JP5466811B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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- 設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査装置において、
代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた1枚の参照画像を記憶する参照画像記憶手段と、
検査対象領域内の複数の第1の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第2の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第2の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
前記複数の第1の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第1の検査点に対応した前記第2の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択手段と、
前記参照画像選択手段によって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示手段と、
前記基板を撮像する撮像手段と、
前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示手段と、
を備え、
前記参照画像は、前記複数の第1の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用される
ことを特徴とする基板検査装置。 - 前記基板を移動する移動手段と、
前記移動手段によって移動される前記基板の位置に基づいて、前記ライブ画像の表示領域に相当する前記基板上の観察領域の位置を検出する位置検出手段と、
前記基板内における前記第1の検査点の位置を示す情報と、前記前記基板上の観察領域の位置を示す情報とに基づいて、前記第1の検査点が前記観察領域内に含まれるか否かを判定する判定手段とをさらに備え、
前記参照画像選択手段は、前記第1の検査点が前記観察領域内に含まれていると判定された場合に、前記検査情報に基づいて、前記第1の検査点に対応した前記第2の検査点における前記参照画像を選択する
ことを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記参照画像を表示する際に観察倍率に合わせて前記参照画像を拡大または縮小して表示することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査装置。
- 設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査方法において、
代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた1枚の参照画像を記憶する参照画像記憶ステップと、
検査対象領域内の複数の第1の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第2の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第2の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
前記複数の第1の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第1の検査点に対応した前記第2の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択ステップと、
前記参照画像選択ステップによって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示ステップと、
前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示ステップと、
を備え、
前記参照画像は、前記複数の第1の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用される
ことを特徴とする基板検査方法。 - 移動する前記基板の位置に基づいて、前記ライブ画像の表示領域に相当する前記基板上の観察領域の位置を検出する位置検出ステップと、
前記基板内における前記第1の検査点の位置を示す情報と、前記観察領域の位置を示す情報とに基づいて、前記第1の検査点が前記観察領域内に含まれるか否かを判定する判定ステップとをさらに備え、
前記参照画像選択ステップでは、前記第1の検査点が前記観察領域内に含まれていると判定された場合に、前記検査情報に基づいて、前記第1の検査点に対応した前記第2の検査点における前記参照画像を選択することを特徴とする請求項4に記載の基板検査方法。 - 前記参照画像表示ステップでは、観察倍率に合わせて前記参照画像を拡大または縮小して表示することを特徴とする請求項5に記載の基板検査方法。
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