JP5472058B2 - 圧電振動子 - Google Patents
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Description
前記電極パッドは前記下地金属層と前記導電金属層との間に当該下地金属と導電金属からなる合金層が介在した状態で形成されていることで、前記合金層が前記下地金属層と前記導電金属層との金属間結合を向上させる介在層として機能することができる。結果として、錫系の低融点金属ろう材による接合後に下地電極膜と表面電極膜の間の膜剥がれが生じることがなくなり、耐衝撃性能を高める。また電極パッドの領域の導電金属層の下には錫層が存在していないため、錫によって表面電極膜のくわれ現象が抑えられ、前記錫が経年変化とともに表面電極膜中で拡散することによる電気的特性の劣化を生じさせることも抑制される。
特に複数の脚部が側面方向に屈曲振動してなる音叉圧電型振動片では、主面の励振電極よりも側面の励振電極による影響が強くなる傾向にあり、直列共振抵抗値(CI値)の向上に関係する。
前記基部と脚部の2つの主面に形成された励振電極と電極パッドは前記下地金属層と前記導電金属層との間に当該下地金属と導電金属からなる合金層が介在した状態で形成されていることで、前記合金層が前記下地金属層と前記導電金属層との金属間結合を向上させる介在層として機能することができる。結果として、錫系の低融点金属ろう材による接合後に下地電極膜と表面電極膜の間の膜剥がれが生じることがなくなり、耐衝撃性能を高める。また電極パッドの領域の導電金属層の下には錫層が存在していないため、錫によって表面電極膜のくわれ現象が抑えられ、前記錫が経年変化とともに表面電極膜中で拡散することによる電気的特性の劣化を生じさせることも抑制される。
特に複数の脚部が側面方向に屈曲振動してなる音叉圧電型振動片では、上述のような接合の信頼性を高めながら、基部の主面に形成された電極パッドで、リード端子と錫系の低融点金属ろう材により電気機械的に接合することができるため、音叉型圧電振動片の振動も阻害しにくい保持形態とすることができる。
軟質の錫層M2が導電金属層M3による音叉型振動片1の振動の悪影響を和らげ、結果として直列共振抵抗値(CI値)を向上させることができる。電極パッド17,18は下地金属層M1と導電金属層M3との間に前記下地金属材料のクロムやニッケルと前記導電金属材料の銀や金からなる合金層M5が介在した状態で形成されていることで、合金層M5が下地金属層M1と導電金属層M3との金属間結合を向上させる介在層として機能することができる。結果として、錫系の低融点金属ろう材(Sn−3Ag−0.5Cu等の錫系の鉛フリーはんだ材H)による接合後に、下地金属層M1と表面の導電金属層M3の間の膜剥がれが生じることがなくなり、耐衝撃性能を高める。また電極パッド17,18の領域の導電金属層M3の下には錫層M2が存在していないため、錫によって表面の導電金属層M3のくわれ現象が抑えられ、前記錫が経年変化とともに表面の導電金属層M3で拡散することによる電気的特性の劣化を生じさせることも抑制される。
2 ベース
Claims (3)
- ベースと、励振電極と電極パッドが形成された圧電振動片とを有し、前記ベースの圧電振動片接合部と圧電振動片の電極パッドとを錫系の低融点金属ろう材により電気機械的に接合してベースに圧電振動片を搭載してなる圧電振動子であって、
前記励振電極と電極パッドとは下地金属層の上面に導電金属層が形成され、
前記励振電極は前記下地金属層と前記導電金属層の間に錫層が介在した状態で形成され、
前記電極パッドは前記下地金属層と前記導電金属層との間に当該下地金属と導電金属からなる合金層が介在した状態で形成されていることを特徴とする圧電振動子。 - ベースと、励振電極と電極パッドが形成された圧電振動片とを有し、前記ベースの圧電振動片接合部と圧電振動片の電極パッドとを錫系の低融点金属ろう材により電気機械的に接合してベースに圧電振動片を搭載してなる圧電振動子であって、
前記圧電振動片が2つの主面と2つの側面とを有した基部とこの基部一端部から突出し、2つの主面と2つの側面とを有する複数本の脚部とから構成され、
前記励振電極と電極パッドとは下地金属層の上面に導電金属層が形成され、
前記基部と脚部の側面に形成された励振電極は前記下地金属層と前記導電金属層の間に錫層が介在した状態で形成され、
前記基部と脚部の主面に形成された励振電極と電極パッドは前記下地金属層と前記導電金属層との間に当該下地金属と導電金属からなる合金層が介在した状態で形成されていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記励振電極と電極パッドとはお互いが離間した状態で形成し、接続電極は前記離間した励振電極と電極パッドとの上面に一部が重なった状態でお互いを接続するとともに、前記励振電極と電極パッドより前記低融点金属ろう材の濡れ性の低い電極膜で形成されたことを特徴とする特許請求項1、または特許請求項2記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259781A JP5472058B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259781A JP5472058B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012114536A JP2012114536A (ja) | 2012-06-14 |
JP5472058B2 true JP5472058B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=46498301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010259781A Expired - Fee Related JP5472058B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5472058B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57125510A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-04 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
JPH02298110A (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子 |
JPH0993068A (ja) * | 1995-09-27 | 1997-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | 音叉型水晶片の電極形成方法 |
JPH11284485A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Miyota Kk | 圧電振動子 |
JP2001345656A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片の製造方法及び水晶デバイス |
JP2003224444A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Miyota Kk | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP3977682B2 (ja) * | 2002-05-14 | 2007-09-19 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子及びその保持構造 |
JP2004364019A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子、圧電発振器、ジャイロスコープセンサ、電子機器、及び製造方法 |
JP4428020B2 (ja) * | 2003-10-29 | 2010-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片とその励振電極の構造および電極形成方法ならびに、圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2007037003A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Citizen Miyota Co Ltd | 圧電振動子 |
-
2010
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012114536A (ja) | 2012-06-14 |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131220 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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