減による駆動回路の小型化ならびに製造コストの低減とが図られる。また、副走査は略一定速度で行われる走査であり、比較的高電圧が必要となる傾向にあるが、副走査に係る駆動信号を付与する駆動回路が、相対的に高電流が要求される主走査に係る駆動回路とは別体となる。このため、副走査に係る駆動回路に関しては、加算回路よりも流れる電流が小さくなり、消費電力の大幅な削減と、高電流に対する耐久性の要求の低減による駆動回路の小型化ならびに製造コストの低減とが図られる。

第４の態様に係る駆動装置によれば、矩形波の駆動信号を用いた共振駆動により、実質的に駆動信号の電圧を上昇させて駆動信号を付与した状態となるため、消費電力が低減される。

第５および第６の何れの態様に係る駆動装置によっても、ハーフブリッジ回路の出力インピーダンスが低く、且つスイッチング動作で駆動信号を駆動素子に付与することで、消費電力の低減が図られる。

第７および第８の何れの態様に係る駆動装置によっても、消費電力が低減される。

第８の態様に係る駆動装置によれば、垂直および水平走査の駆動制御を不安定にするオフセット電圧などの直流成分が除去される。

第９の態様に係る駆動装置によれば、例えば、駆動素子に圧電素子を用いた場合でも、高性能の負帰還増幅回路を有する加算回路が省略されるため、圧電素子の電極間の静電容量が負帰還増幅回路を有する加算回路の負荷となることに起因する被駆動体の不安定な駆動が抑制される。なお、１つの駆動信号を駆動素子に対して個別に付与するための専用の駆動回路に負帰還増幅回路を用いた場合でも、該駆動回路で取り扱う駆動信号の周波数の帯域や振幅などが、加算回路で重畳駆動信号を生成する際に取り扱う駆動信号の周波数の帯域や振幅などよりも限定されるため、狭い周波数帯域および振幅の駆動信号を取り扱う負帰還増幅回路の採用が可能である。このため、駆動回路の構成の簡略化を図ることが可能であり、容量性の負荷の影響に強い駆動回路の設計も容易となる。

図１は、第１〜６実施形態に係る画像投影装置の機能構成を示すブロック図である。 図２は、２次元偏向部の構成を示す図である。 図３は、図２のIII−III位置から見た断面図である。 図４は、ミラー部のａ軸を中心とした回動を説明するための図である。 図５は、ミラー部のａ軸を中心とした回動を説明するための図である。 図６は、ミラー部のｂ軸を中心とした回動を説明するための図である。 図７は、ミラー部のｂ軸を中心とした回動を説明するための図である。 図８は、光スキャナを用いてスクリーンに画像を投影する態様を説明する図である。 図９は、ラスタ走査を実現する為の垂直走査に係る駆動信号を例示する図である。 図１０は、ラスタ走査を実現する為の垂直走査に係る駆動信号を例示する図である。 図１１は、ラスタ走査を実現する為の水平走査に係る駆動信号を例示する図である。 図１２は、ラスタ走査を実現する為の水平走査に係る駆動信号を例示する図である。 図１３は、垂直および水平駆動信号を重畳した駆動信号の波形を例示する図である。 図１４は、圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図１５は、圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図１６は、圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図１７は、圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図１８は、圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図１９は、第２実施形態に係る偏向制御回路によって圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図２０は、第３実施形態に係る偏向制御回路によって圧電素子の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。 図２１は、第４実施形態に係る水平駆動回路の構成を例示する図である。 図２２は、水平駆動信号に係る矩形波の波形を例示する図である。 図２３は、水平駆動信号に係る矩形波の波形を例示する図である。 図２４は、第５実施形態に係る水平駆動回路の構成を例示する図である。 図２５は、第６実施形態に係る水平駆動回路の構成を例示する図である。 図２６は、重畳駆動信号に係るスルーレートの問題を説明するための図である。 図２７は、重畳駆動信号に係るスルーレートの問題を説明するための図である。 図２８は、負帰還回路における不安定な動作を説明するための図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

＜第１実施形態＞
＜画像投影装置の概要＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る画像投影装置１００の機能構成を示すブロック図である。画像投影装置１００は、動画像を被投影面であるスクリーンＳＣに対して投影する装置であり、主に入力画像処理部１１０、駆動制御部１２０、および光学機構部１３０を備えて構成される。

入力画像処理部１１０は、画像入力回路１１１と画像処理回路１１２とを備える。画像入力回路１１１は、入力機器ＩＭから入力される画像信号を受け付け、画像処理回路１１２に出力する。画像処理回路１１２は、画像入力回路１１１からの画像信号に対して適宜画像処理を施し、駆動制御部１２０に出力する。ここで、入力機器ＩＭとしては、例えばパーソナルコンピュータ（パソコン）などが挙げられ、画像信号としては、例えば、一般的なＮＴＳＣ信号などが挙げられる。また、画像処理回路１１２における画像処理としては、例えば、画像の歪みなどを補正する補正処理、および一般的なγ変換処理などが挙げられる。

駆動制御部１２０は、画像出力回路１２１、偏向制御回路１２２、および光源駆動回路１２３を備える。

画像出力回路１２１は、画像信号の垂直および水平同期信号に応答して偏向制御回路１２２に対して２次元偏向部１３２（後述）の駆動タイミングを制御するための信号（制御信号）を出力するとともに、光源駆動回路１２３に対して、画像信号の画素値に応じた信号（画素データ信号）を出力する。

偏向制御回路１２２は、画像出力回路１２１からの制御信号に応じた電位の駆動信号を２次元偏向部１３２に対して付与する。

光源駆動回路１２３は、画像出力回路１２１からの画素データ信号に応じて、該画像データ信号に係る階調に応じた色と輝度の光が光源１３３（後述）から射出されるように制御する。この制御タイミングは、画像信号の垂直および水平同期信号に応答して決定される。なお、本実施形態では、駆動制御部１２０は、専用の電子回路で構成されているものとして説明する。

光学機構部１３０は、投影光学系１３１、２次元偏向部１３２、および光源１３３を備える。

光源１３３は、各色について、レーザー光を発生させるレーザー素子と該レーザー素子から出射されるレーザー光を略平行な光束に変換するコリメータレンズとを備える。各色のレーザー素子は、光源駆動回路１２３からの画素データ信号に応じて、画像信号の画素値に応じた輝度のレーザー光を発生および出射する。

２次元偏向部１３２は、光源１３３から発せられた光束を反射する部分（反射部）を有し、該反射部が略直交する２軸を中心としてそれぞれ回動することで、光源１３３からの光束を２次元的に反射するように偏向する。なお、本明細書では、反射部が２軸を中心としてそれぞれ回動することで光束の進行方向を上下方向と左右方向とに別個独立に変えること、すなわち光束を上下方向に偏向させつつ、左右方向にも偏向させることを、「２次元方向に偏向する」と表現する。また、２次元偏向部１３２は、光束を２次元方向に偏向することで、該光束をスキャンさせるため、適宜「光スキャナ１３２」とも称する。

投影光学系１３１は、適宜回動角度が変更された光スキャナ１３２により偏向された光束を、被投影面であるスクリーンＳＣ上に導くことで、動画像をスクリーンＳＣ上に投影する。なお、図１では、光源１３３から光スキャナ１３２および投影光学系１３１を経てスクリーンＳＣにレーザー光が至ることが、太い破線の矢印で示されている。

＜光スキャナの構成＞
図２は、光スキャナ１３２の構成を例示する正面図であり、以下、図２を参照しつつ、光スキャナ１３２の具体的な構成について説明する。図２および図２以降では、方位関係を明確化するために、相互に直交するＸＹＺの３軸が付されている。

図２で示すように、光スキャナ１３２は、主に固定枠７０と、可動枠３０と、ミラー部１０とを備えて構成される。固定枠７０は、画像投影装置１００の筐体（不図示）に固定されている。可動枠３０は、固定枠７０の内側において可動部分として枠状に形成されている。ミラー部１０は、可動枠３０の内側に形成され、且つ外縁が略正方形の板状の反射部材である。

ミラー部１０の対向する２辺からミラー部１０の中心を通るｂ軸に沿って、２本のトーションバー２１，２２がそれぞれ外方へ延設されている。この２本のトーションバー２１，２２は、弾性変形可能に形成され、可動枠３０に対して連結されている。このため、ミラー部１０は、可動枠３０により、２本のトーションバー２１，２２を介して、上下方向（±Ｙ方向）から挟み込まれるように支持されている。

また、可動枠３０は、ｂ軸に対して略直交するミラー部１０の中心を通るａ軸の近傍において、細連結部３０ａ〜３０ｄにより、４本の曲がり梁４１〜４４に対してそれぞれ連結されている。また、４本の曲がり梁４１〜４４は、弾性変形可能に形成され、細連結部３０ａ〜３０ｄと連結されている一端とは反対側の他端において、固定枠７０に対して連結されている。このため、可動枠３０は、固定枠７０により、４本の曲がり梁４１〜４４を介して、左右方向（±Ｘ方向）から挟み込まれるように支持されている。

これらの固定枠７０、曲がり梁４１〜４４、可動枠３０、ミラー部１０、およびトーションバー２１，２２は、シリコン基板の異方性エッチングにより一体的に形成されている。また、ミラー部１０の反射面上には、金やアルミニウムなどの金属薄膜によって反射膜が形成されており、入射光線の反射率が高められている。

また、曲がり梁４１〜４４の表面には、電気を機械的な変形に変換する素子（電気機械変換素子）である圧電素子５１〜５４が接着などによってそれぞれ貼り付けられて、４つのユニモルフ部６１〜６４が形成されている。そして、圧電素子５１〜５４に駆動電圧が印加されることで、圧電素子５１〜５４が伸縮し、曲がり梁４１〜４４で曲がりが生じる。そして、曲がり梁４１〜４４の曲がりに応じて、可動枠３０に対してａ軸回りに回転トルクが与えられることで、ミラー部１０が可動枠３０ごとａ軸を中心として回動する。また、曲がり梁４１〜４４の曲がりに応じて、可動枠３０に対してｂ軸回りに回転トルクが与えられることで、トーションバー２１，２２を介して、ミラー部１０に対してｂ軸回りに回転トルクが与えられ、ミラー部１０がｂ軸を中心として回動する。つまり、ミラー部１０においてａ軸およびｂ軸を中心とした２方向に揺動振動が生じる。

したがって、ここでは、ミラー部１０が、複数の駆動軸（具体的には、ａ軸およびｂ軸）を中心とした駆動が可能である被駆動体に相当し、圧電素子５１〜５４が、複数の駆動軸（具体的には、ａ軸およびｂ軸）を中心としてミラー部１０を駆動させる駆動素子に相当する。そして、光スキャナ１３２と偏向制御回路１２２とを含む構成が、ミラー部１０を駆動させる駆動装置を形成する。

＜ミラー部の回動動作＞
図３は、図２のIII−III位置から見た断面図である。図３で示すように、圧電素子５１は、表面に上部電極５１１が設けられ、裏面に下部電極５１２が設けられている。圧電素子５２は、表面に上部電極５２１が設けられ、裏面に下部電極５２２が設けられている。圧電素子５３は、表面に上部電極５３１が設けられ、裏面に下部電極５３２が設けられている。圧電素子５４は、表面に上部電極５４１が設けられ、裏面に下部電極５４２が設けられている。

そして、例えば、上部電極５１１と下部電極５１２との間にいわゆる分極反転が起きない程度の範囲で、上部電極５１１および下部電極５１２に対して交流電圧が印加されることで、圧電素子５１が伸縮して、厚み方向に変位する。また、上部電極５２１と下部電極５２２との間に分極反転が起きない程度の範囲で、上部電極５２１および下部電極５２２に対して交流電圧が印加されることで、圧電素子５２が伸縮して、厚み方向に変位する。また、上部電極５３１と下部電極５３２との間に分極反転が起きない程度の範囲で、上部電極５３１および下部電極５３２に対して交流電圧が印加されることで、圧電素子５３が伸縮して、厚み方向に変位する。更に、上部電極５４１と下部電極５４２との間に分極反転が起きない程度の範囲で、上部電極５４１および下部電極５４２に対して交流電圧が印加されることで、圧電素子５４が伸縮して、厚み方向に変位する。

図４および図５は、ミラー部１０のａ軸を中心とした回動を説明するための図である。なお、図４および図５では、図３を基準として、ユニモルフ部６１〜６４の曲がりが模式的に示されている。

圧電素子５１に該圧電素子５１が伸びるような電圧が印加され、圧電素子５１に印加された電圧とは逆位相の電圧が圧電素子５２に印加されると、圧電素子５１が伸び、圧電素子５２が縮む。このとき、ユニモルフ部６１，６２の一端が固定枠７０に固定されているため、図４で示すように、圧電素子５１の伸びに応じてユニモルフ部６１が固定枠７０側の端部を支点として下方に曲がり、圧電素子５２の縮みに応じてユニモルフ部６２が固定枠７０側の端部を支点として上方に曲がる。一方、圧電素子５３に圧電素子５１と同様な電圧が印加され、圧電素子５４に圧電素子５２と同様な電圧が印加されると、圧電素子５３が伸び、圧電素子５４が縮む。このとき、図４で示すように、ユニモルフ部６３が固定枠７０側の端部を支点として下方に曲がり、ユニモルフ部６４が固定枠７０側の端部を支点として上方に曲がる。このようなユニモルフ部６１〜６４の曲がりにより、可動枠３０にはａ軸を中心とした回転トルクが作用し、可動枠３０がａ軸を中心として矢印Ｐ方向に傾く。

また、圧電素子５１〜５４に、図４で示して説明した場合と逆位相の電圧がそれぞれ印加されると、図５で示すように、ユニモルフ部６１，６３が固定枠７０側の端部を支点として上方に曲がり、ユニモルフ部６２，６４が固定枠７０側の端部を支点として下方に曲がるため、可動枠３０にはａ軸を中心とした回転トルクが作用し、可動枠３０がａ軸を中心として矢印Ｑ方向に傾く。

そして、圧電素子５１，５３に同位相の交流電圧を印加し、圧電素子５１，５３に印加した交流電圧とは逆位相の交流電圧を圧電素子５２，５４に印加すると、電圧の変化に追従して、ユニモルフ部６１，６３が、可動枠３０側の端部が上下に繰り返して変位する振動を生じる。また、ユニモルフ部６２，６４が、ユニモルフ部６１，６３とは逆位相となるように、可動枠３０側の端部が上下に繰り返して変位する振動を生じる。このとき、可動枠３０には、矢印Ｐ方向への傾きと、矢印Ｑ方向への傾きとが交互に生じるような回転トルクが作用し、可動枠３０がａ軸を中心として所定の角度まで繰り返して変位する回動、すなわち回転振動を行う。

図６および図７は、ミラー部１０のｂ軸を中心とした回動を説明するための図である。なお、図６では、図３を基準として、ユニモルフ部６１，６２の曲がりが模式的に示され、図７では、図２のVII−VII位置から見た断面図を基準として、ユニモルフ部６３，６４の曲がりが模式的に示されている。

圧電素子５１，５２の双方に該圧電素子５１，５２が伸びるような電圧が印加されると、ユニモルフ部６１，６２の一端が固定枠７０に固定されているため、図６で示すように、圧電素子５１，５２の伸びに応じてユニモルフ部６１，６２の双方が固定枠７０側の端部を支点として下方に曲がる。一方、圧電素子５１，５２に印加された電圧とは逆位相の電圧が、圧電素子５３，５４の双方に印加されると、ユニモルフ部６３，６４の一端が固定枠７０に固定されているため、図７で示すように、圧電素子５３，５４の縮みに応じてユニモルフ部６３，６４の双方が固定枠７０側の端部を支点として上方に曲がる。このとき、可動枠３０にはｂ軸を中心とした回転トルクが作用し、可動枠３０はｂ軸を中心として傾く。

そして、圧電素子５１，５２に同位相の交流電圧を印加し、圧電素子５１，５２に印加した交流電圧とは逆位相の交流電圧を圧電素子５３，５４に印加すると、電圧の変化に追従して、ユニモルフ部６１，６２が、可動枠３０側の端部が上下に繰り返して変位する振動を生じる。また、ユニモルフ部６３，６４が、ユニモルフ部６１，６２とは逆位相となるように、可動枠３０側の端部が上下に繰り返して変位する振動を生じる。このとき、可動枠３０には、ｂ軸を中心とした一方向への傾きと、ｂ軸を中心とした逆方向への傾きとが交互に生じるような回転トルクが採用し、可動枠３０がｂ軸を中心として所定の角度まで繰り返して変位する回動、すなわち回転振動を行う。

このように、４つのユニモルフ部６１〜６４にそれぞれ所定の電圧を印加することにより、可動枠３０によって支持されているミラー部がａ軸およびｂ軸の回りに任意に回動され、ミラー部のａ軸およびｂ軸を中心とした傾きが任意に制御される。そして、曲がり梁４１〜４４は、ａ軸およびｂ軸を挟んで対象に配置され、曲がり梁４１〜４４に設けられた圧電素子５１〜５４が、同位相あるいは位相が１８０度異なる逆位相の駆動信号で駆動されるため、可動枠３０を肩振れなしにａ軸およびｂ軸を２つの駆動軸とした独立した回動が可能となる。

＜光スキャナによる画像投影＞
図８は、画像投影装置１００によって光スキャナ１３２を用いてスクリーンＳＣに画像を投影する態様を説明する図である。

画像投影装置１００は、図８で示すように、光源１３３から出射された光線（画像信号に応じて変調された光線）が光スキャナ１３２で２次元方向に偏向されて、スクリーンＳＣが光線によって走査される。このとき、いわゆるラスタ走査が行われて、スクリーンＳＣ上に画像が形成される。ここでは、例えば、光線の水平方向に係る走査（水平走査）の周波数は数十ｋＨｚ、光線の垂直方向に係る走査（垂直走査）の周波数は６０Ｈｚ程度である。なお、このようなラスタ走査では、一般に、垂直走査が「副走査」と称され、水平走査が「主走査」と称される。また、ミラー部１０の垂直および水平方向に係る回動角度（偏向角度）の範囲はそれぞれ＋１０度〜−１０度の範囲で変化する。

ところで、水平走査については、ミラー部１０の偏向角度の変化が正弦波の形態を示す。このため、仮に光スキャナ１３２の偏向角度の範囲を全て使用して光線の走査を行うと、スクリーンＳＣ上で光線が走査される領域（走査領域）Ａｓのうち、左右の端部付近では、水平走査の速度（水平走査速度）が極端に低下する。このような水平走査速度が極端に低下する領域については、過度に明るくなったり、画像が歪んだりする。そこで、図８で示すように、画像が投影されて投影画像が形成される領域（投影領域）Ａｓ１としては、走査領域Ａｓの少し内側の領域（図８の矩形状の太枠で囲まれた領域）が使用される。

このような光スキャナ１３２によるラスタ走査の実現方法について説明する。

上述したように、ユニモルフ部６１〜６４は、ａ軸近傍で細連結部３０ａ〜３０ｄによって可動枠３０に連結されているため、ユニモルフ部６１〜６４の僅かな曲がりによる端部の変位に対して、可動枠３０がａ軸を中心として大きく回動する。したがって、図４および図５を示して説明したａ軸回りのミラー部１０の振動、すなわち光線の垂直走査は、上述した駆動方法によって実現される。

一方、細連結部３０ａ〜３０ｄが、ｂ軸から離れているため、ｂ軸を中心として可動枠３０を大きく回動することは困難である。そこで、ｂ軸回りの回動については、可動枠３０のｂ軸を中心とした回動に応じて、トーションバー２１，２２がｂ軸を中心として捻られることで、ミラー部１０がｂ軸を中心とした共振周波数近傍の回動によって振動する。このようにして、ミラー部１０のｂ軸を中心とした振動が励起され、ミラー部１０が大きな振幅でｂ軸を中心として回動し、水平走査の振幅が大きくなる。このような水平走査を実現するためには、所望の水平走査の周波数に合わせて、トーションバー２１，２２の長さ、幅、およびミラー部１０の慣性モーメントなどに基づいたｂ軸回りのミラー部１０の共振周波数を設定しておけば良い。

そして、ａ軸回りの振動の周波数（垂直走査周波数）に応じた駆動信号と、ｂ軸回りの振動の周波数（水平走査周波数）に応じた駆動信号とを、各圧電素子５１〜５４に印加することで、所望の周波数および振幅のラスタ走査が実現される。

＜ラスタ走査のための駆動信号＞
図９および図１０は、ラスタ走査を実現するための垂直走査に係る駆動信号（垂直駆動信号）の波形を例示する図である。図９では、圧電素子５１，５３にそれぞれ付与される垂直駆動信号Ｖ１，Ｖ３の波形が示され、図１０では、圧電素子５２，５４にそれぞれ付与される垂直駆動信号Ｖ２，Ｖ４の波形が示されている。

垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４は、ａ軸を中心としてミラー部１０を回転振動させる駆動信号である。図９で示すように、圧電素子５１，５３に同じ位相の垂直駆動信号Ｖ１，Ｖ３がそれぞれ付与され、圧電素子５２，５４に垂直駆動信号Ｖ１，Ｖ３とは逆位相の垂直駆動信号Ｖ２，Ｖ４が付与されると、上述したように、ミラー部１０は、ａ軸を中心として回転振動を行い、スクリーンＳＣ上における光線の垂直走査が行われる。

なお、垂直走査においては、図８において、投影領域Ａｓ１の上部から下部に向けて走査する期間（垂直走査期間）に１フレーム分の画像が投影され、１フレーム分の描画が終了すると、素早く光線の照射領域が投影領域Ａｓ１の右下の部分から左上の部分に戻される。この光線の照射領域が下部から上部に戻る期間（一般に「垂直ブランキング期間」「帰線期間」などと称される）の存在により、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４は、図９で示すように、垂直走査期間Ｔｗ１に対して帰線期間Ｔｗ２が相対的に短い期間となる鋸歯状の波形を有する。

ここでは、垂直走査については、垂直走査期間Ｔｗ１の間に、時間当たりの変化量が略一定である電圧の変化により、投影領域Ａｓ１における上部から下部にかけた垂直方向に沿った光線の走査が、略一定の速度で行われる。以下では、略一定の速度で光線の走査が行われる垂直走査のことを「垂直リニア駆動」と称する。

図１１および図１２は、ラスタ走査を実現するための水平走査に係る駆動信号（水平駆動信号）の波形を例示する図である。図１１では、圧電素子５１，５２にそれぞれ付与される水平駆動信号Ｈ１，Ｈ２の波形が示され、図１２では、圧電素子５３，５４にそれぞれ付与される水平駆動信号Ｈ３，Ｈ４の波形が示されている。

水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４は、ｂ軸を中心としてミラー部１０を回転振動させる駆動信号である。図１１で示すように、圧電素子５１，５２に同じ位相の水平駆動信号Ｈ１，Ｈ２がそれぞれ付与され、圧電素子５３，５４に水平駆動信号Ｈ１，Ｈ２とは逆位相の水平駆動信号Ｈ３，Ｈ４が付与されると、上述したように、ミラー部１０は、ｂ軸を中心として回転振動を行い、スクリーンＳＣ上における光線の水平走査が行われる。

なお、水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４の周波数は、ミラー部１０がｂ軸を中心として回転振動の機械的な共振を起こす周波数（共振周波数）の近傍の周波数に設定されている。このため、ｂ軸を中心とした可動枠３０の回動角度が小さい場合でも、ミラー部１０を共振周波数近傍で共振させることで、ミラー部１０による大きな偏向角度が実現される。以下では、共振を利用した水平方向に係るミラー部１０の駆動を「水平共振駆動」と称する。

ここで、各圧電素子５１〜５４に対する駆動信号（駆動電圧）の印加方法について説明する。ここまでは、垂直走査と水平走査とに別々に着目して、垂直リニア駆動を実現するための垂直駆動信号、および水平共振駆動を実現するための水平駆動信号、の２種類の駆動信号を区別して圧電素子５１〜５４に印加するように説明した。しかしながら、従来より、図１３で示すように、垂直走査用の駆動信号と水平走査用の駆動信号とを重畳させて加算した電圧が生成され、該電圧が各圧電素子５１〜５４に印加されることで、垂直走査と水平走査とが実現されている。具体的には、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４の電圧（垂直駆動電圧）をそれぞれＶｖ１〜Ｖｖ４、水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４の電圧（水平駆動電圧）をそれぞれＶｈ１〜Ｖｈ４とすると、圧電素子５１〜５４にそれぞれ印加する電圧Ｖｐ５１〜５４が、下式（１）〜（４）に従って生成される。

Ｖｐ５１＝Ｖｖ１＋Ｖｈ１ ・・・（１）
Ｖｐ５２＝Ｖｖ２＋Ｖｈ２＝−Ｖｖ１＋Ｖｈ１ ・・・（２）
Ｖｐ５３＝Ｖｖ３＋Ｖｈ３＝Ｖｖ１−Ｖｈ１ ・・・（３）
Ｖｐ５４＝Ｖｖ４＋Ｖｈ４＝−Ｖｖ１−Ｖｈ１ ・・・（４）。

このように、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４の電圧Ｖｖ１〜Ｖｖ４と、水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４の電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４とを加算回路を用いて適宜重畳するように加算する従来技術では、上述した問題（Ｉ）〜（Ｖ）により、加算回路が、複雑で大規模となり、消費電力が高く、製造コストも高い構成となる不具合が生じていた。そこで、本願発明者は、圧電素子５１〜５４に対する電圧の印加方法および該電圧を印加するための回路について創意工夫を施すことで、上記不具合を解消する技術を見出した。以下、該技術について説明する。

＜電圧の印加方法＞
各圧電素子５１〜５４は、上部電極５１１，５２１，５３１，５４１および下部電極５１２，５２２，５３２，５４２の２つの電極をそれぞれ有する素子である。このため、一方の信号入力部としての上部電極５１１，５２１，５３１，５４１と、他方の信号入力部としての下部電極５１２，５２２，５３２，５４２とにそれぞれ別々の駆動電圧を印加するための回路（電源）を接続することが可能である。

図１４は、圧電素子５０の両電極に対して個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。圧電素子５０は、一方電極（正電極）５０１および他方電極（負電極）５０２を有し、一方電極５０１に対して駆動回路３が接続され、他方電極５０２に対して駆動回路４が接続されている。また、駆動回路３，４は、出力インピーダンスが十分低く設定される。そして、駆動回路３によって一方電極５０１に駆動電圧Ｖｖが印加され、駆動回路４によって他方電極５０２に駆動電圧Ｖｈが印加される。このとき、圧電素子５０の両極間に、駆動電圧Ｖｖと駆動電圧Ｖｈとの差に相当する電圧Ｖｐ（＝Ｖｖ−Ｖｈ）が印加されることとなる。

この原理を各圧電素子５１〜５４に適用する。

図１５は、圧電素子５１の両電極５１１，５１２に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。圧電素子５１については、上部電極（ここでは正電極）５１１に対して垂直駆動回路８１１が接続され、下部電極（ここでは負電極）５１２に対して水平駆動回路８１２が接続されている。この垂直駆動回路８１１および水平駆動回路８１２は、偏向制御回路１２２に含まれる。ここでは、垂直駆動回路８１１から上部電極５１１に対して、垂直駆動電圧Ｖｖ１が印加され、水平駆動回路８１２から下部電極５１２に対して、水平駆動電圧Ｖｈ１の逆位相の電圧−Ｖｈ１が印加される。このとき、圧電素子５１の両電極５１１，５１２間に印加される電圧Ｖｐ５１は、下式（５）で示され、上式（１）で示された電圧Ｖｐ５１と合致する。

Ｖｐ５１＝Ｖｖ１−（−Ｖｈ１）＝Ｖｖ１＋Ｖｈ１ ・・・（５）。

図１６は、圧電素子５２の両電極５２１，５２２に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。圧電素子５２については、上部電極（ここでは正電極）５２１に対して垂直駆動回路８２１が接続され、下部電極（ここでは負電極）５２２に対して水平駆動回路８２２が接続されている。この垂直駆動回路８２１および水平駆動回路８２２は、偏向制御回路１２２に含まれる。ここでは、垂直駆動回路８２１から上部電極５２１に対して、垂直駆動電圧Ｖｖ２（＝−Ｖｖ１）が印加され、水平駆動回路８２２から下部電極５２２に対して、水平駆動電圧Ｖｈ２の逆位相の電圧−Ｖｈ２（＝−Ｖｈ１）が印加される。このとき、圧電素子５２の両電極５２１，５２２間に印加される電圧Ｖｐ５２は、下式（６）で示され、上式（２）で示された電圧Ｖｐ５２と合致する。

Ｖｐ５２＝Ｖｖ２−（−Ｖｈ２）＝−Ｖｖ１−（−Ｖｈ１）＝−Ｖｖ１＋Ｖｈ１ ・・・（６）。

図１７は、圧電素子５３の両電極５３１，５３２に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。圧電素子５３については、上部電極（ここでは正電極）５３１に対して垂直駆動回路８３１が接続され、下部電極（ここでは負電極）５３２に対して水平駆動回路８３２が接続されている。また、垂直駆動回路８３１および水平駆動回路８３２は、偏向制御回路１２２に含まれる。ここでは、垂直駆動回路８３１から上部電極５３１に対して、垂直駆動電圧Ｖｖ３（＝Ｖｖ１）が印加され、水平駆動回路８３２から下部電極５３２に対して、水平駆動電圧Ｖｈ３の逆位相の電圧−Ｖｈ３（＝Ｖｈ１）が印加される。このとき、圧電素子５３の両電極５３１，５３２間に印加される電圧Ｖｐ５３は、下式（７）で示され、上式（３）で示された電圧Ｖｐ５３と合致する。

Ｖｐ５３＝Ｖｖ３−（−Ｖｈ３）＝Ｖｖ１−（Ｖｈ１）＝Ｖｖ１−Ｖｈ１ ・・・（７）。

図１８は、圧電素子５４の両電極５４１，５４２に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。圧電素子５４については、上部電極（ここでは正電極）５４１に対して垂直駆動回路８４１が接続され、下部電極（ここでは負電極）５４２に対して水平駆動回路８４２が接続されている。この垂直駆動回路８４１および水平駆動回路８４２は、偏向制御回路１２２に含まれる。ここでは、垂直駆動回路８４１から上部電極５４１に対して、垂直駆動電圧Ｖｖ４（＝−Ｖｖ１）が印加され、水平駆動回路８４２から下部電極５４２に対して、水平駆動電圧Ｖｈ４の逆位相の電圧−Ｖｈ４（＝Ｖｈ１）が印加される。このとき、圧電素子５４の両電極５４１，５４２間に印加される電圧Ｖｐ５４は、下式（８）で示され、上式（４）で示された電圧Ｖｐ５４と合致する。

Ｖｐ５４＝Ｖｖ４−（−Ｖｈ４）＝−Ｖｖ１−Ｖｈ１＝−Ｖｖ１−Ｖｈ１ ・・・（８）。

このように、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１がａ軸を中心としてミラー部１０を駆動させる垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４を圧電素子５１〜５４にそれぞれ付与し、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２が、ｂ軸を中心としてミラー部１０を駆動させる水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４を圧電素子５１〜５４にそれぞれ付与する。そして、図１５〜図１８で示したような構成により、各圧電素子５１〜５４の両極５１１，５１２，５２１，５２２，５３１，５３２，５４１，５４２に、上述した垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４、および水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４を独立して付与することができる。このため、上述した水平共振駆動と垂直リニア駆動とを任意かつ独立して制御することが可能である。

＜駆動回路の特徴＞
ここで、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１、および水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２の特徴について説明する。

○垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１：
垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１は、同じ波形の繰り返しの周波数が約６０Ｈｚであり、且つ電圧の振幅が大きい鋸歯状の波形を有する垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４を出力する。そして、垂直走査の等速性を確保するために、例えば、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４が、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４の鋸歯状の波形の周波数（ここでは約６０Ｈｚ）の１０〜２０倍（ここでは約０．６〜１．２ｋＨｚ）程度の周波数帯域の高調波成分まで有している。ところで、上述したように、従来技術の加算回路では、垂直走査に係る周波数に相当する６０Ｈｚと水平走査に係る周波数に相当する３０ｋＨｚの双方に対応する広い周波数の帯域に対する特性が要求される。これに対して、第１実施形態に係る垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１では、６０Ｈｚ〜１．２ｋＨｚ程度の相対的に狭い周波数の帯域に対する特性を有していれば良く、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１の設計が容易となる。

具体的には、従来技術の加算回路と比較して、群遅延時間特性の確保が容易であり、負帰還増幅回路における容量性の負荷（圧電素子の電極間の静電容量）に起因する不安定な動作（出力におけるオーバーシュートやリンギングの発生、寄生発振など）を回避する設計（負帰還ループの位相の余裕、ゲインに余裕を持たせた設計など）が容易となる。このため、回路の複雑化、大規模化、および製造コストの上昇を招くことなく、垂直走査に係る制御の特性を向上させることができる。

また、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１については、出力インピーダンスを十分低く保ち、且つ電圧の大きな振幅を利用した垂直リニア駆動を行うために、出力インピーダンスが低く、出力が低歪であり、且つ出力の直線性が良好な負帰還増幅回路を採用すれば良い。この点についても、従来技術の加算回路と比較して、狭い周波数の帯域に対する特性を有していれば良いため、汎用のオペアンプの使用も可能であり、比較的容易に設計および製造することができる。なお、低い出力インピーダンス、低歪の出力、および出力の良好な直線性などといった性能を満たすことが出来るならば、負帰還増幅回路を採用しなくても良く、このような構成では、容量性の負荷の問題も完全になくなる。

更に、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１が、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２とは別個の回路であるため、従来技術の加算回路を採用する場合と比較して、同様に高い電圧は必要であるが、大きな電流は不要となる。その結果、消費電力の低減が図られる。

○水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２：
水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２は、同じ波形の繰り返しの周波数が約３０ｋＨｚであり、且つ電圧の振幅が比較的小さな正弦波の水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４を出力する。このため、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２は、共振周波数（ここでは３０ｋＨｚ）付近の狭い周波数帯域に対する特性を有していれば良い。また、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２から出力される水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４については、垂直駆動信号Ｖ１〜Ｖ４と水平駆動信号Ｈ１〜Ｈ４とを重畳させる場合と比較して、駆動信号の単位時間当たりの電圧変化量の最大値が低い。このため、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２のスルーレートは、従来技術の加算回路よりも比較的低いもので十分である。なお、水平走査の周波数ｆｈを３０ｋＨｚ、水平駆動信号の電圧の振幅Ｖｈを１５Ｖとすると、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２で要求されるスルーレートの値ＳＲは、下式（９）で示すように求められる。

ＳＲ＝２π×ｆｈ×Ｖｈ
≒２×３．１４×３０［ｋＨｚ］×１５［Ｖ］
≒２．８［Ｖ／μｓｅｃ］ ・・・（９）。

圧電素子５１〜５４を用いて水平共振駆動を行う場合には、共振周波数に合わせたタイミングで圧電素子５１〜５４に比較的大きな電流（共振電流）が流れるため、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２から比較的大きな電流を供給する必要がある。その一方で、水平共振駆動では、電圧の振幅が小さな正弦波の水平駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与すれば良いため、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２の電源電圧は低くて良い。そして、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２については、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１とは別個の回路であるため、従来技術の加算回路を採用する場合と比較して、同様に大きな電流を供給する必要はあるが、高い電圧は不要となる。したがって、消費電力の低減が図られる。

ところで、上述したように、従来技術の加算回路では、垂直走査に係る周波数に相当する６０Ｈｚと水平走査に係る周波数に相当する３０ｋＨｚの双方に対応する広い周波数の帯域に対する特性が要求される。これに対して、第１実施形態に係る水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２では、共振周波数である３０ｋＨｚ付近の狭い周波数の帯域に対する特性を有していれば良い。このため、従来技術の加算回路と比較して、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２では、群遅延時間特性の確保が容易であり、負帰還増幅回路における容量性の負荷（圧電素子の電極間の静電容量）に起因する不安定な動作（出力におけるオーバーシュートやリンギングの発生、寄生発振など）を回避する設計（負帰還ループの位相の余裕、ゲインに余裕を持たせた設計など）が容易となる。このため、回路の複雑化、大規模化、および製造コストの上昇を招くことなく、水平走査に係る制御の特性を向上させることができる。

また、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２については、出力インピーダンスを十分低く保つ必要があるため、いわゆるエミッタフォロア回路、ソースフォロア回路、または負帰還増幅回路を用いれば良い。このような回路において、所望の周波数特性、群遅延時間特性、スルーレートなどといった性能を満たす設計は容易である。

以上のように、第１実施形態に係る画像投影装置１００では、複数の駆動信号を重畳させる加算回路の省略が可能となり、圧電素子５１〜５４に垂直および水平駆動信号を付与する回路の設計の自由度が高まる。したがって、駆動装置における高性能化、複雑化、高消費電力化、および高コスト化を回避しつつ、圧電素子５１〜５４による複数の駆動軸を中心としたミラー部１０の任意の回動を実現することができる。例えば、広帯域に対応可能な周波数および群遅延時間に係る特性、高いスルーレート、低い出力インピーダンス、高い出力電圧、および出力の低い歪率特性などの多くの性能が要求される加算回路の省略が可能となるため、駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与するための駆動回路に関して、規模縮小や、消費電力および製造コストの低減などを図ることができる。

また、略一定速度で行う副走査に係る垂直駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与する垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１と、主走査に係る水平駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与する水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２とが、別々に設けられる。このため、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１の電源電圧が低減されるため、消費電力が大きく低減されるとともに、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１における高電圧に対する耐久性の要求が低減されて、垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１の小型化ならびに製造コストの低減が図られる。また、水平駆動回路８１２，８２２，８３２，８４２に関しては、従来技術に係る加算回路の電源電圧よりも必要な電圧が低くて済むため、消費電力が大きく削減される。

＜第２実施形態＞
第１実施形態に係る画像投影装置１００では、各圧電素子５１〜５４の両電極に対してそれぞれ個別に接続される垂直および水平駆動回路８１１，８１２，８２１，８２２，８３１，８３２，８４１，８４２を備えた偏向制御回路１２２が採用された。これに対して、第２実施形態に係る画像投影装置１００Ａでは、垂直および水平駆動回路８１１，８１２，８２１，８２２，８３１，８３２，８４１，８４２を適宜共通化して、回路の小型化が図られた偏向制御回路１２２Ａが採用される。

なお、第２実施形態に係る画像投影装置１００Ａは、第１実施形態に係る画像投影装置１００と比較して、偏向制御回路１２２が異なる構成の偏向制御回路１２２Ａに変更されたものである。このため、以下では、第１実施形態に係る画像投影装置１００と同様な構成については同じ符号を付して説明を省略しつつ、第２実施形態に係る画像投影装置１００Ａについて説明する。

図１９は、第２実施形態に係る偏向制御回路１２２Ａによって、圧電素子５１〜５４の両電極に対して個別に垂直および水平駆動電圧を印加する構成を例示する図である。

図１９で示すように、偏向制御回路１２２Ａは、水平駆動回路８００，８０１、垂直駆動回路８０２、反転回路９００、および電圧供給線Ｌｖｈ，Ｌｖｖを備えて構成される。

具体的には、電圧供給線Ｌｖｈが接続部Ｃｈ１で２つの配線に分岐され、一方の配線が反転回路９００の入力側に電気的に接続され、他方の配線が水平駆動回路８０１の入力側に電気的に接続されている。また、反転回路９００の出力側が水平駆動回路８００の入力側に電気的に接続されている。また、水平駆動回路８００の出力側に電気的に接続される配線は、接続部Ｃｈ１１において２つの配線に分岐され、一方の配線が圧電素子５１の下部電極（負電極）５１２に電気的に接続され、他方の配線が圧電素子５４の上部電極（正電極）５４１に電気的に接続されている。さらに、水平駆動回路８０１の出力側に接続される配線は、接続部Ｃｈ１２において２つの配線に分岐され、一方の配線が圧電素子５２の上部電極（正電極）５２１に電気的に接続され、他方の配線が圧電素子５３の下部電極（負電極）５３２に電気的に接続されている。

また、電圧供給線Ｌｖｖが垂直駆動回路８０２の入力側に電気的に接続されている。そして、垂直駆動回路８０２の出力側に電気的に接続される配線が、接続部Ｃｖ１において４つの配線に分岐され、１つ目の配線が圧電素子５１の上部電極（正電極）５１１に電気的に接続され、２つ目の配線が圧電素子５２の下部電極（負電極）５２２に電気的に接続され、３つ目の配線が圧電素子５３の上部電極（正電極）５３１に電気的に接続され、４つ目の配線が圧電素子５４の下部電極（負電極）５４２に電気的に接続されている。

ここで、圧電素子５１〜５４に対する駆動信号の付与について説明する。

水平走査に係る駆動信号については、まず、電圧供給線Ｌｖｈによって、水平駆動用の駆動信号Ｈ１ｏが反転回路９００および水平駆動回路８０１に入力される。このとき、反転回路９００で駆動信号Ｈ１ｏの正負が反転された駆動信号−Ｈ１ｏが出力されて、水平駆動回路８００に入力される。そして、水平駆動回路８００で駆動信号−Ｈ１ｏの振幅が増幅された水平駆動信号−Ｈ１が出力されて、圧電素子５１の下部電極５１２および圧電素子５４の上部電極５４１に付与される。一方、水平駆動回路８０１で駆動信号Ｈ１ｏの振幅が増幅された水平駆動信号Ｈ１が出力されて、圧電素子５２の上部電極５２１および圧電素子５３の下部電極５３２に付与される。すなわち、圧電素子５１の下部電極５１２および圧電素子５４の上部電極５４１には、水平駆動電圧Ｖｈ１の逆位相の電圧−Ｖｈ１が印加され、圧電素子５２の上部電極５２１および圧電素子５３の下部電極５３２には、水平駆動電圧Ｖｈ１が印加される。

一方、垂直走査に係る駆動信号については、まず、電圧供給線Ｌｖｖによって、垂直駆動用の駆動信号Ｖ１ｏが垂直駆動回路８０２に入力される。そして、垂直駆動回路８０２で駆動信号Ｖ１ｏの振幅が増幅された垂直駆動信号Ｖ１が出力されて、圧電素子５１の上部電極５１１、圧電素子５２の下部電極５２２、圧電素子５３の上部電極５３１、および圧電素子５４の下部電極５４２に垂直駆動信号Ｖ１が付与される。すなわち圧電素子５１の上部電極５１１、圧電素子５２の下部電極５２２、圧電素子５３の上部電極５３１、および圧電素子５４の下部電極５４２には、垂直駆動電圧Ｖｖ１が印加される。

圧電素子５１〜５４の両電極に上述したような電圧が付与されると、圧電素子５１〜５４にそれぞれ印加される電圧Ｖｐ５１〜５４が、上式（１）〜（４）を満たす。なお、ここでは、反転回路９００によって、駆動信号Ｈ１ｏの正負を反転させたが、これに限られず、例えば、水平駆動回路８００をいわゆる反転増幅回路とすることによって、反転回路９００の機能を取り込んで、該反転回路９００を省略するようにしても良い。

このように、上記第１実施形態に係る偏向制御回路１２２では、水平および垂直駆動回路がそれぞれ４つ必要であったのに対して、第２実施形態に係る偏向制御回路１２２Ａでは、水平駆動回路が２つ、垂直駆動回路が１つまで削減される。したがって、第１実施形態で述べた従来技術の加算回路が不要であることによる効果に加えて、回路の小型化による装置の小型化、ならびに結線数の減少を図ることができる。

また、水平駆動回路８０１は、圧電素子５２，５３に対して水平駆動電圧Ｖｈ１を印加し、水平駆動回路８００は、圧電素子５１，５４に対して水平駆動電圧Ｖｈ１の正負を反転させた水平駆動電圧−Ｖｈ１を印加する。このため、垂直駆動電圧Ｖｖ１が印加される圧電素子５１〜５４の結合点Ｐｚ１の電位は、２つの水平駆動電圧Ｖｈ１，−Ｖｈ１に対して中立的な電位、すなわち交流的に見てグランドの電位（ＧＮＤ電位）となる。このため、仮に垂直駆動回路８０２の出力インピーダンスが顕著に低くなくても、光スキャナ１３２の垂直および水平走査の制御に不具合が生じない。

より詳細には、仮に垂直駆動回路８０２の出力インピーダンスが若干高く、且つ垂直駆動回路８０２に電流が流れれば、電圧降下によって意図した電圧を垂直駆動回路８０２から圧電素子５１〜５４に印加することができない不具合が生じる。しかしながら、ここでは、水平走査のための比較的大きな電流（水平駆動電流）が垂直駆動回路８０２には流入せず、垂直駆動回路８０２の出力インピーダンスを若干高めたとしても、電圧降下が発生しない。したがって、このような構成では、垂直駆動回路８０２の出力インピーダンスの抑制が厳密には要求されないため、垂直駆動回路８０２の回路設計が容易となる。

このため、更に、群遅延時間特性の確保が容易であり、負帰還増幅回路における容量性の負荷（圧電素子の電極間の静電容量）に起因する不安定な動作（出力におけるオーバーシュートやリンギングの発生、寄生発振など）を回避する設計（負帰還ループの位相の余裕、ゲインに余裕を持たせた設計など）が容易となる。したがって、回路の複雑化、大規模化、および製造コストの上昇を招くことなく、垂直走査に係る制御の特性を容易に向上させることができる。

また、上述したように、水平駆動電流が垂直駆動回路８０２に流入せず、垂直駆動回路８０２における消費電力が抑制される。このため、垂直駆動回路８０２では、流すことができる限界の電流（最大負荷電流）の値が小さくても良い。ここで、各圧電素子５１〜５４の電極間に係る静電容量をＣｐ、垂直駆動信号の鋸歯状の波形における電圧の振幅をＶａ、垂直駆動信号に係る帰線期間をＴｗ２とすると、垂直駆動回路８０２における最大負荷電流Ｉｐｍａｘは、下式（１０）を満たせば良い。

Ｉｐｍａｘ＝Ｃｐ×２×Ｖａ／Ｔｗ２ ・・・（１０）。

そして、圧電素子５１〜５４に係る静電容量をＣｐは、一般に数ｎＦ〜数十ｎＦの範囲に設定される。そこで、静電容量Ｃｐを１０［ｎＦ］、振幅Ｖａを１５［Ｖ］、帰線期間Ｔｗ２を１．７［ｍｓｅｃ］として、上式（１０）に代入すると、最大負荷電流Ｉｐｍａｘが、約１８０μＡ（≒１０［ｎＦ］×３０［Ｖ］／１．７［ｍｓｅｃ］）と算出される。このように、本実施形態に係る垂直駆動回路８０２では、最大負荷電流Ｉｐｍａｘが約１８０μＡ程度と比較的小さくて良い。このため、垂直駆動回路８０２の構成として、バイアス電流などが小さな回路構成の採用が可能である。したがって、垂直駆動回路８０２については、垂直リニア駆動のために高い電源電圧は必要であるが、第１実施形態に係る垂直駆動回路８１１，８２１，８３１，８４１と比較して、消費電力が低減される。

＜第３実施形態＞
第２実施形態に係る画像投影装置１００Ａの偏向制御回路１２２Ａは、２つの水平駆動回路８００，８０１と、１つの垂直駆動回路８０２とを備えて構成された。これに対して、第３実施形態に係る画像投影装置１００Ｂの偏向制御回路１２２Ｂでは、１つの水平駆動回路８０４と、２つの垂直駆動回路８０５，８０６とを備えて構成される。

図２０は、第３実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｂによって圧電素子５１〜５４の両電極に個別に駆動電圧を印加する構成を例示する図である。

図２０で示すように、偏向制御回路１２２Ｂは、水平駆動回路８０４、垂直駆動回路８０５，８０６、反転回路９０１、および電圧供給線Ｌｖｈ，Ｌｖｖを備えて構成される。

具体的には、電圧供給線Ｌｖｈが水平駆動回路８０４の入力側に電気的に接続されている。そして、水平駆動回路８０４の出力側に電気的に接続される配線が、接続部Ｃｈ２において４つの配線に分岐され、１つ目の配線が圧電素子５１の上部電極（正電極）５１１に電気的に接続され、２つ目の配線が圧電素子５２の上部電極（正電極）５２１に電気的に接続され、３つ目の配線が圧電素子５３の下部電極（負電極）５３２に電気的に接続され、４つ目の配線が圧電素子５４の下部電極（負電極）５４２に電気的に接続されている。

また、電圧供給線Ｌｖｖが接続部Ｃｖ２で２つの配線に分岐され、一方の配線が反転回路９０１の入力側に電気的に接続され、他方の配線が垂直駆動回路８０６の入力側に電気的に接続されている。また、反転回路９０１の出力側が垂直駆動回路８０５の入力側に電気的に接続されている。また、垂直駆動回路８０５の出力側に電気的に接続される配線は、接続部Ｃｖ２１において２つの配線に分岐され、一方の配線が圧電素子５１の下部電極（負電極）５１２に電気的に接続され、他方の配線が圧電素子５４の上部電極（正電極）５４１に電気的に接続されている。さらに、垂直駆動回路８０６の出力側に接続される配線は、接続部Ｃｖ２２において２つの配線に分岐され、一方の配線が圧電素子５２の下部電極（負電極）５２２に電気的に接続され、他方の配線が圧電素子５３の上部電極（正電極）５３１に電気的に接続されている。

ここで、圧電素子５１〜５４に対する駆動信号の付与について説明する。

水平走査に係る駆動信号については、まず、電圧供給線Ｌｖｈによって、水平駆動用の駆動信号Ｈ１ｏが水平駆動回路８０４に入力される。そして、水平駆動回路８０４で駆動信号Ｈ１ｏの振幅が増幅された水平駆動信号Ｈ１が出力されて、圧電素子５１の上部電極５１１、圧電素子５２の上部電極５２１、圧電素子５３の下部電極５３２、および圧電素子５４の下部電極５４２に水平駆動信号Ｈ１が付与される。すなわち圧電素子５１の上部電極５１１、圧電素子５２の上部電極５２１、圧電素子５３の下部電極５３２、および圧電素子５４の下部電極５４２には、水平駆動電圧Ｖｈ１が印加される。

一方、垂直走査に係る駆動信号については、まず、電圧供給線Ｌｖｖによって、垂直駆動用の駆動信号Ｖ１ｏが反転回路９０１および垂直駆動回路８０６に入力される。このとき、反転回路９０１で駆動信号Ｖ１ｏの正負が反転された駆動信号−Ｖ１ｏが出力されて、垂直駆動回路８０５に入力される。そして、垂直駆動回路８０５で駆動信号−Ｖ１ｏの振幅が増幅された垂直駆動信号−Ｖ１が出力されて、圧電素子５１の下部電極５１２および圧電素子５４の上部電極５４１に付与される。一方、垂直駆動回路８０６で駆動信号Ｖ１ｏの振幅が増幅された垂直駆動信号Ｖ１が出力されて、圧電素子５２の下部電極５２２および圧電素子５３の上部電極５３１に付与される。すなわち、圧電素子５１の下部電極５１２および圧電素子５４の上部電極５４１には、垂直駆動電圧Ｖｖ１の逆位相の電圧−Ｖｖ１が印加され、圧電素子５２の下部電極５２２および圧電素子５３の上部電極５３１には、垂直駆動電圧Ｖｖ１が印加される。

圧電素子５１〜５４の両電極に上述したような電圧が付与されると、圧電素子５１〜５４にそれぞれ印加される電圧Ｖｐ５１〜５４が、上式（１）〜（４）を満たす。なお、ここでは、反転回路９０１によって、駆動信号Ｖ１ｏの正負を反転させたが、これに限られず、例えば、垂直駆動回路８０５をいわゆる反転増幅回路とすることによって、反転回路９０１の機能を取り込んで、該反転回路９０１を省略するようにしても良い。

以上のように、第３実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｂでは、水平駆動回路が１つ、垂直駆動回路が２つまで削減される。したがって、第２実施形態に係る偏向制御回路１２２Ａと同様に、第１実施形態で述べた従来技術の加算回路が不要であることによる効果に加えて、回路の小型化による装置の小型化、ならびに結線数の減少を図ることができる。

また、垂直駆動回路８０６は、圧電素子５２，５３に対して垂直駆動電圧Ｖｖ１を印加し、垂直駆動回路８０５は、圧電素子５１，５４に対して垂直駆動電圧Ｖｖ１の正負を反転させた垂直駆動電圧−Ｖｖ１を印加する。このため、水平駆動電圧Ｖｈ１が印加される圧電素子５１〜５４の結合点Ｐｚ２の電位は、２つの垂直駆動電圧Ｖｖ１，−Ｖｖ１に対して中立的な電位、すなわち交流的に見てグランドの電位（ＧＮＤ電位）になる。このため、仮に水平駆動回路８０４の出力インピーダンスが顕著に低くなくても、光スキャナ１３２の垂直および水平走査の制御に不具合が生じない。そして、更に、群遅延時間特性の確保が容易であり、負帰還増幅回路における容量性の負荷（圧電素子の電極間の静電容量）に起因する不安定な動作（出力におけるオーバーシュートやリンギングの発生、寄生発振など）を回避する設計（負帰還ループの位相の余裕、ゲインに余裕を持たせた設計など）が容易となる。このため、回路の複雑化、大規模化、および製造コストの上昇を招くことなく、水平走査に係る制御の特性を容易に向上させることができる。

＜第４実施形態＞
第１〜３実施形態に係る画像投影装置１００，１００Ａ，１００Ｂの偏向制御回路１２２，１２２Ａ，１２２Ｂでは、正弦波の波形を有する水平駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与していた。これに対して、第４実施形態に係る画像投影装置１００Ｃの偏向制御回路１２２Ｃでは、矩形波の波形を有する水平駆動信号を圧電素子５１〜５４に加える。

ここで、水平駆動信号の波形を矩形波としても良い理由について説明する。水平走査については、光スキャナ１３２の機械的な共振特性を利用したミラー部１０の水平共振駆動によって実現される。そして、同じ波形の繰り返しの周波数がミラー部１０に係る共振周波数近傍である正弦波の代わりに、同じ共振周波数近傍の周波数を有する矩形波を採用すると、共振周波数近傍の矩形波の基本波の成分に応答してミラー部１０が回動するが、矩形波の高調波の成分に応答してミラー部１０が回動しない。これは、機械的な共振特性については、狭い周波数帯域のバンドパスフィルタの機能がある。このような現象により、矩形波の水平駆動信号が圧電素子５１〜５４に付与されても、正弦波の水平駆動信号が圧電素子５１〜５４に付与された場合と同様に、ミラー部１０が水平共振駆動を行う。

ここで、矩形波の水平駆動信号を圧電素子５１〜５４に付与するための水平駆動回路の構成について説明する。なお、各圧電素子５１〜５４に係る水平駆動回路は、付与する信号の正負が適宜反転するが、同様な構成となるため、以下では、圧電素子５１に係る水平駆動回路を例に挙げて説明する。

図２１は、圧電素子５１に係る水平駆動回路の構成を例示する図である。なお、ここでは、圧電素子５１の上部電極（正電極）５１１に配線Ｌｖａを介して電気的に接続される垂直駆動回路は出力インピーダンスが比較的低いため、水平駆動回路から見て、上部電極５１１は交流的に接地されたものとみなすことができる。このため、図２１では、図示を簡略化する目的で垂直駆動回路側が接地されているように示されている。

図２１で示すように、偏向制御回路１２２Ｃの水平駆動回路は、いわゆるハーフブリッジ回路Ｈｂｒを備えている。このハーフブリッジ回路Ｈｂｒは、相互にキャリアが異なるタイプのトランジスタ、具体的には、Ｐチャンネル型の電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）ＴｐとＮチャンネル型の電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）Ｔｎとを有して構成される。

ここで、Ｐチャンネル型のＦＥＴ（以下「Ｐ型トランジスタ」と略称する）Ｔｐは、第１電極Ｅ１ｓと、第２電極Ｅ１ｄと、第３電極Ｅ１ｇとを有し、第３電極Ｅ１ｇに付与される電位に応じて、第１電極Ｅ１ｓと第２電極Ｅ１ｄとの間で電流が流れる導通状態と、第１電極Ｅ１ｓと第２電極Ｅ１ｄとの間で電流が流れない非導通状態とに設定される。また、Ｎチャンネル型のＦＥＴ（以下「Ｎ型トランジスタ」と略称する）Ｔｎは、第４電極Ｅ２ｓと、第５電極Ｅ２ｄと、第６電極Ｅ２ｇとを有し、第６電極Ｅ２ｇに付与される電位に応じて、第４電極Ｅ２ｓと第５電極Ｅ２ｄとの間で電流が流れる導通状態と、第４電極Ｅ２ｓと第５電極Ｅ２ｄとの間で電流が流れない非導通状態とに設定される。

ここでは、第１電極Ｅ１ｓが、接続部Ｃｈ４を介して電源電圧を印加する電源線Ｌｄに対して電気的に接続されている。また、第２電極Ｅ１ｄが接続部Ｃｈ５を介して第４電極Ｅ２ｓに対して電気的に接続されている。また、第３電極Ｅ１ｇは、接続部Ｃｈ３を介して、第６電極Ｅ２ｇに対して電気的に接続されている。また、第５電極Ｅ２ｄが接地されている。さらに、接続部Ｃｈ３に対して水平駆動用の駆動信号Ｈｓ１ｏを付与するために配線Ｌｖｈが電気的に接続され、圧電素子５１の下部電極５１２が接続部Ｃｈ５に対して電気的に接続されている。

次に、第４実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｃの水平駆動回路における駆動信号および電位の付与について説明する。

電源線Ｌｄには、所定の定電圧（電源電圧）Ｖｄｄが付与される。ここで、配線Ｌｖｈに図２２で示すような矩形波の水平駆動信号Ｈｓ１ｏが付与されると、駆動信号Ｈｓ１ｏが第３電極Ｅ１ｇと第６電極Ｅ２ｇとに対して付与される。このとき、Ｐ型トランジスタＴｐとＮ型トランジスタＴｎとが交互に導通状態と非導通状態とに設定される。つまり、Ｐ型トランジスタＴｐが導通状態の場合には、Ｎ型トランジスタＴｎが非導通状態となり、Ｎ型トランジスタＴｎが導通状態の場合には、Ｐ型トランジスタＴｐが非導通状態となる。その結果、接続部Ｃｈ５から下部電極５１２に対して、水平駆動信号Ｈｓ１ｏの正負が反転した矩形波で、且つ振幅が電源電圧Ｖｄｄと等しい水平駆動信号−Ｈｓ１が付与される。

ここでは、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒでは、スイッチのＯＮ／ＯＦＦで電極間を短絡させる動作が行われるため、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒの出力インピーダンスが低くなる。また、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒでは、スイッチのＯＮ／ＯＦＦの瞬間に若干電力が消費されるが、電力の効率が非常に良好となり、消費電力の低減が図られる。また、このハーフブリッジ回路Ｈｂｒは、回路の規模が比較的小さいものである。

また、矩形波の水平駆動信号−Ｈｓ１の有する基本波の成分、すなわち圧電素子５１の共振周波数と等しい周波数の正弦波の成分については、電圧値の正の値のピークの値と負の値のピークの値との差分（peak to peak値）、すなわち電圧値の振幅が、電源電圧Ｖｄｄよりも２割程度高いものとなる。したがって、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒの利用により、電圧の若干の上昇、すなわち若干の昇圧効果が得られる。

また、図２３で示すように、矩形波の水平駆動信号Ｈｓ１ｏのデューティの変更に応じて、矩形波の水平駆動信号−Ｈｓ１のデューティが変更されると、ミラー部１０の水平走査の振幅が変更されるいわゆるＰＷＭ制御も可能となる。このＰＷＭ制御は、画像投影装置１００ＣからスクリーンＳＣに対して斜めから画像が投影される場合に生じる水平走査に係る画像の歪みの補正などに用いることができる。なお、ここで言う「デューティ」は、矩形波の水平駆動信号Ｈｓ１ｏについて１周波の周期のうちの高電圧となる期間の割合を示す。そして、デューティが５０％である場合には、水平走査の振幅が最大となり、デューティが５０％からずれる程、水平走査の振幅が小さくなる。

なお、従来技術のように、加算回路を用いる構成では、垂直駆動信号と水平駆動信号とを加算するため、本実施形態のように、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒを利用することができない。

以上のように、第４実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｃでは、第１実施形態で述べた従来技術の加算回路が不要であることによる効果に加えて、矩形波の水平駆動信号Ｈｓ１ｏ，−Ｈｓ１を用いたミラー部１０の水平共振駆動により、実質的に水平駆動信号の電圧を上昇させて駆動信号を付与した状態となる。このため、消費電力が低減される。また、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒの出力インピーダンスが低く、且つスイッチング動作で水平駆動信号−Ｈｓ１が圧電素子５１の下部電極５１２に付与される。このため、消費電力の低減が図られる。

＜第５実施形態＞
第４実施形態に係る画像投影装置１００Ｃの偏向制御回路１２２Ｃでは、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒを含む水平駆動回路を用いた。これに対して、第５実施形態に係る画像投影装置１００Ｄの偏向制御回路１２２Ｄでは、第４実施形態に係る水平駆動回路１２２Ｃに、リアクタンス素子が加えられている。

図２４は、第５実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｄの水平駆動回路の構成を例示する図である。なお、各圧電素子５１〜５４に係る水平駆動回路は、付与する信号の正負が適宜反転するが、同様な構成となるため、以下では、圧電素子５１に係る水平駆動回路を例に挙げて説明する。また、第５実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｄの水平駆動回路は、第４実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｃのハーフブリッジ回路Ｈｂｒの接続部Ｃｈ５と、下部電極５１２との間に、リアクタンス素子を含む回路が追加されたものであるため、この追加された回路について説明する。

図２４で示すように、接続部Ｃｈ５と接続部Ｃｈ６との間にインダクタＬ１が電気的に接続され、接続部Ｃｈ６が下部電極５１２に対して電気的に接続されている。また、接続部Ｃｈ６は、補助コンデンサＣ１を介して上部電極５１１に対して電気的に接続されている。但し、上述したように、水平駆動回路から見て上部電極５１１は交流的に接地されているとみなされるため、図２４では、補助コンデンサＣ１が接地されているように示されている。なお、補助コンデンサＣ１は、接続部Ｃｈ６に対して電気的に接続されている第７電極Ｅｃ１と、上部電極５１１側に電気的に接続されて交流的に接地されているとみなされている第８電極Ｅｃ２とを有している。

次に、第５実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｄの水平駆動回路における駆動信号および電位の付与について説明する。ここでは、第４実施形態と同様に、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒから下部電極５１２に向けて水平駆動信号−Ｈｓ１が出力される。しかしながら、本実施形態では、インダクタＬ１のインダクタンスＬと圧電素子５１の電極間の静電容量Ｃｐ５１とで決まる共振周波数ｆｏが、水平共振駆動の周波数ｆｈにほぼ合致するように設定されている。このため、接続部Ｃｈ５からインダクタＬ１に大きな共振電流が流れて、圧電素子５１の正負の電極間（上部電極５１１と下部電極５１２との間）に、電源電圧Ｖｄｄと比較して、例えば５倍程度に昇圧された周波数ｆｈの正弦波の水平駆動信号が付与されることになる。つまり、インダクタＬ１の存在により、矩形波の水平駆動信号が正弦波の水平駆動信号に変換される。なお、共振周波数ｆｏは、下式（１１）で示される。

ｆｏ＝１／｛２π×√（Ｌ×Ｃｐ５１）｝≒ｆｈ ・・・（１１）。

なお、第４実施形態に係る水平駆動回路では、下部電極５１２に付与される水平駆動信号−Ｈｓ１は矩形波の信号波形を有したため、圧電素子５１の両電極間の静電容量Ｃｐ５１について充放電に依拠した電力消費が発生し、電力効率が若干低下する。これに対して、第５実施形態に係る水平駆動回路では、下部電極５１２に正弦波の水平駆動信号が付与されているような状態となる。この正弦波の信号に対しては、インダクタＬ１と圧電素子５１のコンデンサとは、電圧の位相が９０度ずれるため、上記充放電に依拠した電力消費は発生しない。その結果、第４実施形態と比較して、電力効率が更に向上する。

また、６０Ｈｚ〜１．２ｋＨｚの周波数の信号を発生させる垂直駆動回路は、圧電素子５１とインダクタＬ１とを介して接地される。このため、垂直走査の周波数の信号に対するインダクタＬ１のリアクタンスが十分低ければ、垂直駆動回路を流れる電流が小さくなり、消費電力が低減される。

また、ここでは、補助コンデンサＣ１の静電容量をＣｏとすると、共振周波数ｆｏは、下式（１２）で示される。

ｆｏ＝１／［２π×√｛Ｌ×（Ｃｐ５１＋Ｃｏ）｝］≒ｆｈ ・・・（１２）。

上式（１２）からも分かるように、静電容量Ｃｏを適宜設定することで、インダクタンスＬの自由度が高まる。このため、電源電圧Ｖｄｄを一定に保ったままで、下部電極５１２に付与される水平駆動信号の振幅を適宜調整することも可能となる。また、共振周波数ｆｏが、環境温度に応じて変化する現象を、静電容量Ｃｏによって補償するようにすることも可能である。

また、本実施形態においても、第４実施形態と同様に、図２３で示すように、矩形波の水平駆動信号Ｈｓ１ｏのデューティの変更に応じて、矩形波の水平駆動信号−Ｈｓ１のデューティが変更されると、ミラー部１０の水平走査の振幅が変更されるいわゆるＰＷＭ制御も可能となる。

以上のように、第５実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｄでは、第１実施形態で述べた従来技術の加算回路が不要であることによる効果に加えて、矩形波の水平駆動信号がリアクタンス素子を介して圧電素子５１〜５４に付与されることで、圧電素子５１〜５４には振幅が増幅された正弦波の駆動信号が付与されることとなり、消費電力の低減が図られる。なお、本実施形態では、補助コンデンサＣ１を備えた構成を示して説明したが、インダクタンスＬの自由度を高める点を考慮しなければ、補助コンデンサＣ１を用いなくても良い。

＜第６実施形態＞
第６実施形態に係る画像投影装置１００Ｅの偏向制御回路１２２Ｅは、第５実施形態に係る水平駆動回路のうち、インダクタＬ１の配置と補助コンデンサＣ１の配置とを入れ替えて、インダクタＬ２と補助コンデンサＣ２とに変更したものである。

図２５は、第６実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｅの水平駆動回路の構成を例示する図である。なお、各圧電素子５１〜５４に係る水平駆動回路は、付与する信号の正負が適宜反転するが、同様な構成となるため、以下では、圧電素子５１に係る水平駆動回路を例に挙げて、第５実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｄの水平駆動回路と異なる部分について説明する。

図２５で示すように、接続部Ｃｈ５と接続部Ｃｈ７との間に補助コンデンサＣ２が電気的に接続され、接続部Ｃｈ７が下部電極５１２に対して電気的に接続されている。また、接続部Ｃｈ７は、インダクタＬ２を介して上部電極５１１に対して電気的に接続されている。但し、上述したように、上部電極５１１は交流的に接地されているとみなされるため、図２５では、インダクタＬ２が接地されているように示されている。なお、補助コンデンサＣ２は、接続部Ｃｈ５に対して電気的に接続されている第９電極Ｅｃ３と、接続部Ｃｈ７に対して電気的に接続されている第１０電極Ｅｃ４とを有している。

そして、ここでは、６０Ｈｚ〜１．２ｋＨｚの周波数の信号を発生させる垂直駆動回路は、圧電素子５１とインダクタＬ２とを介して接地される。このため、垂直走査の周波数の信号に対するインダクタＬ２のリアクタンスが十分低ければ、垂直駆動回路を流れる電流が小さくなり、消費電力が低減される。

更に、ハーフブリッジ回路Ｈｂｒから下部電極５１２に向けて出力される水平駆動信号−Ｈｓ１について、低周波成分などを含む直流成分が補助コンデンサＣ２によってカットされる。このため、垂直および水平走査の駆動制御を不安定にするオフセット電圧などの直流成分が除去される。なお、特に、ＰＷＭ制御を行う場合には、水平駆動信号−Ｈｓ１に直流成分や低周波成分が含まれる傾向にあるため、補助コンデンサＣ２による直流成分や低周波成分のカットが有効的である。

なお、第６実施形態に係る偏向制御回路１２２Ｅでも、第１実施形態で述べた従来技術の加算回路が不要であることによる効果も得られる。

＜変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

◎例えば、上記第１〜６実施形態では、１つのミラー部１０を回動させるために４つの圧電素子５１〜５４を備えた構成について説明したが、これに限られず、ミラー部１０を駆動させる素子として、１つの圧電素子が設けられたものでも良い。

◎また、上記第１〜６実施形態では、被駆動体を駆動させる素子（駆動素子）として圧電素子５１〜５４を挙げて説明したが、これに限られない。例えば、駆動素子として、圧電素子、電磁素子、磁歪素子、静電素子、および高分子素子のうちの何れか１つ以上を採用しても良い。

◎また、上記第１〜６実施形態では、２軸を中心としてミラー部１０が回動したが、おれに限られない。例えば、３つ以上の複数の駆動軸を中心としてミラー部１０が回動しても良い。

◎また、上記第１〜６実施形態では、全ての垂直および水平駆動信号を個別に圧電素子５１〜５４に付与したが、これに限られない。例えば、複数の駆動軸を中心として被駆動体に相当するミラー部１０をそれぞれ駆動させるための複数の垂直および水平駆動信号のうちの少なくとも１つの駆動信号を、個別に圧電素子５１〜５４に付与しても良い。このような構成では、圧電素子５１〜５４に対して個別に駆動信号を付与する回路の設計の自由度が高まる。したがって、高性能化、複雑化、高消費電力化、および高コスト化を回避しつつ、駆動素子による複数の駆動軸を中心とした被駆動体の任意の回動を実現する駆動装置を実現することができる。

◎また、上記第１〜６実施形態では、被駆動体がミラー部１０であったがこれに限られず、例えば、相互に直交または直交していない２軸を中心として回動する被駆動体であれば良い。つまり、種々の被駆動体を駆動させる駆動装置であれば良い。

◎また、上記第４〜６実施形態では、第１電極Ｅ１ｓに対して電源線Ｌｄが電気的に接続され、第５電極Ｅ２ｄが接地されたが、これに限られず、例えば、第５電極Ｅ２ｄに対して電源線Ｌｄが電気的に接続され、第１電極Ｅ１ｓが接地されても良い。

１０ ミラー部
５１〜５４ 圧電素子
１００，１００Ａ〜１００Ｅ 画像投影装置
１２０ 駆動制御部
１２２，１２２Ａ〜１２２Ｅ 偏向制御回路
１３２ ２次元偏向部（光スキャナ）
１３３ 光源
５１１，５２１，５３１，５４１ 上部電極（正電極）
５１２，５２２，５３２，５４２ 下部電極（負電極）
８００，８０１，８０４，８１１，８２１，８３１，８４１ 垂直駆動回路
８０２，８０５，８０６，８１２，８２２，８３２，８４２ 水平駆動回路
９００，９０１ 反転回路
Ｃ１，Ｃ２ 補助コンデンサ
Ｃｈ１〜Ｃｈ７，Ｃｈ１１，Ｃｈ１２，Ｃｖ１，Ｃｖ２，Ｃｖ２１，Ｃｖ２２ 接続部
Ｅ１ｄ，Ｅ１ｇ，Ｅ１ｓ，Ｅ２ｄ，Ｅ２ｇ，Ｅ２ｓ，Ｅｃ１〜Ｅｃ４ 電極
Ｈｂｒ ハーフブリッジ回路
Ｌ１，Ｌ２ インダクタ
Ｌｄ 電源線
Ｌｖｈ，Ｌｖｖ 配線
ＳＣ スクリーン
Ｔｎ Ｎ型トランジスタ
Ｔｐ Ｐ型トランジスタ

Claims (9)

1. 第１および第２信号入力部を有し、前記第１信号入力部と前記第２信号入力部との間に電圧が印加されることで、第１および第２駆動軸を中心として被駆動体を駆動させる駆動素子と、
   前記第１駆動軸を中心として前記被駆動体を駆動させるための第１駆動信号を前記第１信号入力部に対して付与するとともに、前記第２駆動軸を中心として前記被駆動体を駆動させるための第２駆動信号を前記第２信号入力部に対して付与する信号付与部と、
   を備えることを特徴とする駆動装置。
2. 請求項１に記載の駆動装置であって、
   前記被駆動体が、
   光源部から発せられた光束を反射する反射部を含み、且つ前記第１駆動軸を中心とした回動による前記光束の主走査と、前記第２駆動軸を中心とした回動による前記光束の副走査とを行うことを特徴とする駆動装置。
3. 請求項２に記載の駆動装置であって、
   前記主走査に係る前記反射部の回動が共振を利用した駆動であり、前記副走査が略一定速度の前記光束の走査を含むことを特徴とする駆動装置。
4. 請求項１に記載の駆動装置であって、
   前記第１駆動信号が、
   矩形波の駆動信号を含むことを特徴とする駆動装置。
5. 請求項４に記載の駆動装置であって、
   前記信号付与部が、
   ハーフブリッジ回路を用いて前記第１駆動信号を前記第１信号入力部に付与することを特徴とする駆動装置。
6. 請求項５に記載の駆動装置であって、
   前記ハーフブリッジ回路が、
   キャリアが異なるタイプの第１および第２トランジスタを有し、
   前記第１トランジスタが、
   第１、第２、第３電極を有し、且つ前記第３電極に付与される電位に応じて、前記第１電極と前記第２電極との間で電流が流れる導通状態と、前記第１電極と前記第２電極との間で電流が流れない非導通状態とに設定され、
   前記第２トランジスタが、
   第４、第５、第６電極を有し、且つ前記第６電極に付与される電位に応じて、前記第４電極と前記第５電極との間で電流が流れる導通状態と、前記第４電極と前記第５電極との間で電流が流れない非導通状態とに設定され、
   前記第１電極が、電源電圧を印加する電源線に対して電気的に接続され、
   前記第２電極と前記第４電極とが接続部を介して電気的に接続され、
   前記第３電極が、前記第６電極に対して電気的に接続され、
   前記第５電極が、接地され、
   前記接続部に対して前記第１信号入力部が電気的に接続され、
   前記第３電極と前記第６電極とを電気的に接続する配線に対して矩形波の信号が付与されることで、前記接続部から前記第１信号入力部に対して矩形波の信号が出力されることを特徴とする駆動装置。
7. 請求項４に記載の駆動装置であって、
   前記信号付与部が、
   前記第１駆動信号を、リアクタンス素子を介して前記第１信号入力部に付与することを特徴とする駆動装置。
8. 請求項７に記載の駆動装置であって、
   前記リアクタンス素子が、
   コンデンサを含むことを特徴とする駆動装置。
9. 請求項１に記載の駆動装置であって、
   前記駆動素子が、
   圧電素子、電磁素子、磁歪素子、静電素子、および高分子素子のうちの何れか１つを含むことを特徴とする駆動装置。

Images