JP5501754B2 - フォトリソグラフィ用現像液の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
また、第二濃度としては、0.1〜20質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましく、5〜8質量%がさらに好ましく、6.79質量%が最も好ましい。第二濃度が0.1質量%以上であることにより、良好な現像性を現像液に付与することができ、第二濃度が20質量%以下であることにより、レジストパターンが現像液によって溶解することが抑制され、良好な現像マージンを維持することができる。
さらに、スルホン酸基を有するその他の界面活性剤としては、例えば、ドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸等のアルキルジフェニルエーテルジスルホン酸、ジオクチルスルホサクシネート等のジアルキルスルホサクシネート等を挙げることができる。
高級アルコールリン酸エステルの例としては、例えば、パルミチルリン酸エステル、ヒマシ油アルキルリン酸エステル、ヤシ油アルキルリン酸エステル等を挙げることができる。
2 混合部
10 第一供給管
14 第二供給管
15 撹拌手段
40 保温手段
51 第一加温手段
52 第二加温手段
Claims (3)
- 第一濃度の水酸化テトラブチルアンモニウム水溶液と、純水と、を混合部で混合することにより、前記第一濃度よりも希釈された第二濃度の水酸化テトラブチルアンモニウムを含む水溶液を得るフォトリソグラフィ用現像液の製造方法であって、
前記混合部に供給される第一濃度の水酸化テトラブチルアンモニウム水溶液及び純水の水温が27℃以上であり、かつ、前記混合部で混合される液体の温度を27℃以上に保持することを特徴とするフォトリソグラフィ用現像液の製造方法。 - 前記第一濃度が30質量%を超え、前記第二濃度が30質量%以下である請求項1記載のフォトリソグラフィ用現像液の製造方法。
- 撹拌手段と、
第一濃度の水酸化テトラブチルアンモニウム水溶液を供給する第一供給管と、
純水を供給する第二供給管と、を備えた混合部を備え、
さらに、
前記第一供給管から前記混合部の内部に供給される水酸化テトラブチルアンモニウム水溶液を27℃以上に加温する第一加温手段と、
前記第二供給管から前記混合部の内部に供給される純水を27℃以上に加温する第二加温手段と、
前記第一供給管から前記混合部の内部に供給された第一濃度の水酸化テトラブチルアンモニウム水溶液、及び前記第二供給管から前記混合部の内部に供給された純水を前記撹拌手段により混合して、前記第一濃度よりも希釈された第二濃度の水酸化テトラブチルアンモニウムを含むフォトリソグラフィ用現像液を得る際、前記混合部の内部に存在する液体の温度を27℃以上に維持するための保温手段と、を備えたフォトリソグラフィ用現像液の製造装置。
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