JP5488831B2 - リニアモータ及びステージ装置 - Google Patents
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Description
上記実施形態においては、界磁2において第2磁石列7を第1磁石列6のY軸方向一方側に設けていたが、これに限られず、第2磁石列7を第1磁石列6のY軸方向他方側に設けてもよい。
すなわち、上記実施形態のリニアモータ1や上記(1)の変形例のリニアモータ1をステージ装置における直動機構の駆動源として用いてもよい。以下、そのようなステージ装置の一例を説明する。ステージ装置は、固定台上を移動可能なリニアモータ、このリニアモータの上部に配設されたステージ、上記固定台側及びリニアモータ側にそれぞれ設けられたスライダ及びガイドレールからなるリニアガイド等から構成されている。このステージ装置のリニアモータは、上記実施形態のリニアモータ1、又は、上記(1)の変形例のリニアモータ1から構成されている。このように構成されたステージ装置においては、リニアモータの駆動によってステージをX軸方向及びY軸方向に駆動することができる。すなわち、リニアモータは、ステージ装置における直動機構の駆動源として用いられている。前述したような第1磁石列6によるX軸駆動用の磁界と第2磁石列7によるY軸駆動用の磁界との相互干渉を抑制することができるリニアモータを直動機構の駆動源として用いることにより、信頼性の高いステージ装置を実現できる。
以上においては、界磁2を固定子とし、電機子3を可動子として、可動子である電機子3をX軸方向及びY軸方向に移動可能としていたが、これに限られない。すなわち、反対に、界磁を可動子とし、電機子を固定子として、可動子である界磁をX軸方向及びY軸方向に移動可能としてもよい。この場合も上記実施形態等と同様の効果を得る。
2 界磁
3 電機子
4 界磁ヨーク
5 ヨークベース
6 第1磁石列
6a X軸永久磁石(第1磁石)
7 第2磁石列
7a Y軸永久磁石(第2磁石)
11a AC3相コイル(第1電機子コイル)
12 単相コイル(第2電機子コイル)
12a 第1コイル辺部(第2電機子におけるY軸方向一方側のコイル辺部)
Claims (7)
- 界磁と電機子を備え、前記界磁と前記電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記可動子をX軸方向及びこれに直交するY軸方向に移動可能なリニアモータにおいて、
前記界磁は、
対向配置された2つの平板状の界磁ヨークと、
前記界磁ヨークの前記Y軸方向一方側端部に設けられたヨークベースと、
前記界磁ヨークの内側に設けられ、対向配置された極性の異なる一対の第1磁石が前記X軸方向に沿って複数列配置された第1磁石列と、
前記界磁ヨークの内側における前記第1磁石列の前記Y軸方向一方側又は他方側に設けられ、対向配置された極性の異なる一対の第2磁石が前記Y軸方向に沿って一列配置され、前記ヨークベースを介して前記Y軸駆動用の磁界の閉ループを形成する第2磁石列と、を有し、
前記電機子は、
前記第1磁石列と対向する位置に配置された第1電機子コイルと、
前記第2磁石列と対向する位置に配置された第2電機子コイルと、を有する
ことを特徴とするリニアモータ。 - 前記第2磁石列は、
前記第1磁石列の前記Y軸方向一方側に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。 - 前記第2磁石列は、
前記第1磁石列の前記Y軸方向他方側に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。 - 前記第2磁石列は、
前記電機子の前記第2電機子コイルにおける前記Y軸方向一方側のコイル辺部に対向する位置に設けられている
ことを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。 - 前記第2磁石列は、
前記第2電機子コイルの前記コイル辺部よりも前記Y軸方向に長く形成された前記第2磁石で構成されており、
前記第2磁石の前記Y軸方向一方側端部と前記コイル辺部の前記Y軸方向一方側端部とのY軸方向における間隔が、前記第2磁石の前記Y軸方向他方側端部と前記コイル辺部の前記Y軸方向他方側端部とのY軸方向における間隔よりも大きくなるように、設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載のリニアモータ。 - 前記ヨークベースは、
磁性材料で構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のリニアモータ。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のリニアモータを直動機構の駆動源として用いた
ことを特徴とするステージ装置。
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