JP5473374B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
6 モニタ
18 チャックテーブル
24 切削手段
25 スピンドルハウジング
26 スピンドル
28 切削ブレード
76 環状スラストプレート
82 ラジアルエアベアリング
84 スラストエアベアリング
86 第1の計測センサー
88 第2の計測センサー
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを支持したスピンドルを有する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを切削方向に相対的に切削送りする切削送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを割り出し方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを切り込み方向に相対的に切り込み送りする切り込み送り手段とを備えた切削装置であって、
該切削手段は、該スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、該スピンドルと該スピンドルハウジングとの間に形成され該スピンドルの周囲をエアを介して支持するラジアルエアベアリングと、該スピンドルの外周にスピンドルと一体的に形成された環状スラストプレートと、該環状スラストプレートと該スピンドルハウジングとの間に形成され該環状スラストプレートをエアを介して支持するスラストエアベアリングとを含み、
該ラジアルエアベアリングには該スピンドルと該スピンドルハウジングとの間のギャップを計測する第1の計測センサーが配設され、該スラストエアベアリングには該環状スラストプレートと該スピンドルハウジングとの間のギャップを計測する第2の計測センサーが配設されており、
該第1の計測センサーと該第2の計測センサーからのギャップ計測値に基づき、切削状況をモニタリングするモニタリング手段と、
該第1の計測センサーと該第2の計測センサーからのギャップ計測値が許容範囲外となった場合、該切り込み送り手段を作動して該切削ブレードを被加工物から離反させて該スピンドルのカジリ現象を防止するカジリ防止手段とを具備したことを特徴とする切削装置。 - 該第1の計測センサーは円周方向に等間隔で配置された複数の計測センサーから構成され、該第2の計測センサーは該環状スラストプレートの軸方向両側で該スラストエアベアリングに臨むように円周方向に等間隔で配置された複数の計測センサーから構成される請求項1記載の切削装置。
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