JP5474068B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
「MOS」という用語は、古くは金属/酸化物/半導体の積層構造に用いられており、Metal-Oxide-Semiconductorの頭文字を採ったものとされている。しかしながら特にMOS構造を有する電界効果トランジスタ(以下、単に「MOSトランジスタ」と称す)においては、近年の集積化や製造プロセスの改善などの観点からゲート絶縁膜やゲート電極の材料が改善されている。
<装置構成>
図1は、本発明の実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置の製造方法によって製造されるMOSFET100の断面構造を示す図である。なお、本実施の形態においては、第1導電型をn型、第2導電型をp型として説明する。
次に、実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置の製造方法について、MOSFET100の製造方法を例に採って、図3〜図11を用いて説明する。
以上説明した実施の形態に係る炭化珪素半導体装置の製造方法においては、第1のイオン注入マスク4の存在により、第1のイオン注入領域の外縁境界と第2のイオン注入領域の外縁境界が決定される。チャネル領域は第1のイオン注入領域の外縁境界と第2のイオン注入領域の外縁境界で挟まれた領域となるため、チャネル寸法は第1のイオン注入マスク4のパターン寸法で決定される。
以上説明した実施の形態ではチャネル領域に対応した第1のイオン注入マスク4をレジストパターンとして形成したが、実施の形態の変形例として、レジストの開口パターンから第1のイオン注入マスクを形成する方法について、図12〜図15を用いて説明する。
Claims (6)
- 炭化珪素基板の主面上に形成された第1導電型の炭化珪素ドリフト層と、前記炭化珪素ドリフト層の上層部に形成された第2導電型のベース領域と、前記ベース領域の表面内に設けられた第1導電型のソース領域と、前記ソース領域、前記ベース領域および前記炭化珪素ドリフト層上方に、ゲート絶縁膜を間に介して形成されたゲート電極と、を有し、前記ソース領域の外縁は、前記ベース領域の外縁よりも内側にあり、前記ソース領域の外縁よりも外側の前記ベース領域であって前記ゲート電極直下に対応する領域がチャネル領域に相当する炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
(a)前記炭化珪素ドリフト層上にチャネル領域に対応する領域がマスク領域となり、前記ソース領域に対応する領域が第1の開口部となった第1のイオン注入マスクと、前記第1のイオン注入マスクの外縁に接して設けられ、ベース領域を形成するための第2のイオン注入マスクとをそれぞれフォトリソグラフィで形成することで、第3のイオン注入マスクを構成する工程と、
(b)前記第3のイオン注入マスクを用いて前記第1の開口部から第1導電型の不純物をイオンビームにより注入して、前記炭化珪素ドリフト層の上層部に前記ソース領域を形成する工程と、
(c)前記ソース領域の形成後、前記第1のイオン注入マスクを除去する工程と、
(d)前記第1のイオン注入マスクが除去された後の前記第2のイオン注入マスクに形成される第2の開口部から、第2導電型の不純物をイオンビームにより注入して、前記炭化珪素ドリフト層の上層部に前記ソース領域よりも深い前記ベース領域を形成する工程と、を備える炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、
第1のフォトレジストを硬化させ、パターニングすることで前記第1のイオン注入マスクを形成した後、前記第1のイオン注入マスクを覆うように第2のフォトレジストを形成し、前記第2のフォトレジストを硬化させ、前記第1の開口部内から硬化後の前記第2のフォトレジストを除去することで、前記第2のイオン注入マスクを形成する工程を含む、請求項1記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、
第1のフォトレジストを硬化させ、パターニングすることで前記第1のイオン注入マスクの前記マスク領域が第3の開口部となった前記第2のイオン注入マスクを形成した後、前記第2のイオン注入マスクを覆うように第2のフォトレジストを形成した後、前記第2のフォトレジストを硬化させ、パターニングにより前記第1のイオン注入マスクの前記第1の開口部に相当する領域の前記第1のフォトレジスト表面を露出させた後、前記第1のイオン注入マスクの前記第1の開口部に相当する領域の前記第1のフォトレジストを除去することで、前記第1のイオン注入マスクを形成する工程を含む、請求項1記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記第1および第2のフォトレジストは、それぞれのフォトリソグラフィにおいて互いに影響を与えない現像液を使用する、請求項2または請求項3記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記第1および第2のフォトレジストは、それぞれのベース樹脂として互いの溶媒に不溶なものを使用する、請求項2または請求項3記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記工程(c)は、前記第1のイオン注入マスクの除去に先だって、酸素プラズマ雰囲気下でドライエッチングすることによって、前記第1のイオン注入マスクおよび前記第2のイオン注入マスクの表面硬化層を除去する工程を含む、請求項1記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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