JP2009020057A - 振動検出器 - Google Patents
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Abstract
【課題】同一位置で複数の計測対象を好適に検出することができる振動検出器を提供することにある。
【解決手段】切換部24によりサーボアンプ21による制御がONに切り換えられている場合、電流値検出部22により、フォースコイル2bに流した電流値を検出することに基づきコイルボビン3の加速度を計測するとともに、切換部24によりサーボアンプ21による制御がOFFに切り換えられている場合、誘導起電力検出部23により、発電コイル4に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン3の速度を計測する。
【選択図】図1
【解決手段】切換部24によりサーボアンプ21による制御がONに切り換えられている場合、電流値検出部22により、フォースコイル2bに流した電流値を検出することに基づきコイルボビン3の加速度を計測するとともに、切換部24によりサーボアンプ21による制御がOFFに切り換えられている場合、誘導起電力検出部23により、発電コイル4に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン3の速度を計測する。
【選択図】図1
Description
本発明は、振動検出器に関する。
従来、振動、地震計測を行う検出器は、計測対象(変位、速度、加速度等)に応じて、変位計、速度計、加速度計等が使われている。
特に、地震計では、コイルとマグネットで構成された動電型速度計(特許文献1参照)又はサーボ型加速度計(特許文献2参照)が主に使われている。
特開2003−42833号公報
特開2005−10145号公報
しかしながら、計測対象が速度及び加速度等複数ある場合、振動検出器は、例えば、上記特許文献1記載の速度計及び上記特許文献2記載の加速度計それぞれの専用スペースを必要とするため、計測位置に差(距離)が生じてしまい、厳密には速度及び加速度を同一位置において計測することができない。特に、地震計の場合には、3方向(N-S,E-W,U-D)分の検出器を取り付ける必要があり、同一位置での複数の計測対象の計測を正確に行うことができない。
また、上記特許文献2記載の加速度計により計測された加速度から積分を行うことにより速度を算出することによって、同一位置・同一時刻での複数の計測対象の計測が可能となるが、積分に伴い累積誤差が生じ正確な速度を計測することができないという問題がある。
また、上記特許文献2記載の加速度計により計測された加速度から積分を行うことにより速度を算出することによって、同一位置・同一時刻での複数の計測対象の計測が可能となるが、積分に伴い累積誤差が生じ正確な速度を計測することができないという問題がある。
本発明の課題は、同一位置で複数の計測対象を好適に検出することができる振動検出器を提供することにある。
以上の課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、
本体ケース内に支持バネにより往復移動可能に支持された振子と、
前記振子の中立位置からの変位を、前記本体ケース内に設けられた固定電極と前記振子に設けられた可動電極との間の静電容量変化量により検出する変位検出部と、
前記変位検出部により検出された静電容量変化量に基づいて、前記振子を移動させるフォースコイルに電流を流して前記振子を前記中立位置に復帰させる駆動制御部と、
前記フォースコイルに流した電流値を検出する電流値検出手段と、
前記振子に巻回された発電コイルと、
前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出する誘導起電力検出手段と、
前記駆動制御部のON/OFF切換を行う切換手段と、
を備え、
前記切換手段により前記駆動制御部による制御がONに切り換えられている場合、前記電流値検出手段により前記フォースコイルに流した電流値を検出するとともに、前記切換手段により前記駆動制御部による制御がOFFに切り換えられている場合、前記誘導起電力検出手段により、前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出することを特徴とする。
本体ケース内に支持バネにより往復移動可能に支持された振子と、
前記振子の中立位置からの変位を、前記本体ケース内に設けられた固定電極と前記振子に設けられた可動電極との間の静電容量変化量により検出する変位検出部と、
前記変位検出部により検出された静電容量変化量に基づいて、前記振子を移動させるフォースコイルに電流を流して前記振子を前記中立位置に復帰させる駆動制御部と、
前記フォースコイルに流した電流値を検出する電流値検出手段と、
前記振子に巻回された発電コイルと、
前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出する誘導起電力検出手段と、
前記駆動制御部のON/OFF切換を行う切換手段と、
を備え、
前記切換手段により前記駆動制御部による制御がONに切り換えられている場合、前記電流値検出手段により前記フォースコイルに流した電流値を検出するとともに、前記切換手段により前記駆動制御部による制御がOFFに切り換えられている場合、前記誘導起電力検出手段により、前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出することを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、
請求項1に記載の振動検出器において、
前記切換手段は、所定時間毎に前記駆動制御部のON/OFF切換を行うことを特徴とする。
請求項1に記載の振動検出器において、
前記切換手段は、所定時間毎に前記駆動制御部のON/OFF切換を行うことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、切換手段により駆動制御部による制御がONに切り換えられている場合、電流値検出手段により、フォースコイルに流した電流値を検出することに基づき振子の加速度を計測することができるとともに、切換手段により駆動制御部による制御がOFFに切り換えられている場合、誘導起電力検出手段により、発電コイルに誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づき振子の速度を計測することができる。
従って、駆動制御部のON/OFF切換を行うことにより、一の振動検出器で振子の加速度及び速度を計測することができることとなり、同一位置での複数の計測対象を好適に検出することができる
また、振動検出器の機構を単純化することで、省スペース化を図るとともに、コストの削減を図ることができる。
従って、駆動制御部のON/OFF切換を行うことにより、一の振動検出器で振子の加速度及び速度を計測することができることとなり、同一位置での複数の計測対象を好適に検出することができる
また、振動検出器の機構を単純化することで、省スペース化を図るとともに、コストの削減を図ることができる。
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、切換手段によって、所定時間毎に駆動制御部のON/OFF切換を行うことができる。
従って、所定時間毎に複数の計測対象を同一位置でより好適に検出することができる。
また、特に高周波数による高速切換を行うことにより、あたかも同一位置・同一時刻で複数の計測対象を計測したかのように計測を行うことが可能となる。
従って、所定時間毎に複数の計測対象を同一位置でより好適に検出することができる。
また、特に高周波数による高速切換を行うことにより、あたかも同一位置・同一時刻で複数の計測対象を計測したかのように計測を行うことが可能となる。
以下、図面を参照して、本発明である振動検出器の最良の形態について詳細に説明する。図1は、振動検出器100の要部構成を示す図である。
図1に示すように、振動検出器100は、振動検出部10と、制御部20とを備えている。振動検出部10は、本体ケース1と、駆動部2と、外乱振動によって変位する振子としてのコイルボビン3と、コイルボビン3に巻回された発電コイル4と、コイルボビン3の振動を検出する変位検出部5と、を備え、制御部20は、駆動部2を制御するサーボアンプ21と、電流値検出部22と、誘導起電力検出部23と、切換部24などから構成されている。
駆動部2は、本体ケース1に固着されたマグネット(永久磁石)2aと、コイルボビン3に巻回されたフォースコイル2bと、駆動部2が正常に駆動するか否かをテストするためのテストコイル2cとを備えている。駆動部2は、図1に示すように、マグネット2aの凹部にフォースコイル2bを巻回したコイルボビン3が挿入されるように構成されており、フォースコイル2bに電流を流すことにより、コイルボビン3を移動させる電磁気力を発生させる。
コイルボビン3は、一端が本体ケース1に固定された支持バネ3aにより、図1中において上下動可能に支持されている。
支持バネ3aは、例えば、ダイヤフラムにより構成されている。
支持バネ3aは、例えば、ダイヤフラムにより構成されている。
発電コイル4は、フォースコイル2b及びテストコイル2cと並列にコイルボビン3に巻回されている。
変位検出部5は、コンデンサとして機能するコイルボビン3の上端に取り付けられた可動極板5aと、可動極板5aの上面に対向配置され、本体ケース1に設けられた固定極板5bとを備え、この可動極板5a及び固定極板5b間の電気容量の変化量を計測することによって、コイルボビン3の変位を検出し、検出した変位信号をサーボアンプ21に出力する。
サーボアンプ21は、例えば、図2に示すように、変位検出部5により検出された変位信号を増幅する増幅器21aと、フィードバック制御回路21bなどを備えている。サーボアンプ21は、変位検出部5から出力された変位信号に基づいて、駆動部2と変位検出部5とを整合すべくフォースコイル2bに出力する電流量の制御を行う。
上述の構成において、コイルボビン3に振動が与えられ、コイルボビン3が計測点の零位置である中立位置からずれると、変位検出部5がこのずれ量を検出し、その信号を受けてサーボアンプ21は駆動部2のフォースコイル2bに電流を流すように作動する。
これにより、サーボアンプ21は、駆動制御部として機能する。
上述の構成において、コイルボビン3に振動が与えられ、コイルボビン3が計測点の零位置である中立位置からずれると、変位検出部5がこのずれ量を検出し、その信号を受けてサーボアンプ21は駆動部2のフォースコイル2bに電流を流すように作動する。
これにより、サーボアンプ21は、駆動制御部として機能する。
電流値検出部22は、フォースコイル2bに流れた電流の検出を行う。
なお、この電流は、コイルボビン3のずれと逆方向の力(電磁気力)を発生し、コイルボビン3を中立位置に戻すように作用する。この電磁気力はコイルボビン3にずれを起こした加速度と均衡しているため、この電流値を計測することにより、コイルボビン3に加えられた加速度を検出することができる。
これにより、電流値検出部22は、電流値検出手段として機能する。
なお、この電流は、コイルボビン3のずれと逆方向の力(電磁気力)を発生し、コイルボビン3を中立位置に戻すように作用する。この電磁気力はコイルボビン3にずれを起こした加速度と均衡しているため、この電流値を計測することにより、コイルボビン3に加えられた加速度を検出することができる。
これにより、電流値検出部22は、電流値検出手段として機能する。
誘導起電力検出部23は、例えば、図2に示すように、電圧増幅器23aと、電圧検出回路23bと、コイルボビン3に与えられた振動を抑制するための減衰回路23cなどを備えており、発電コイル4に接続された出力端子(図示省略)を介して、発電コイル4に誘起される誘導起電力が検出されるようになっている。これにより、発電コイル4に誘起される誘導起電力を計測することができる。
これにより、誘導起電力検出部23は、誘導起電力検出手段として機能する。
これにより、誘導起電力検出部23は、誘導起電力検出手段として機能する。
上述の構成において、コイルボビン3に振動が与えられると、コイルボビン3は図1中の上下方向に弾性的に変位する。すると、コイルボビン3に巻回された発電コイル4が磁場の磁力線の方向に対して略垂直な方向に変位する。これにより、発電コイル4を構成する導線中の電荷には、コイルボビン3の速度に応じたローレンツ力が作用する。従って、発電コイル4には、コイルボビン3の動きに応じた誘導起電力が発生する。発電コイル4に誘起される誘導起電力は次の式(1)で表される。
E=B×L×V×sinθ・・・(1)
式(1)において、Eは発電コイル4に誘起される誘導起電力を表し、Bはマグネット2aによって発生される磁場の磁束密度を表し、Lは発電コイル4を構成する導線の長さ即ちコイル長を表し、Vは発電コイル4とマグネット2aとの相対速度を表し、θは発電コイル4が相対変位する方向とマグネット2aによって発生される磁場の磁力線の方向との間の角度を示す。なお、マグネット2aが固着されていて、発電コイル4が変位するので、相対速度Vは、発電コイル4の変位速度と等価である。このため、コイルボビン3に加えられた速度を検出することができる。
式(1)において、Eは発電コイル4に誘起される誘導起電力を表し、Bはマグネット2aによって発生される磁場の磁束密度を表し、Lは発電コイル4を構成する導線の長さ即ちコイル長を表し、Vは発電コイル4とマグネット2aとの相対速度を表し、θは発電コイル4が相対変位する方向とマグネット2aによって発生される磁場の磁力線の方向との間の角度を示す。なお、マグネット2aが固着されていて、発電コイル4が変位するので、相対速度Vは、発電コイル4の変位速度と等価である。このため、コイルボビン3に加えられた速度を検出することができる。
切換部24は、サーボアンプ21によりフォースコイル2bに電流を出力する制御のON/OFF切換を行う。
具体的には、図2に示すように、切換部24であるスイッチSW1及びスイッチSW2が「ON」の状態においては、サーボアンプ21によりフォースコイル2bに電流を出力する制御を行い、スイッチSW1及びスイッチSW2が「OFF」の状態にあるときは、サーボアンプ21によるフォースコイル2bへの電流の出力は行わず、発電コイル4に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン3の速度を計測する制御を行う。
また、スイッチSW1及びスイッチSW2は、所定時間毎にON/OFF切換を行うように構成され、高周波数(例えば、3kHz)による高速切換を行う。
これにより、切換部24は、切換手段として機能する。
具体的には、図2に示すように、切換部24であるスイッチSW1及びスイッチSW2が「ON」の状態においては、サーボアンプ21によりフォースコイル2bに電流を出力する制御を行い、スイッチSW1及びスイッチSW2が「OFF」の状態にあるときは、サーボアンプ21によるフォースコイル2bへの電流の出力は行わず、発電コイル4に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン3の速度を計測する制御を行う。
また、スイッチSW1及びスイッチSW2は、所定時間毎にON/OFF切換を行うように構成され、高周波数(例えば、3kHz)による高速切換を行う。
これにより、切換部24は、切換手段として機能する。
次に、図2を用いて、振動検出器100による加速度及び速度の検出方法について説明する。図2は、フィードバック制御系の動作機構を示すブロック図である。
図2に示すように、切換部24のスイッチSW1及びスイッチSW2が「OFF」の状態において、コイルボビン3に振動が与えられると、コイルボビン3は弾性的に変位し、コイルボビン3に巻回された発電コイル4が磁場の磁力線の方向に対して略垂直な方向に振動する。これにより、発電コイル4を構成する導線中の電荷には、コイルボビン3の速度に応じたローレンツ力が作用し、発電コイル4には、コイルボビン3の動きに応じた誘導起電力が発生する。このとき、発電コイル4により発生された誘導起電力は、電圧増幅器23aにより増幅され、電圧検出回路23bによりかかる誘導起電力を計測することによって、速度を検出する。
一方、切換部24のスイッチSW1及びスイッチSW2が「ON」の状態において、コイルボビン3に振動が与えられると、コイルボビン3は弾性的に変位し、コイルボビン3に設けられた可動極板5aが変位する。これにより、変位検出部5は、変位に応じて可動極板5aと固定極板5b間の静電容量の変化を検出して、この静電容量の変化を電圧に変換し、変位信号としてサーボアンプ21に出力する。すると、サーボアンプ21内のフィードバック制御回路21bがフィードバック信号を生成し、フィードバック信号を駆動制御部に出力する。駆動制御部はフィードバック信号に応じた電流を駆動部2のフォースコイル2bに供給し、コイルボビン3を中立位置に戻す制御を行う。このとき、電流値検出部22によって、フォースコイル2bに供給された電流の値を計測することによって、加速度を検出する。
本発明に係る振動検出器100によれば、切換部24によりサーボアンプ21による制御がONに切り換えられている場合、電流値検出部22により、フォースコイル2bに流した電流値を検出することに基づきコイルボビン3の加速度を計測することができるとともに、切換部24によりサーボアンプ21による制御がOFFに切り換えられている場合、誘導起電力検出部23により、発電コイル4に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン3の速度を計測することができる。
従って、サーボアンプ21のON/OFF切換を行うことにより、一の振動検出器100でコイルボビン3の加速度及び速度を計測することができることとなり、同一位置での複数の計測対象を好適に検出することができる。
また、振動検出器100の機構を単純化することで、省スペース化を図るとともに、コストの削減を図ることができる。
さらに、切換部24によって、所定時間毎にサーボアンプ21のON/OFF切換を行うことができる。
従って、所定時間毎に複数の計測対象を同一位置でより好適に検出することができる。
また、特に高周波数(例えば、3kHz)による高速切換を行うことにより、あたかも同一位置・同一時刻で複数の計測対象を計測したかのように計測を行うことが可能となる。
従って、サーボアンプ21のON/OFF切換を行うことにより、一の振動検出器100でコイルボビン3の加速度及び速度を計測することができることとなり、同一位置での複数の計測対象を好適に検出することができる。
また、振動検出器100の機構を単純化することで、省スペース化を図るとともに、コストの削減を図ることができる。
さらに、切換部24によって、所定時間毎にサーボアンプ21のON/OFF切換を行うことができる。
従って、所定時間毎に複数の計測対象を同一位置でより好適に検出することができる。
また、特に高周波数(例えば、3kHz)による高速切換を行うことにより、あたかも同一位置・同一時刻で複数の計測対象を計測したかのように計測を行うことが可能となる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、切換部24は、スイッチSW1及びスイッチSW2を切り換えるタイミングをユーザ所望のタイミングに設定することができる設計であっても良い。その他、本発明は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で自由に変更、改良が可能である。
100 振動検出器
10 振動検出部
1 本体ケース
2 駆動部
2a マグネット
2b フォースコイル
3 コイルボビン(振子)
3a 支持バネ
4 発電コイル
5 変位検出部
20 制御部
21 サーボアンプ(駆動制御部)
22 電流値検出部(電流値検出手段)
23 誘導起電力検出部(誘導起電力検出手段)
24 切換部(切換手段)
10 振動検出部
1 本体ケース
2 駆動部
2a マグネット
2b フォースコイル
3 コイルボビン(振子)
3a 支持バネ
4 発電コイル
5 変位検出部
20 制御部
21 サーボアンプ(駆動制御部)
22 電流値検出部(電流値検出手段)
23 誘導起電力検出部(誘導起電力検出手段)
24 切換部(切換手段)
Claims (2)
- 本体ケース内に支持バネにより往復移動可能に支持された振子と、
前記振子の中立位置からの変位を、前記本体ケース内に設けられた固定電極と前記振子に設けられた可動電極との間の静電容量変化量により検出する変位検出部と、
前記変位検出部により検出された静電容量変化量に基づいて、前記振子を移動させるフォースコイルに電流を流して前記振子を前記中立位置に復帰させる駆動制御部と、
前記フォースコイルに流した電流値を検出する電流値検出手段と、
前記振子に巻回された発電コイルと、
前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出する誘導起電力検出手段と、
前記駆動制御部のON/OFF切換を行う切換手段と、
を備え、
前記切換手段により前記駆動制御部による制御がONに切り換えられている場合、前記電流値検出手段により前記フォースコイルに流した電流値を検出するとともに、前記切換手段により前記駆動制御部による制御がOFFに切り換えられている場合、前記誘導起電力検出手段により、前記発電コイルに誘起された誘導起電力を検出することを特徴とする振動検出器。 - 前記切換手段は、所定時間毎に前記駆動制御部のON/OFF切換を行うことを特徴とする請求項1に記載の振動検出器。
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JP (1) | JP2009020057A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010271324A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Schlumberger Holdings Ltd | 地震信号検出のための方法及びシステム |
JP2011012995A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsutoyo Corp | サーボ型振動検出器 |
JP2011085420A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Tokyo Sokushin:Kk | 光学式振動検出システム |
CN110501747A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-11-26 | 中兵勘察设计研究院有限公司 | 一种石质文物病害检测装置及*** |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63295967A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Rion Co Ltd | サーボ型振動計 |
JPH06194383A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | サーボ形振動センサ |
JPH06235656A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Akashi:Kk | 地震計 |
JP2002350459A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Akashi Corp | 振動センサ、及び振動センサの製造方法 |
JP2003004522A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Akashi Corp | サーボ型振動検出器 |
JP2003042833A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Akashi Corp | 動電型検出器 |
JP2003302282A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Akashi Corp | 振動計 |
-
2007
- 2007-07-13 JP JP2007184553A patent/JP2009020057A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63295967A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Rion Co Ltd | サーボ型振動計 |
JPH06194383A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | サーボ形振動センサ |
JPH06235656A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Akashi:Kk | 地震計 |
JP2002350459A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Akashi Corp | 振動センサ、及び振動センサの製造方法 |
JP2003004522A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Akashi Corp | サーボ型振動検出器 |
JP2003042833A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Akashi Corp | 動電型検出器 |
JP2003302282A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Akashi Corp | 振動計 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010271324A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Schlumberger Holdings Ltd | 地震信号検出のための方法及びシステム |
JP2011012995A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsutoyo Corp | サーボ型振動検出器 |
US8220336B2 (en) | 2009-06-30 | 2012-07-17 | Mitutoyo Corporation | Servo-type vibration detector |
JP2011085420A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Tokyo Sokushin:Kk | 光学式振動検出システム |
CN110501747A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-11-26 | 中兵勘察设计研究院有限公司 | 一种石质文物病害检测装置及*** |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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