JP5481634B2 - 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム - Google Patents

慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム Download PDF

Info

Publication number
JP5481634B2
JP5481634B2 JP2009237085A JP2009237085A JP5481634B2 JP 5481634 B2 JP5481634 B2 JP 5481634B2 JP 2009237085 A JP2009237085 A JP 2009237085A JP 2009237085 A JP2009237085 A JP 2009237085A JP 5481634 B2 JP5481634 B2 JP 5481634B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
sensor
substrate
axis
angular velocity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009237085A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011085441A (ja
Inventor
和弘 太田
雅紀 谷内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamagawa Seiki Co Ltd
Original Assignee
Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tamagawa Seiki Co Ltd filed Critical Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority to JP2009237085A priority Critical patent/JP5481634B2/ja
Publication of JP2011085441A publication Critical patent/JP2011085441A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5481634B2 publication Critical patent/JP5481634B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Description

本発明は、慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステムに関するものである。
加速度センサや角速度センサに代表される慣性センサは、物体の回転速度や傾斜角を測定するためのセンサであり、カーナビゲーション装置や車両,航空機および船舶のように3次元で運動する移動体、ロボットの姿勢制御、管路計測、カメラの手ぶれ補正等に広く用いられている。
例えば、ロボット等の移動体の姿勢制御に加速度センサや角速度センサが用いられている。直交する3軸をX軸,Y軸,Z軸とすると、各軸方向の加速度を3個の加速度センサで検出し、各軸回りの角速度を3個の角速度センサで検出する。そして、軸回りの角度、あるいは姿勢角は、角速度センサの出力を時間積分して得られ、ピッチ角、ロール角、ヨー角が算出される。
近年、これらの慣性センサは、低コスト化が進み用途が拡大し、市場の拡大とともに多軸化やピッチ角、ロール角、ヨー角を算出するセンサシステムの要求が増えてきている。しかし、このセンサシステムを実現する場合、これらのセンサは1軸当たり1枚の基板を必要とするため、1枚の基板に3軸分のセンサを集約することは困難であった(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−300163号公報
センサシステムにおいて、1枚の基板に同一構造の慣性センサをセンサシステムの各検出軸に対応して配置するためには、個々の慣性センサの検出軸を基板面と平行になるように実装したり(横に寝かす,横置きする)、検出軸を基板面と直交するように実装する(立てる,縦置きする)必要がある。また、カーナビゲーション装置においては、従来の据え置き(基板を横置きする)タイプとPND(Portable Navigation Device:ポータブルナビ)のような薄型(基板を縦置きする)タイプがあり、双方のタイプの基板および部品を共通化するための検討が行われている。この場合、上記と同様に、同一構造の慣性センサを基板面と平行または直交するよう実装する必要がある。
このような場合、慣性センサの基板上の投影面積(投影形状,端子配置)が異なると、基板上の配線パターンを慣性センサの実装形態によらず同一とすることができないという問題が生ずる。
上記問題を背景として、本発明の課題は、慣性センサの実装形態や実装基板の設置方向によらず、同一構造の慣性センサが使用できるよう、基板上の配線パターンを共通化とすることができる慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステムを提供することにある。
課題を解決するための手段および発明の効果
上記課題を解決するための慣性センサを収容するモールド構造(以下、「モールド構造」と略称することもある)は、
センサ素子とその周辺回路とが収納されて所定方向の慣性力を検出する慣性センサがパッケージとして構成され、パッケージは、底面に電極を備え、樹脂製のモールドに収容された状態で、モールドが基板に実装されており、
モールドは、パッケージの底面が基板の表面と対向するように、該パッケージを収容する第1モールドと、パッケージの側面が基板の表面と対向するように、該パッケージを収容する第2モールドと、が選択的に用いられ
第1モールドおよび第2モールドは、一端に電極と接続する接続部を形成し、他の一端に基板と接続する端子を形成するリードフレームを含み、
端子は、第1モールドおよび第2モールドのそれぞれの、基板の表面との対向面として定められた一面に配置され、
第1モールドおよび第2モールドのそれぞれの端子の配置が、これら2つのモールドにおいて同一形状となることを特徴とする。
上記構成によって、慣性センサの実装形態や実装基板の設置方向によらず、同一構造の慣性センサが使用できるよう、基板上の配線パターンを共通化とすることができる。
また、本発明のモールド構造における第1モールドおよび第2モールドは、これら2つのモールドを形成する樹脂がリードフレームを包みこむようにインサート成型される。
上記構成によって、リードフレームが必要以上に露出して他の部品と接触することを防止できる。また、インサート成型を行うことにより、複数の工程で行っていたものを1つにすることで工程の短縮化が見込まれ、製品の精度の向上、コスト削減にもつながる。
また、本発明のモールド構造における第2モールドは、慣性センサを保持するための保持部を形成する。
上記構成によって、慣性センサを縦置き状態としても安定性を確保でき、外部の振動の影響を受けずに精度よく慣性力を検出することができる。
また、上記課題を解決するためのセンサシステムは、
上述の慣性センサを収容するモールド構造を用いたセンサシステムであって、
同一の基板上には、慣性センサが複数実装され、その複数の慣性センサのうちの少なくとも1つは第2モールドに収容されている。
従来は、同一の慣性センサであっても、横置き形状で基板に実装する場合と、縦置き形状で基板に実装する場合とでは、別々の基板に実装する必要があったが、上記構成によって、慣性センサの実装形態や実装基板の設置方向によらず、同一構造の慣性センサが使用でき、同一の基板に実装することが可能となる。
また、本発明のセンサシステムにおける慣性センサは、振動型角速度センサである。
振動型角速度センサは、棒やリングの振動子を用い、振動子に加わるコリオリの力を検出することにより角速度を得る方式である。振動型角速度センサの代表的なものとして、振動子が音叉形状となっている音叉型角速度センサがある。振動型角速度センサは、回転型ジャイロのようなモーターやベアリングなどの複数の部品を必要としないため、非常に小型で安価な角速度センサ(すなわち慣性センサ)が実現されており、カメラの手ぶれ検出、カーナビゲーション装置などに用いられている。最近ではMEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)技術を用いて、超小型の角速度センサが開発・量産されている。上記構成によって、実装形態によらず複数の角速度センサを同一の基板に実装できるとともに、角速度センサの小型化により、センサシステムも小型化,軽量化でき、センサシステムの用途が広がり、設置・搭載の自由度も高くなる。
また、本発明のセンサシステムにおける振動型角速度センサは、基板の表面の法線方向をZ軸とするXYZ三次元直交座標空間において、角速度の検出軸方向がX軸,Y軸,Z軸と一致するように同一の基板上に実装されている。
上記構成によって、いわゆる3軸角速度計において、本発明の構成を適用することで、3つの角速度センサを同一の基板に実装することができる。
また、本発明のセンサシステムにおける慣性センサは、加速度センサである。
上記構成によって、実装形態(横置き,縦置き)によらず複数の加速度センサを同一の基板に実装できるとともに、センサシステムも小型化,軽量化でき、センサシステムの用途が広がり、設置・搭載の自由度も高くなる。
また、本発明のセンサシステムにおける加速度センサは、基板の表面の法線方向をZ軸とするXYZ三次元直交座標空間において、加速度の検出軸方向がX軸,Y軸,Z軸と一致するように同一の基板上に実装されている。
上記構成によって、いわゆる3軸加速度計において、本発明の構成を適用することで、3つの加速度センサを同一の基板に実装することができる。
また、本発明のセンサシステムにおける基板は表面実装基板であり、リードフレームの端子は、該基板の表面に実装可能に構成されている。
基板の小型化,集積化、また部品実装の自動化に伴い、抵抗,コンデンサ,トランジスタ,IC等の殆どの部品が表面実装対応となっている。上記構成によって、慣性センサのパッケージをモールドに収容した状態で、基板に自動実装することができ、基板実装時間の短縮、基板製造コストの低減につながる。
本発明のセンサシステムの模式図。 第1モールドおよびリードフレームの構成を示す図。 第1モールドに角速度センサを収容した状態を示す図。 第2モールドおよびリードフレームの構成を示す図。 第2モールドに角速度センサを収容した状態を示す図。 基板上の配線パターンを示す図。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1に、センサシステム1の模式図(斜視図)を示す。なお、センサシステム1は、一般的に図示しないケースに収納されるが、図1では説明のためにケースの上部を取り除き、ケースの底板6のみを残した状態を示している。
センサシステム1は、周知のプリント基板(以下、「基板」と略称する)5を備え、基板5の所定位置(図1の例では、概ね四隅)の表面および裏面に、例えばシリコンを原料とする衝撃吸収ゲル素材であるアルファゲル等の緩衝材2,3が取り付けられている。これら緩衝材2,3は、ケースの底板6あるいは上板(図示せず)に所定の押圧力を加えられて接触しており、基板5に実装される、複数の慣性センサである角速度センサ11〜13および加速度センサ21〜23に対する衝撃や振動の影響を低減する効果を有する。
また、基板5は、その上に実装される角速度センサ11〜13および加速度センサ21〜23の取付基準面を提供している。また、基板5には、各センサが出力する信号を処理するための、周知のA/D変換器,増幅器等を含む信号処理回路、他のユニットとの間で信号や情報の遣り取りを行う入出力回路、センサシステム1の全体制御を行う制御回路等が実装されているが、図1においては、これらの回路は省略してある。
角速度センサ11〜13は、全て同一構造のもので、センサ素子とその周辺回路とが収納された例えばセラミック製のパッケージとして構成されている(図3参照)。また、パッケージは、基板5の表面に直接実装する、いわゆる表面実装用部品として構成される。角速度センサ11〜13は、パッケージの底面と平行な方向に角速度の検出軸方向が定められている。
角速度センサ11〜13として、例えば、振動子が振動しながら回転したときに発生するコリオリ力を利用して回転角速度を検出する振動型角速度センサを用いる。より具体的には、振動子(センサ素子)として音叉型振動子を用いた音叉型角速度センサを用いる。無論、機械式,光学式,流体式等の他の方式を用いた角速度センサを使用してもよい。
角速度センサ11〜13は、基板5の表面に平行な方向をX軸,物体(すなわちセンサシステム1)の主たる移動方向をY軸,基板5の表面の法線方向をZ軸とするXYZ三次元直交座標空間において、角速度の検出軸方向がX軸,Y軸,Z軸と一致するように基板5に実装されている。図1の例では、角速度センサ11の検出軸がX軸と一致してピッチ(Pitch)を検出し、角速度センサ12の検出軸がY軸と一致してロール(Roll)を検出し、角速度センサ13の検出軸がZ軸と一致してヨー(Yaw)を検出している。
角速度センサ11の底面には、電極11a〜11d(図3参照)が備えられている。これら電極は、例えば凸形状の面電極として構成される。また、電極の形状に制約はなく、半球状,ピン形状等でもよい。角速度センサ12,13についても同様である。
加速度センサ21〜23は、全て同一の構造のもので、センサ素子とその周辺回路とが収納された例えばセラミック製のパッケージとして構成され、上述のX軸,Y軸,Z軸のそれぞれの方向の加速度を検出するもので、それぞれの加速度センサの加速度の検出方向が、X軸,Y軸,Z軸と一致するように基板5に実装されている。加速度センサ21〜23は、例えば、慣性力を受けると電荷を生じる圧電素子を用いた周知の圧電型加速度センサを使用する。また、加速度センサ21〜23は、パッケージの底面と平行な方向に加速度の方向が定められている。
また、加速度センサ21〜23のパッケージは、基板5の表面に直接実装する、いわゆる表面実装用部品として構成される。加速度センサ21〜23の底面には、角速度センサ11〜13と同様の電極(図示せず)が備えられている。これら電極は、例えば凸形状の面電極として構成される。また、電極の形状に制約はなく、半球状,ピン形状等でもよい。
以降、本発明の慣性センサを収容するモールド構造を、角速度センサ11〜13に適用した例について説明する。図1の例では、加速度センサ21〜23は全て横置き形状であるが、そのうちの少なくとも1個を縦置き形状とする場合にも、本発明のモールド構造を適用できる。
図2,図3を用いて、角速度センサ11の底面が基板5の表面と対向するように(いわゆる横置き)、パッケージを収容する第1モールドと、その第1モールドに含まれるリードフレームの構成について説明する。図2に、第1モールド31とリードフレームの構成(上面図,端子33,34から見た側面図,底面図)を示す。また、図3に、第1モールド31に角速度センサ11を収容したときの状態(上面図,端子33,34から見た側面図,底面図)を示す。なお、角速度センサ12を収容するモールドについても同様の構成をとる。
図2のように、樹脂製の第1モールド31は、4本のリードフレーム36〜39を含んでインサート成型されている。各リードフレーム36〜39の一端は、角速度センサ11の底面に備えられた電極11a〜11d(図3参照)と接続するための接続部36a〜39aを形成している。
また、各リードフレーム36〜39の他の一端は、基板5に形成された配線パターン(図6参照)と接続するための端子32〜35を形成し、第1モールド31の底面に配置されている。ここで、端子32は角速度センサ11の内部のどこにも接続されていない端子(NC)、端子33は基板5上の電源供給線に接続される端子(Vcc)、端子34はセンサ基板5上の出力信号線に接続される端子(SOUT)、端子35は基板5上のグランド線に接続される端子(GND)となっている。
第1モールド31には、切り欠き部36b,37b,39bが設けられ、これら切り欠き部において、各リードフレーム36〜39が第1モールド31から露出し、角速度センサ11に向かって(すなわち上方向に)延び、第1モールド31の上面とほぼ同一平面に、例えば面形状のような、電極11a〜11dの形状に合わせた形状をとる接続部36a〜39aを形成している。なお、接続部の形状に特に制約はなく、角速度センサ11に向かって例えば半球状の凸形状としてもよく、また、図2の37a1のように、リードフレーム(37)の先端部を角速度センサ11に向かって、リードフレーム本体部と所定の角度θを有するように折り返して、所定の付勢力を以って角速度センサ11に接するようにしてもよい(第1モールドの他の接続部および第2モールドの接続部も同様)。
図3のように、角速度センサ11は、そのパッケージの底面が第1モールド31の上面に接するように載置され、第1モールド31の各リードフレーム36〜39の接続部36a〜39aと、角速度センサ11の電極11a〜11dとが、半田付け,溶接,銀ロウ付け等により接続される。図3のように、角速度センサ11の検出軸は基板5の表面と平行となり、図1のX軸方向と一致するように実装される。
また、角速度センサ11の第1モールド31への取り付け時の安定性を向上するために、第1モールド31の周縁部の少なくとも一部を上方に壁状に突出させ、角速度センサ11を保持する保持部31a(図3参照,一部のみ表記)を設けてもよい。
図4,図5を用いて、角速度センサ13の側面が基板5の表面と対向するように(いわゆる縦置き)、パッケージを収容する第2モールドと、その第2モールドに含まれるリードフレームの構成について説明する。図4に、第2モールド41とリードフレームの構成(正面図,端子44,45から見た側面図,底面図)を示す。また、図5に、第2モールド41に角速度センサ13を収容したときの状態(正面図,端子44,45から見た側面図,底面図)を示す。
図4のように、樹脂製の第2モールド41は、4本のリードフレーム46〜49を含んでインサート成型されている。各リードフレーム46〜49の一端は、角速度センサ11と同様に、角速度センサ13の底面に備えられた電極13a〜13d(図5参照,13dは図示略)と接続するための接続部46a〜49aを形成している。
また、各リードフレーム46〜49の他の一端は、基板5に形成された配線パターン(図6参照)と接続するための端子42〜45を形成し、第2モールド41の底面に配置されている。ここで、第1モールド31と同様に、端子42は角速度センサ13の内部のどこにも接続されていない端子(NC)、端子43は基板5上の電源供給線に接続される端子(Vcc)、端子44は基板5上のセンサ出力信号線に接続される端子(SOUT)、端子45は基板5上のグランド線に接続される端子(GND)となっている。
第2モールド41には、切り欠き部46b,47b,49bが設けられ、これら切り欠き部において、各リードフレーム46〜49が第2モールド41から露出し、角速度センサ13の各電極に向かって延び、第2モールド41の角速度センサ13との対向面とほぼ同一平面に、例えば面形状のような、電極13a〜13dの形状に合わせた形状をとる接続部46a〜49aを形成している。
図5のように、角速度センサ13は、そのパッケージの側面が第2モールド41の基部41cに接するように載置され、第2モールド41の各リードフレーム46〜49の接続部46a〜49aと、角速度センサ13の電極13a〜13dとが、半田付け,溶接,銀ロウ付け等により接続される。図5のように、角速度センサ13の検出軸は基板5の表面の法線方向と一致しており、図1のZ軸方向と一致するように実装される。
また、第2モールド41は、角速度センサ13を縦置き状態としたときに、そのパッケージの上方に位置する側面に接してパッケージを保持する上面保持部41aと、パッケージの側方に位置する側面に接してパッケージを保持する側面保持部41bとを備えている。これら保持部(41a,41b)により、縦置き状態となる角速度センサ13の安定性が増し、外部からの振動等が及ぼす影響を最小限とすることができる。
図6に、第1モールド31および第2モールド41を実装するために、基板5上に形成された配線パターンを示す。図5の例では、基板5はいわゆる面実装基板として構成されている。第1モールド31の端子32はランド52(NC)に、端子33はランド53(Vcc)に、端子34はランド54(SOUT)に、端子35はランド55(GND)に、それぞれ接続される。また、第2モールド41の端子42はランド52に、端子43はランド53に、端子44はランド54に、端子45はランド55に、それぞれ接続される。このように、第1モールド31および第2モールド41とにおいて、各端子の寸法を各ランド52〜55の寸法(L1×L2)に合わせ、各端子の間の距離を基板5上の各ランド間の距離L3,L4と同一とすれば、2つのモールドの配線パターンを同一とすることができる。
上述のように、第1モールド31と第2モールド41とで、配線パターンを同一とすることにより、慣性センサの配置の自由度を高くすることができる。例えば、角速度センサ11〜13を基板5上に実装する場合、本センサシステム1の格納場所の高さの制約により、基板5上の角速度センサ13の実装箇所で、角速度センサ13を縦置きにするための高さを確保できないとき、他の2個の角速度センサ(11,12)の実装箇所のいずれかで縦置きにするための高さを確保できれば、その実装箇所の角速度センサを縦置きとし、角速度センサ13を横置きとすることで、ケースの形状によらず同じ基板を用いることができ、センサシステムで基板を共通化でき、製造コストを低減できる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、これらはあくまで例示にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づく種々の変更が可能である。
1 センサシステム
2,3 緩衝材
5 プリント基板(基板)
11〜13 角速度センサ(慣性センサ)
11a〜11d 電極
13a〜13d 電極
21〜23 加速度センサ(慣性センサ)
31 第1モールド
32〜35 端子
36〜39 リードフレーム
36a〜39a 接続部
41 第2モールド
41a 上面保持部(保持部)
41b 側面保持部(保持部)
42〜45 端子
46〜49 リードフレーム
46a〜49a 接続部
52〜55 ランド

Claims (9)

  1. センサ素子とその周辺回路とが収納されて所定方向の慣性力を検出する慣性センサがパッケージとして構成され、
    前記パッケージは、底面に電極を備え、樹脂製のモールドに収容された状態で、前記モールドが基板に実装されており、
    前記モールドは、
    前記パッケージの底面が前記基板の表面と対向するように、該パッケージを収容する第1モールドと、
    前記パッケージの側面が前記基板の表面と対向するように、該パッケージを収容する第2モールドと、
    が選択的に用いられ
    前記第1モールドおよび前記第2モールドは、一端に前記電極と接続する接続部を形成し、他の一端に前記基板と接続する端子を形成するリードフレームを含み、
    前記端子は、前記第1モールドおよび前記第2モールドのそれぞれの、前記基板の表面との対向面として定められた一つの面に配置され、
    前記第1モールドおよび前記第2モールドのそれぞれの前記端子の配置が、これら2つのモールドにおいて同一形状となることを特徴とする慣性センサを収容するモールド構造。
  2. 前記第1モールドおよび前記第2モールドは、これら2つのモールドを形成する樹脂が前記リードフレームを包みこむようにインサート成型される請求項1に記載の慣性センサを収容するモールド構造。
  3. 前記第2モールドは、前記慣性センサを保持するための保持部を形成する請求項1または請求項2に記載の慣性センサを収容するモールド構造。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の慣性センサを収容するモールド構造を用いたセンサシステムであって、
    同一の前記基板上には、前記慣性センサが複数実装され、その複数の慣性センサのうちの少なくとも1つは前記第2モールドに収容されているセンサシステム。
  5. 前記慣性センサは、振動型角速度センサである請求項4に記載のセンサシステム。
  6. 前記振動型角速度センサは、前記基板の表面の法線方向をZ軸とするXYZ三次元直交座標空間において、角速度の検出軸方向がX軸,Y軸,Z軸と一致するように同一の前記基板上に実装されている請求項5に記載のセンサシステム。
  7. 前記慣性センサは、加速度センサである請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載のセンサシステム。
  8. 前記加速度センサは、前記基板の表面の法線方向をZ軸とするXYZ三次元直交座標空間において、加速度の検出軸方向がX軸,Y軸,Z軸と一致するように同一の前記基板上に実装されている請求項7に記載のセンサシステム。
  9. 前記基板は表面実装基板であり、前記リードフレームの端子は、該基板の表面に実装可能に構成されている請求項4ないし請求項8のいずれか1項に記載のセンサシステム。
JP2009237085A 2009-10-14 2009-10-14 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム Active JP5481634B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009237085A JP5481634B2 (ja) 2009-10-14 2009-10-14 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009237085A JP5481634B2 (ja) 2009-10-14 2009-10-14 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011085441A JP2011085441A (ja) 2011-04-28
JP5481634B2 true JP5481634B2 (ja) 2014-04-23

Family

ID=44078495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009237085A Active JP5481634B2 (ja) 2009-10-14 2009-10-14 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5481634B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104097202A (zh) * 2013-04-10 2014-10-15 精工爱普生株式会社 机械手、机械手控制装置以及机械手***

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5583985B2 (ja) * 2010-02-19 2014-09-03 住友電気工業株式会社 金属積層構造体
JP6155780B2 (ja) * 2013-04-10 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP6354122B2 (ja) 2013-06-05 2018-07-11 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6331535B2 (ja) * 2014-03-18 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP2021067624A (ja) 2019-10-28 2021-04-30 セイコーエプソン株式会社 慣性計測装置、電子機器及び移動体
CN112880667B (zh) 2019-11-29 2023-12-08 精工爱普生株式会社 传感器单元、电子设备以及移动体
JP2022050915A (ja) 2020-09-18 2022-03-31 セイコーエプソン株式会社 慣性計測装置
JP2022111603A (ja) 2021-01-20 2022-08-01 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0815302A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Taiyo Yuden Co Ltd 加速度センサー
JPH11118821A (ja) * 1997-10-16 1999-04-30 Miyota Kk 加速度センサ体保持ユニット
JP2006078250A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Seiko Epson Corp 圧電装置及び電子機器
JP2008256570A (ja) * 2007-04-05 2008-10-23 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2009109472A (ja) * 2007-10-10 2009-05-21 Epson Toyocom Corp 電子デバイス及び電子モジュール並びにこれらの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104097202A (zh) * 2013-04-10 2014-10-15 精工爱普生株式会社 机械手、机械手控制装置以及机械手***
CN104097202B (zh) * 2013-04-10 2017-08-25 精工爱普生株式会社 机械手、机械手控制装置以及机械手***

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011085441A (ja) 2011-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5481634B2 (ja) 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム
JP4550500B2 (ja) 多軸センサを有する力センサ装置における応力検出方法及び、この方法を用いる力センサ装置。
EP2269000B1 (en) Inertial measurement unit
US20100071467A1 (en) Integrated multiaxis motion sensor
US20220404389A1 (en) Inertial sensor and inertial measurement unit
JP7092229B2 (ja) 慣性計測装置、移動体測位装置、システム、及び移動体
US10900985B2 (en) Physical quantity sensor, inertia measurement device, vehicle positioning device, electronic apparatus, and vehicle
EP4220191A1 (en) Accelerometer, inertial measurement unit (imu) and electronic device
JP2023042084A (ja) 慣性センサーモジュール
JP2023042129A (ja) 慣性センサーモジュール
JP2016023931A (ja) センサーユニット、電子機器、および移動体
JP6136402B2 (ja) センサーユニット、電子機器、および移動体
US11282808B2 (en) Inertial sensor, electronic instrument, vehicle, and method for manufacturing inertial sensor
US11320451B2 (en) Acceleration sensor, electronic device, and vehicle
KR20150141418A (ko) 금속의 허메틱 실을 갖는 관성센서모듈 및 그를 사용한 다축센서
JP2021032801A (ja) 慣性センサーユニット、電子機器、及び移動体
US11333500B2 (en) Inertial measurement apparatus, electronic instrument, and moving object
CN114152247A (zh) 一种小体积高精度mems惯性测量单元
JP2022044165A (ja) 慣性センサー及び慣性計測装置
US20240147623A1 (en) Electronic device
WO2021220574A1 (ja) センサモジュール
WO2022097439A1 (ja) 多軸慣性力センサ
US20240240947A1 (en) Inertial sensor and intertial measurement unit
US20240003936A1 (en) Physical Quantity Sensor And Inertial Measurement Unit
US20230266359A1 (en) Physical Quantity Sensor And Inertial Measurement Unit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120723

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20121018

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130617

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130619

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130806

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131018

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131220

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140113

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5481634

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250