JP5500957B2 - 磁気式力覚センサ - Google Patents
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Description
ホール素子からセレクタへの出力電圧が、温度上昇が生じて低下した場合、ホール素子に隣接して設けられた温度補償回路に備えられた温度センサの負の温度特性により、温度上昇に比例して温度補償回路からホール素子に出力される電流値が高められる。
この高められた電流がホール素子16に出力されることで、温度上昇により低下していたホール素子16からセレクタへの出力電圧が回復することになる。
作用部に受けた力によって変位可能な前記作用部と磁束発生源との相対位置に基づいて前記力を検知する磁気式力覚センサにおいて、
支持部材に支持された作用部と、
前記作用部に固定された第一の磁電変換素子と、
前記第一の磁電変換素子に対向して配置された磁束発生源と、
前記磁束発生源する相対位置を固定して配置された第二の磁電変換素子と、
前記第一の磁電変換素子の出力を、前記第二の磁電変換素子の出力に基づいて補正する演算処理部とを有することを特徴とする。
Fz=kz((B4a+B4b)−B7)
My=ky(B4a−B4b)
固定磁電変換素子7により、変換器9を通して磁束発生源5の発生磁場の変動によって生じる出力変化を演算部で検出する。
信号増幅部8の信号増幅率をG倍とする。磁場変動によって固定磁電変換素子7の出力電圧がΔV7変化すると、信号増幅部8を介して出力される電圧はΔVt=GΔV7変化する。この変化分ΔVtをA/D変換器等から構成される変換器を通して演算部で検出する。これにより、ΔB=ΔVt/ksGから変化した磁束密度を計算できる。ここで、変換器の検出分解能は、上記の補正したい変化を十分検出できるものでなければならない。
磁束発生源5の発生磁場が変化すると、外力によって生じる作用部1と磁束発生源5との相対位置の変化により生じる磁電変換素子の出力も変化する。
よって、磁電変換素子の出力から正確な外力の値を算出するためには、センサ出力の感度係数kz,kyを発生磁場に応じて修正する必要がある。前述したように、変化した分の磁束変化ΔBに基づき、変動前の磁束密度をBとすると、発生磁場の変動の影響を含んだ補正後の感度係数は{(B−ΔB)/B}×kzおよび{(B−ΔB)/B}×kyとすればよい。なお、発生磁場に変動がない場合(ΔB=0)の場合は、(B−ΔB)/Bの値は1となり、上記の感度係数はそれぞれkz、kyとなる。
磁束発生源5の発生磁場が変化することにより、固定磁電変換素子7の出力が変換器9に入力される際の基準電圧値からΔVt変化したとする。差分であるΔVt分に基づき変位磁電変換素子4のオフセット分ΔVoffを演算部で計算する。変位磁電変換素子4の出力電圧がΔV4=kdΔB変化し、ΔVoff=GΔV4となる。ここで、kdは磁束変化量から出力電圧へ変換するための係数である。上記の発生磁場変動分の検出の項目にて述べたようにΔVtからΔBを算出できるため、ΔVoffが算出できる。このΔVoffをキャンセルするように調整器10により変位磁電変換素子4a,4bと接続された信号増幅部8へフィードバックする。これにより、固定磁電変換素子7の出力に基づいて変位磁電変換素子4のオフセットをリアルタイムに補正することができる。なお、磁束発生源5の発生磁場変動量が時間変化に対して軽微でリアルタイムに補正が必要でない場合には、変位磁電変換素子の基準電圧値(作用部1に外力が加わっていないときの電圧値)からの差分をキャンセルするようにしてもよい。
一方、発生磁場変動の補正を含んだ計算式は以下のように示される。ここで、kp=(B−ΔB)/Bは補正感度係数である。
Fz=kp×kz((B4a+B4b)−B7)
My=kp×ky(B4a−B4b)
変位磁電変換素子4a、4bのオフセットは変換器9に電気信号が入力される前に調整されるので演算部11による計算には影響を及ぼさないことがわかる。よって、補正を行なわない場合と比べて補正感度係数を乗算するだけで容易に発生磁場の変動分を補正し、正確な外力やモーメントを算出することができる。
また本発明の方法は磁束発生源の発生する発生磁場そのものに基づいて感度係数を補正するため、従来の温度補償回路を用いた方式では補正できなかった経年変化による発生磁場の変化など、温度以外の原因で生じる発生磁場の変化にも対応できる。
ここで、磁束発生源には残留磁束密度1.4T、保磁力1000kA/mのNd−Fe−B磁石の特性を設定し、磁性体の比透磁率は5000に設定した。
2 弾性体
3 変位磁電変換素子用実装基板
4a〜4b 変位磁電変換素子
5 磁束発生源
6 固定磁電変換素子用実装基板
7 固定磁電変換素子
8 信号増幅部
9 信号変換部
10 信号調整部
11 演算部
12 磁束線
13 磁性体
14 永久磁石
15a〜15b 磁電変換素子
16 ホール素子
Claims (4)
- 作用部に受けた力によって変位可能な前記作用部と磁束発生源との相対位置に基づいて前記力を検知する磁気式力覚センサにおいて、
支持部材に支持された作用部と、
前記作用部に固定された第一の磁電変換素子と、
前記第一の磁電変換素子に対向して配置された磁束発生源と、
前記磁束発生源に対する相対位置を固定して配置された第二の磁電変換素子と、
前記第一の磁電変換素子の出力を、前記第二の磁電変換素子の出力に基づいて補正する演算処理部とを有することを磁気式力覚センサ。 - 前記演算処理部の演算結果を前記第一の磁電変換素子へフィードバックする調整器を有し、
あらかじめ定められた基準電圧値と、前記作用部に外力が加わっていないときの前記第二の磁電変換素子の出力による電圧値との差分をキャンセルするフィードバックが、前記第一の磁電変換素子の出力に対して行われることを特徴とする請求項1項記載の磁気式力覚センサ。 - 前記演算処理部の演算結果を前記第一の磁電変換素子へフィードバックする調整器を有し、
磁束発生源の発生する磁場をB、前記第二の磁電変換素子の出力に基づいて算出された磁束発生源が発生する磁場の変動をΔBとしたとき、第一の磁電変換素子の出力を、(B−ΔB)/B倍するフィードバックが行なわれることを特徴とする請求項1記載の磁気式力覚センサ。 - 前記第二の磁電変換素子は前記磁束発生源の一方の磁極近傍に配置され、前記第一の磁電変換素子は前記磁束発生源の他方の磁極近傍に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の磁気式力覚センサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5735882B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2015-06-17 | Ntn株式会社 | 磁気式荷重センサ |
JP6168868B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2017-07-26 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ及び力覚センサを備えたロボットアーム |
US9245551B2 (en) * | 2014-03-18 | 2016-01-26 | Seagate Technology Llc | Nitrogen-vacancy nanocrystal magnetic source sensor |
WO2016145011A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Worcester Polytechnic Institute | Soft-body deformation and force sensing |
CN104729768A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-06-24 | 苏州森特克测控技术有限公司 | 一种压力传感器 |
JP6443256B2 (ja) * | 2015-07-31 | 2018-12-26 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
CN108344531A (zh) * | 2017-01-23 | 2018-07-31 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于电磁感应的三维测力传感器 |
JP6843726B2 (ja) | 2017-10-17 | 2021-03-17 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ及びロボット |
KR102002814B1 (ko) | 2018-06-29 | 2019-10-17 | (주)이디에스 | 변위 익스텐소미터 |
KR102135402B1 (ko) | 2019-07-16 | 2020-07-17 | (주)이디에스 | 변위 익스텐소미터 |
CN111693185A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-09-22 | 广州特种机电设备检测研究院 | 一种基于矫顽力的起重机轮压测试装置及测试方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB804849A (en) * | 1950-04-12 | 1958-11-26 | Sperry Gyroscope Co Ltd | Improvements in or relating to accelerometers and to control systems employing accelerometers |
US2983211A (en) * | 1957-03-19 | 1961-05-09 | Kollsman Instr Corp | Cabin pressurization-pressure monitor system |
US3274826A (en) * | 1962-09-28 | 1966-09-27 | Ingram Maxwell | Direct reading shaft horsepower meter systems |
FR1364146A (fr) | 1963-05-10 | 1964-06-19 | Crouzet Sa | Procédé et dispositif pour la mesure de forces par application de l'effet hall |
DE3110107A1 (de) * | 1981-03-16 | 1982-09-23 | Mannesmann Rexroth GmbH, 8770 Lohr | Kraftmessverfahren und kraftmessvorrichtung zur steuerung des krafthebers eines ackerschleppers |
CN85103183A (zh) | 1985-04-26 | 1987-04-08 | 株式会社岛津制作所 | 电磁力发生装置 |
JPS63149569A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Canon Inc | 加速度計 |
DE3843869A1 (de) | 1988-12-24 | 1990-06-28 | Deere & Co | Kraftsensor zur bestimmung von zug- und druckkraeften |
CN2241875Y (zh) | 1995-11-20 | 1996-12-04 | 上海铁道大学 | 霍尔型土壤压力传感器 |
JP3577420B2 (ja) | 1999-01-21 | 2004-10-13 | 株式会社フジユニバンス | 荷重センサ |
KR100582128B1 (ko) * | 2001-04-19 | 2006-05-22 | 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤 | 포인팅 장치 |
JP2004325328A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 多分力検出器 |
WO2005053146A2 (en) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | University Of Virginia Patent Foundation | Method and system for enhanced resolution, automatically- calibrated position sensor |
JP4201140B2 (ja) | 2004-05-10 | 2008-12-24 | 株式会社コルグ | 操作子 |
DE102007009389A1 (de) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Bizerba Gmbh & Co. Kg | Kraftmessvorrichtung und Verfahren zur Signalauswertung |
JP5376859B2 (ja) | 2007-08-28 | 2013-12-25 | キヤノン株式会社 | 磁気式力センサ及び磁気式力センサを有するロボットアーム |
JP5113613B2 (ja) | 2008-04-30 | 2013-01-09 | 理想科学工業株式会社 | 画像形成装置 |
-
2009
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-
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-
2014
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020170771A1 (ja) * | 2019-02-18 | 2021-12-16 | XELA・Robotics株式会社 | 磁気センシングシステム、検出装置、及び磁気干渉のオフセット方法 |
JP7224684B2 (ja) | 2019-02-18 | 2023-02-20 | XELA・Robotics株式会社 | 磁気センシングシステム、検出装置、及び磁気干渉のオフセット方法 |
US11879792B2 (en) | 2019-02-18 | 2024-01-23 | Xela Robotics Co., Ltd. | Magnetic sensing system, detection device, and magnetic interference offset method |
Also Published As
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