JP5462261B2 - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Description
<<実施形態1>>
<実施形態1の電界効果トランジスタの構成>
<実施形態1の電界効果トランジスタの一例>
(2)アンドープGaN層(バッファ層11)・・・1μm
(3)p形GaN層「Mgドーピング:濃度1×1019cm−3」(第三窒化物半導体層12)・・・100nm
(4)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・100nm
(5)p形Al0.05Ga0.95N層「Mgドーピング:濃度1×1019
cm−3」(第二窒化物半導体層15)・・・60nm
<<実施形態2>>
<実施形態2の電界効果トランジスタの構成>
<実施形態2の電界効果トランジスタの一例>
(2)アンドープAl0.06Ga0.94N層(バッファ層11)・・・1μm
(3)p形Al0.06Ga0.94N層「Mgドーピング:濃度1×1019
cm−3」(第三窒化物半導体層12)・・・100nm
(4)アンドープAl0.06Ga0.94N層(第二窒化物半導体層15)・・・40nm
(5)n形Al0.06Ga0.94N層「Siドーピング:濃度1×1018
cm−3」(第二窒化物半導体層15)・・・60nm
(6)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・100nm
<<実施形態3>>
<実施形態3の電界効果トランジスタの構成>
<実施形態3の電界効果トランジスタの一例>
(2)アンドープGaN層(バッファ層11)・・・1μm
(3)p形GaN層「Mgドーピング:濃度1×1019cm−3」(第三窒化物半導体層12)・・・100nm
(4)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・100nm
(5)アンドープAl0.2Ga0.8N層(第二窒化物半導体層15)・・・40nm
<<実施形態4>>
<実施形態4の電界効果トランジスタの構成>
<実施形態4の電界効果トランジスタの一例>
(2)アンドープAl0.2Ga0.8N層(バッファ層11)・・・1μm
(3)p形Al0.2Ga0.8N層「Mgドーピング:濃度1×1019cm−3」(第三窒化物半導体層12)・・・100nm
(4)アンドープAl0.2Ga0.8N層(第二窒化物半導体層15)・・・100nm
(5)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・40nm
cm−2とすることで、平均原子濃度5×1019cm−3、深さ方向の拡がり(td)40nmのSiドープ領域(n形不純物ドープ領域151)を第二窒化物半導体層15中に選択的に形成できる。なお、n形不純物をドーピングする領域の幅Wnと、n形不純物をドーピングしない領域の幅Wpは、Wn=Wp=100nm(任意の設計事項)とした。イオン注入の後、N2雰囲気中、1000〜1200℃にて活性化アニールを行うことにより、Siの活性化率として約10%を得ることができる。このように、活性化アニール温度を1200℃以下と低くすることができ、従来のGaNプロセスとの適合性は良好である。
<<実施形態5>>
<実施形態5の電界効果トランジスタの構成>
<実施形態5の電界効果トランジスタの一例>
<<例1>>
(2)アンドープGaN層(バッファ層11)・・・1μm
(3)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・100nm
(4)アンドープAl0.2Ga0.8N層(第二窒化物半導体層15)・・・40nm
<<例2>>
(2)アンドープAl0.2Ga0.8N層(バッファ層11)・・・1μm
(3)アンドープAl0.2Ga0.8N層(第二窒化物半導体層15)・・・100nm
(4)アンドープGaN層(第一窒化物半導体層13)・・・40nm
cm−2とすることで、平均原子濃度5×1019cm−3、深さ方向の拡がり(td)40nmのSiドープ領域(n形不純物ドープ領域151)を第二窒化物半導体層15中に選択的に形成できる。なお、n形不純物をドーピングする領域の幅Wnと、n形不純物をドーピングしない領域の幅Wpは、Wn=Wp=100nm(任意の設計事項)とした。イオン注入の後、N2雰囲気中、1000〜1200℃にて活性化アニールを行うことにより、Siの活性化率として約10%を得ることができる。このように、活性化アニール温度を1200℃以下と低くすることができ、従来のGaNプロセスとの適合性は良好である。
Claims (10)
- 第一の窒化物半導体からなる第一窒化物半導体層、および、前記第一の窒化物半導体よりバンドギャップの大きい第二の窒化物半導体からなる第二窒化物半導体層、を積層した積層体と、
前記積層体の上に形成されたゲート絶縁膜およびゲート電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極と対向するよう設けられるドレイン電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極を挟んで前記ドレイン電極の反対側に設けられるソース電極と、
を備え、
前記第二窒化物半導体層の前記ゲート電極と前記ドレイン電極で挟まれた領域には、
n形不純物をドーピングされたn形不純物ドープ領域と、p形不純物をドーピングされたp形不純物ドープ領域と、を前記ゲート電極がのびる方向に沿って交互に配列した縞模様が形成され、
前記積層体の上であって、前記ソース電極を挟んで前記ゲート電極の反対側に、第四の電極を備え、
前記第二窒化物半導体層の前記縞模様を構成するp形またはn形である1形不純物ドープ領域は、前記ソース電極の直下まで延伸し、
前記第二窒化物半導体層の前記縞模様を構成するn形またはp形であって1形とは異なる形の2形不純物ドープ領域は、前記第四の電極の直下まで延伸している電界効果トランジスタ。 - 前記n形不純物ドープ領域のn形活性化不純物の面密度nd1と、
前記n形不純物ドープ領域のp形活性化不純物の面密度na1と、
前記n形不純物ドープ領域の幅Wnと、
前記p形不純物ドープ領域のp形活性化不純物の面密度na2と、
前記p形不純物ドープ領域のn形活性化不純物の面密度nd2と、
前記p形不純物ドープ領域の幅Wpと、
前記第一窒化物半導体層と前記第二窒化物半導体層との界面に形成される分極電荷の面密度σpと、
素電荷q(=1.6×10−19C)と、が0.1<(|nd1−na1+σp/q|×Wn)/(|−nd2+na2−σp/q|×Wp)<10
の関係式をみたす請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記n形不純物ドープ領域のn形活性化不純物の面密度nd1と、
前記n形不純物ドープ領域のp形活性化不純物の面密度na1と、
前記n形不純物ドープ領域の幅Wnと、
前記p形不純物ドープ領域のp形活性化不純物の面密度na2と、
前記p形不純物ドープ領域のn形活性化不純物の面密度nd2と、
前記p形不純物ドープ領域の幅Wpと、
前記第一窒化物半導体層と前記第二窒化物半導体層との界面に形成される分極電荷の面密度σpと、
素電荷q(=1.6×10−19C)と、が
|nd1−na1+σp/q|×Wn=|−nd2+na2−σp/q|×Wpの関係式をみたす請求項2に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記第一窒化物半導体層は、前記第二窒化物半導体層の上側または下側に設けられている請求項1から3のいずれか一に記載の電界効果トランジスタ。
- 第一の窒化物半導体からなる第一窒化物半導体層の上に、前記第一の窒化物半導体よりバンドギャップの大きい第二の窒化物半導体からなる第二窒化物半導体層を積層した(0001)面成長の積層体と、
前記積層体の上に形成されたゲート絶縁膜およびゲート電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極と対向するよう設けられるドレイン電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極を挟んで前記ドレイン電極の反対側に設けられるソース電極と、
を基板上に備え、
前記第二窒化物半導体層の前記ゲート電極と前記ドレイン電極で挟まれた領域には、
p形不純物をドーピングされたp形不純物ドープ領域と、アンドープ領域と、を交互に配列した縞模様が形成され、
前記積層体と前記基板との間には、前記第一窒化物半導体層との界面にて前記第一窒化物半導体と格子整合する(0001)面成長のバッファ層をさらに備える電界効果トランジスタ。 - 第一の窒化物半導体からなる第一窒化物半導体層の下に、前記第一の窒化物半導体よりバンドギャップの大きい第二の窒化物半導体からなる第二窒化物半導体層を積層した(0001)面成長の積層体と、
前記積層体の上に形成されたゲート絶縁膜およびゲート電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極と対向するよう設けられるドレイン電極と、
前記積層体の上に、前記第一窒化物半導体層と電気的に接続し、前記ゲート電極を挟んで前記ドレイン電極の反対側に設けられるソース電極と、
を基板上に備え、
前記第二窒化物半導体層の前記ゲート電極と前記ドレイン電極で挟まれた領域には、
n形不純物をドーピングされたn形不純物ドープ領域と、アンドープ領域と、を交互に配列した縞模様が形成され、
前記積層体と前記基板との間には、前記第二窒化物半導体層との界面にて前記第二窒化物半導体と格子整合する(0001)面成長のバッファ層をさらに備える電界効果トランジスタ。 - 前記積層体の上であって、前記ソース電極を挟んで前記ゲート電極の反対側に、第四の電極を備えるとともに、
前記積層体の下であって、前記積層体と接する位置に、p形またはn形である1形不純物をドーピングされた第三の窒化物半導体からなる第三窒化物半導体層を備え、
前記第二窒化物半導体層の前記縞模様を構成するp形またはn形である1形不純物ドープ領域は、前記ソース電極の直下まで延伸せず、
前記第四の電極の直下には、前記1形不純物をドーピングされた前記1形不純物ドープ領域が形成されている請求項5または6に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記積層体の上であって、前記ソース電極を挟んで前記ゲート電極の反対側に、第四の電極を備え、
前記第二窒化物半導体層の前記縞模様を構成するp形またはn形である1形不純物ドープ領域は、前記ソース電極の直下まで延伸し、
前記第二窒化物半導体層の前記縞模様を構成するn形またはp形であって1形とは異なる形の2形不純物ドープ領域は、前記第四の電極の直下まで延伸している請求項5または6に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記第四の電極は、前記ソース電極を介して電気的に接地している請求項7または8に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記積層体はエピタキシャル層である請求項1から9のいずれか一に記載の電界効果トランジスタ。
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