JP5458119B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、回転運動を直線運動に変換するアクチュエータに関する。より詳しくは、本発明は、モータ駆動による回転運動を直線往復動に変換して出力するアクチュエータに関する。

従来から、各種機器を動作させるためのアクチュエータとして、油圧シリンダが提供されている。

油圧シリンダは、第一端と該第一端の反対側の第二端とを有する筒状のシリンダ本体と、第一端と該第一端の反対側の第二端とを有する棒状のロッド、及びロッドの第一端に連結された大径のピストンを含むピストンロッドとを備える。ピストンロッドのピストン及びロッドの一部は、シリンダ本体に同心で内装される。

油圧シリンダは、ピストンを境にしたシリンダ本体の第一端側又は第二端側の何れか一方側の内部空間に対して作動油が供給される。ピストンは、シリンダ本体内に供給される作動油の流体圧の作用で軸線方向に押される。これにより、ピストンロッド全体が軸線方向に軸力を発生させつつ移動する。

定常的に設置される機器に油圧シリンダが搭載される場合、油圧シリンダに作動油を供給するための油圧ユニットが油圧シリンダと異なる位置に別途設置される。これに対し、持ち運びされるハンディー装置（例えば、リベットをかしめ処理するためのリベッタや、金属製の棒材を切断するバーカッタ等の手持ち工具等）に油圧シリンダが搭載される場合、機器全体のサイズを小型化するために、油圧ユニットが油圧シリンダ（シリンダ本体）に一体的に連結される（例えば、特許文献１参照）。

ところで、機器を動作させるアクチュエータとして油圧シリンダが採用される場合、上述の如く、油圧ユニットが必要である。そのため、油圧シリンダ以外に油圧ユニットを配置するためのスペースの確保が必要である。すなわち、油圧ユニットは、作動油を貯留するためのタンクや、該タンク内の作動油を送り出すポンプ、ポンプを動作させるモータ等を備える。そのため、油圧ユニットの占有スペースが大きく、各種機器を動作させるアクチュエータに油圧シリンダが採用されると、機器全体が大きくなるといった問題がある。

特に、持ち運びされるハンディー装置（例えば、リベットをかしめ処理するためのリベッタや、金属製の棒材を切断するバーカッタ等の手持ち工具等）に油圧シリンダが採用された場合、油圧ユニットが大型化や重量化の原因となり、ハンドリング性が害されるといった問題がある。

日本国特開平７−２２３１１３号公報

そこで、本発明は、斯かる実情に鑑み、油圧シリンダと同等の性能を発揮しつつも小型化及び軽量化することのできるアクチュエータを提供することを課題とする。

本発明に係るアクチュエータは、一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間であって、一方向に延びるように形成された内部空間を有するシリンダ部と、前記シリンダ部の前記内部空間の両端を閉塞する一対の閉塞部とを含み、前記内部空間に作動油が充填されるシリンダ本体と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部であって、前記一対の閉塞部のうちの一方の閉塞部に液密状態で挿通されたロッド部と、該ロッド部の基端に同心で連結されたピストン部であって、前記内部空間に内装されたピストン部とを含むピストンロッドと、前記一対の閉塞部のうちの他方の閉塞部に挿通された回転軸とを備え、前記ピストン部には、前記他方の閉塞部側で開口した非貫通状態の軸挿入穴と、該軸挿入穴に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴と、該第一プランジャ穴に対して前記ロッド部の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記軸挿入穴に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴と、前記第一プランジャ穴の両側に形成され、該第一プランジャ穴を介して前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第一流路と、前記第二プランジャ穴の両側に形成され、前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第二流路とが設けられ、前記第一プランジャ穴には、該第一プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第一プランジャと、該第一プランジャを前記軸挿入穴に向けて付勢する第一付勢部材とが内装され、前記一対の第一流路のそれぞれには、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第一逆止弁が内装され、前記第二プランジャ穴には、該第二プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第二プランジャと、該第二プランジャを前記軸挿入穴に向けて付勢する第二付勢部材とが内装され、前記一対の第二流路のそれぞれには、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第二逆止弁が内装され、前記回転軸は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸本体であって、第一端部が前記軸挿入穴に挿入されるとともに、第二端部が前記シリンダ本体から外方に延出した軸本体と、前記軸本体の軸心に対して偏心するように、前記軸本体の第一端部に連結される第一カム部であって、前記軸本体から周方向の一方側のトルクのみが伝達される第一カム部と、前記軸本体の軸心に対して偏心するように、前記軸本体の第一端部に連結される第二カム部であって、前記軸本体から周方向の他方側のトルクのみが伝達される第二カム部とを備え、前記第一プランジャは、前記第一付勢部材による付勢で前記第一カム部に常時接触するように設けられ、前記第二プランジャは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二カム部に常時接触するように設けられる。

上記構成のアクチュエータによれば、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の一方側に回転させると、そのトルクが軸本体から第一カム部に伝達され、第一カム部が軸本体をを中心に回転する。これに対し、第二カム部は、軸本体からのトルクが伝達されずに停止又は略停止した状態になる。すなわち、回転軸が周方向の他方側に回転すると、第一カム部のみが回転する。このように第一カム部が回転すると、第一カム部が第一プランジャを押圧する状態と第一カムが第一プランジャを押圧しない状態とに交互に切り替わる。その結果、第一プランジャは、第一カム部による押圧で第一プランジャ穴に押し込まれた状態と、第一付勢部材の付勢で軸挿入穴に突出した状態とに切り替わる。そうすると、第一プランジャの出退に伴って第一プランジャ穴の空間（プランジャの存在しない領域）が容積変化することになり、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴に流入し、該作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に押し出されることになる。

具体的には、第一プランジャ穴に押し込まれた第一プランジャが回転軸（軸挿入穴）側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）にピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴に引き込まれることになる。そして、第一プランジャが最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了し、第一流路内の第一逆止弁の作用で第一プランジャ穴内に引き込まれた作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に逆流することが防止された状態になる。

これに対し、第一プランジャが第一プランジャ穴に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に該第一プランジャ穴内にある作動油が第一流路を通ってピストン部を境にした内部空間の第二端側に押し出されることになる。そして、第一プランジャが第一プランジャ穴に最大に押し込まれた状態で、ピストン部を境にした内部空間の第二端側に対する作動油の押し出しが完了し、第一流路内の第一逆止弁の作用でピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第一プランジャ穴に逆流することが防止された状態になる。

このように、上記構成のアクチュエータは、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に送られることで、ピストン部を境にした内部空間の第二端部側の圧力が高まる結果、ピストン部がシリンダ本体に対して相対的に内部空間の第一端側へ移動する。これにより、ピストンロッド全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

そして、上記構成のアクチュエータによれば、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の他方側に回転させると、そのトルクが軸本体から第二カム部に伝達され、第二カム部が軸本体をを中心に回転する。これに対し、第一カム部は、軸本体からのトルクが伝達されずに停止又は略停止した状態になる。すなわち、回転軸が周方向の他方側に回転すると、第二カム部のみが回転する。このように第二カム部が回転すると、第二カム部が第二プランジャを押圧する状態と第二カム部が第二プランジャを押圧しない状態とに交互に切り替わる。その結果、第二プランジャは、第二カム部による押圧で第二プランジャ穴に押し込まれた状態と、第二付勢部材の付勢で軸挿入穴に突出した状態とに交互に切り替わる。そうすると、第二プランジャの出退に伴って第二プランジャ穴の空間（プランジャの存在しない領域）が容積変化する。これにより、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴に流入し、該作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に押し出される。

具体的には、第二プランジャ穴に押し込まれた第二プランジャが回転軸（軸挿入穴）側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）にピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴に引き込まれることになる。そして、第二プランジャが最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了し、第二流路内の第二逆止弁の作用で第二プランジャ穴内に引き込まれた作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に逆流することが防止された状態になる。

これに対し、第二プランジャが第二プランジャ穴に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に該第二プランジャ穴内にある作動油が第二流路を通ってピストン部を境にした内部空間の第一端側に押し出されることになる。そして、第二プランジャが第二プランジャ穴に最大に押し込まれた状態で、ピストン部を境にした内部空間の第一端側に対する作動油の押し出しが完了し、第二流路内の第二逆止弁の作用でピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第二プランジャ穴側に逆流することが防止された状態になる。

このように、上記構成のアクチュエータは、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に送られることで、ピストン部を境にした内部空間の第一端側の圧力が高まる結果、ピストン部がシリンダ本体に対して相対的に内部空間の第二端側へ移動する。これにより、ピストンロッド全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

以上のように、上記構成のアクチュエータは、シリンダ本体内（内部空間内）のピストン部に作動油の流体圧を作用させてピストンロッドをシリンダ本体に対して相対的に移動させるため、油圧シリンダと同等の性能を発揮することができ、また、シリンダ本体内のみで作動油を流動させるとともにシリンダ本体内に作動油を流動させる構成を内装しているため、小型化及び軽量化することができる。

この場合、前記第一プランジャ穴及び第二プランジャ穴は、前記ピストン部の周方向に間隔をあけて複数設けられ、前記一対の第一流路のそれぞれは、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記一対の第二流路のそれぞれは、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記第一プランジャ及び前記第一付勢部材は、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第二プランジャ及び前記第二付勢部材は、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第一逆止弁は、前記複数の第一流路のそれぞれに内装され、前記第二逆止弁は、前記複数の第二流路のそれぞれに内装され、前記複数の第一プランジャのそれぞれが前記第一付勢部材による付勢で前記第一カム部に常時接触し、前記複数の第二プランジャのそれぞれが前記第二付勢部材による付勢で前記第二カム部に常時接触している、ようにすることができる。

このようにすれば、上記構成のアクチュエータでは、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の一方側に回転させると、第一カム部が該回転軸を中心として回転する。これに伴い、第一カム部が軸挿入穴回りに配置された複数の第一プランジャのそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、上記構成のアクチュエータでは、回転軸を周方向の一方向側に回転させると、複数の第一プランジャのそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴内で往復動する。これにより、内部空間の第一端側から内部空間の第二端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部を境にした内部空間の第二端側の圧力を短時間で高めることができる。

また、上記構成のアクチュエータでは、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の他方側に回転させると、第二カム部が該回転軸を中心として回転する。そのため、該第二カム部が軸挿入穴回りに配置された複数の第二プランジャのそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、上記構成のアクチュエータでは、回転軸を軸心周りにおける他方向側に回転させると、複数の第二プランジャのそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴内で往復動する。これにより、内部空間の第二端側から内部空間の第一端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部を境にした内部空間の第一端側の圧力を短時間で高めることができる。従って、上記構成のアクチュエータは、ピストンロッドを内部空間の第一端側又は内部空間の第二端側に高速で移動させることができる。

さらに、前記回転軸は、前記軸本体と前記第一カム部との間に設けられる第一ワンウェイクラッチと、前記軸本体と前記第二カム部との間に設けられる第二ワンウェイクラッチとを備え、前記第一ワンウェイクラッチは、前記軸本体から周方向の一方側のトルクのみを前記第一カム部に伝達するように構成され、前記第二ワンウェイクラッチは、前記軸本体から周方向の他方側のトルクのみを前記第二カム部に伝達するように構成される、ようにすることもできる。

このようにすれば、回転軸を周方向の一方側に回転させると、第一ワンウェイクラッチによって、そのトルクが軸本体から第一カム部に伝達される。これにより、第一カム部のみが回転軸とともに回転し、第一プランジャのみが第一プランジャ穴内で往復動する。従って、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に送り込まれる。

そして、回転軸を周方向の他方側に回転させると、第二ワンウェイクラッチによって、そのトルクが軸本体から第二カム部に伝達される。これにより、第二カム部のみが回転軸とともに回転し、第二プランジャのみが第二プランジャ穴内で往復動する。従って、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に送り込まれる。

本発明に係るアクチュエータは、一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間であって、一方向に延びるように形成された内部空間を有するシリンダ部と、該シリンダ部の前記内部空間の両端を閉塞する一対の閉塞部とを含み、前記内部空間に作動油が充填されるシリンダ本体と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部であって、前記一対の閉塞部のうちの一方の閉塞部に液密状態で挿通されたロッド部と、該ロッド部の基端に同心で連結されたピストン部であって、前記内部空間に内装されたピストン部とを含むピストンロッドと、前記一対の閉塞部のうちの他方の閉塞部に挿通された回転軸とを備え、前記ピストン部は、前記回転軸と連続するピストン本体と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体の外周を包囲する環状の第一内輪と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体の外周を包囲する環状の第二内輪であって、前記ロッド部の軸心方向で前記第一内輪と並ぶ第二内輪と、該第一内輪及び該第二内輪の外周を包囲する環状の外輪であって、前記内部空間に対して軸心周りで回転不能な外輪とを備え、前記第一内輪は、前記外輪に対して周方向の一方側のトルクのみを伝達可能に構成され、前記第二内輪は、前記外輪に対して周方向の他方側のトルクのみを伝達可能に構成され、前記ピストン本体には、前記第一内輪の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴と、該第一プランジャ穴に対して前記ロッド部の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記第二内輪の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴と、前記第一プランジャ穴の両側に形成され、前記第一プランジャ穴を介して前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第一流路と、前記第二プランジャ穴の両側に形成され、前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第二流路とが設けられ、前記第一プランジャ穴には、該第一プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第一プランジャと、該第一プランジャを前記第一内輪に向けて付勢する第一付勢部材とが内装され、前記一対の第一流路のそれぞれには、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第一逆止弁が内装され、前記第二プランジャ穴には、該第二プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第二プランジャと、前記第二プランジャを前記第二内輪に向けて付勢する第二付勢部材とが内装され、前記一対の第二流路のそれぞれには、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第二逆止弁が内装され、前記第一プランジャは、前記第一付勢部材による付勢で前記第一内輪の内周面に常時接触するように設けられ、前記第二プランジャは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二内輪の内周面に常時接触するように設けられる。

上記構成のアクチュエータによれば、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の一方側に回転させると、ピストン本体が周方向の一方側に回転する。これに伴い、第一内輪には、第一プランジャから周方向の一方側のトルクが伝達され、第二内輪には、第二プランジャから周方向の一方側のトルクが伝達される。これに伴い、第一内輪及び第二内輪が回転軸を中心に回転しようとするが、第一内輪が回転不能に設けられた外輪に対して周方向の一方側のトルクを伝達し、第二内輪が外輪に対して周方向の一方側のトルクを伝達しない。従って、第一内輪が外輪によって制止される一方で、第二内輪がピストン本体と一緒に回転する。

これにより、ピストン本体が第一内輪のみに対して相対的に回転し、第一内輪の内周面が第一プランジャを押圧する状態と、第一内輪の内周面が第一プランジャを押圧しない状態とに交互に切り替わる。その結果、第一プランジャは、第一内輪の内周面による押圧で第一プランジャ穴に押し込まれた状態と、第一付勢部材の付勢で外側（第一内輪側）に突出した状態とに交互に切り変わる。そうすると、第一プランジャの出退に伴って第一プランジャ穴の空間（第一プランジャの存在しない領域）が容積変化することになる。従って、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴に流入してピストン部を境にした内部空間の第二端側に押し出される。

具体的には、第一プランジャ穴に押し込まれた第一プランジャが外側（第一内輪側）に移動するとき（空間容積が拡大するとき）にピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴に引き込まれる。そして、第一プランジャが最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了し、第一流路内の第一逆止弁の作用で第一プランジャ穴内に引き込まれた作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に逆流することが防止される。

これに対し、第一プランジャが第一プランジャ穴に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に該第一プランジャ穴内にある作動油が第一流路を通ってピストン部を境にした内部空間の第二端側に押し出されることになる。

そして、第一プランジャが第一プランジャ穴に最大に押し込まれた状態で、ピストン部を境にした内部空間の第二端側に対する作動油の押し出しが完了し、第一流路内の第一逆止弁の作用でピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第一プランジャ穴側に逆流することが防止される。

このように、上記構成のアクチュエータは、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端部側に送られることで、ピストン部を境にした内部空間の第二端部側の圧力が高まる結果、ピストン部がシリンダ本体に対して相対的に内部空間の第一端側へ移動する。これにより、ピストンロッド全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

そして、上記構成のアクチュエータによれば、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の他方側に回転させると、ピストン本体が周方向の他方側に回転する。これに伴い、第一内輪には、第一プランジャから周方向の他方側のトルクが伝達され、第二内輪には、第二プランジャから周方向の他方側のトルクが伝達される。これに伴い、第一内輪及び第二内輪が回転軸を中心に回転しようとするが、第二内輪が回転不能に設けられた外輪に対して周方向の他方側のトルクを伝達し、第一内輪が外輪に対して周方向の他方側のトルクを伝達しない。従って、第二内輪が外輪によって制止される一方で、第一内輪がピストン本体と一緒に回転する。

これにより、ピストン本体が第二内輪のみに対して相対的に回転し、第二内輪の内周面が第二プランジャを押圧する状態と、第二内輪の内周面が第二プランジャを押圧しない状態とに交互に切り替わる。その結果、第二プランジャは、第二内輪の内周面による押圧で第二プランジャ穴に押し込まれた状態と、第二付勢部材の付勢で外側（第二内輪側）に突出した状態とに交互に切り替わる。そうすると、第二プランジャの出退に伴って第二プランジャ穴の空間（第二プランジャの存在しない領域）が容積変化することになり、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴に流入されてピストン部を境にした内部空間の第一端側に押し出される。

具体的には、第二プランジャ穴に押し込まれた第二プランジャが外側（第二内輪側）に移動するとき（空間容積が拡大するとき）にピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴に引き込まれる。そして、第二プランジャが最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了し、第二流路内の第二逆止弁の作用で第二プランジャ穴内に引き込まれた作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に逆流することが防止された状態になる。

これに対し、第二プランジャが第二プランジャ穴に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に該第二プランジャ穴内にある作動油が第二流路を通ってピストン部を境にした内部空間の第一端側に押し出される。

そして、第二プランジャが第二プランジャ穴に最大に押し込まれた状態で、ピストン部を境にした内部空間の第一端側に対する作動油の押し出しが完了し、第二流路内の第二逆止弁の作用でピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油が第二プランジャ穴側に逆流することが防止される。

このように、上記構成のアクチュエータは、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端部側に送られることで、ピストン部を境にした内部空間の第一端部側の圧力が高まる結果、ピストン部がシリンダ本体に対して相対的に内部空間の第二端側へ内部空間移動する。これにより、ピストンロッド全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

以上のように、上記構成のアクチュエータは、シリンダ本体内（内部空間内）のピストン部に作動油の流体圧を作用させてピストンロッドを移動させるため、油圧シリンダと同等の性能を発揮することができ、また、シリンダ本体内のみで作動油を流動させるとともにシリンダ本体内に作動油を流動させる構成を内装しているため、小型化及び軽量化することができる。

この場合、前記第一プランジャ穴及び第二プランジャ穴は、前記ピストン本体の周方向に間隔をあけて複数設けられ、前記一対の第一流路のそれぞれは、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記一対の第二流路のそれぞれは、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記第一プランジャ及び前記第一付勢部材は、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第二プランジャ及び前記第二付勢部材は、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第一逆止弁は、前記複数の第一流路のそれぞれに内装され、前記第二逆止弁は、前記複数の第二流路のそれぞれに内装され、前記複数の第一プランジャのそれぞれが前記第一付勢部材による付勢で前記第一内輪の内周面に常時接触し、前記複数の第二プランジャのそれぞれは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二内輪の内周面に常時接触している、ようにすることもできる。

このようにすれば、上記構成のアクチュエータでは、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の一方側に回転させると、ピストン本体が第一内輪に対して相対的に回転する。これに伴い、、第一内輪（第一内輪の内周面）がピストン本体の周方向に間隔をあけて配置された複数の第一プランジャのそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、上記構成のアクチュエータでは、回転軸を周方向の一方向側に回転させると、複数の第一プランジャのそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴内で往復動する。これにより、内部空間の第一端側から内部空間の第二端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部を境にした内部空間の第二端側の圧力を短時間で高めることができる。

また、上記構成のアクチュエータでは、モータの駆動を伝達して回転軸を周方向の他方側に回転させると、ピストン本体が第二内輪に対して相対的に回転する。これに伴い、第二内輪（第二内輪の内周面）がピストン本体の周方向に間隔をあけて配置された複数の第二プランジャのそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、上記構成のアクチュエータでは、回転軸を軸心周りにおける他方向側に回転させると、複数の第二プランジャのそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴内で往復動する。これにより、内部空間の第二端側から内部空間の第一端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部を境にした内部空間の第一端側の圧力を短時間で高めることができる。従って、上記構成のアクチュエータは、ピストンロッドを内部空間の第一端側又は内部空間の第二端側に高速で移動させることができる。

そして、前記ピストン部は、前記外輪と前記第一内輪との間に設けられる第一ワンウェイクラッチと、前記外輪と前記第二内輪との間に設けられる第二ワンウェイクラッチとを備え、前記第一ワンウェイクラッチは、周方向の一方側における前記第一内輪のトルクのみを前記外輪に伝達可能に構成され、前記第二ワンウェイクラッチは、周方向の他方側における前記第二内輪のトルクのみを前記外輪に伝達可能に構成される、ようにすることもできる。

このようにすれば、回転軸を周方向の一方側に回転させると、第一内輪には、第一プランジャから周方向の一方側のトルクが伝達され、第二内輪には、第二プランジャから周方向の一方側のトルクが伝達される。そして、第一ワンウェイクラッチによって、第一内輪のトルクのみが外輪に伝達される。これにより、ピストン本体が第一内輪に対して相対回転する。従って、上記構成のアクチュエータでは、第一プランジャのみが第一プランジャ穴内で往復動し、ピストン部を境にした内部空間の第一端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第二端側に送り込まれる。

そして、回転軸を周方向の他方側に回転させると、第一内輪には、第一プランジャから周方向の他方側のトルクが伝達され、第二内輪には、第二プランジャから周方向の他方側のトルクが伝達される。そして、第二ワンウェイクラッチによって、第二内輪のトルクのみが外輪に伝達される。これにより、ピストン本体が第二内輪に対して相対回転する。従って、上記構成のアクチュエータでは、第二プランジャのみが第二プランジャ穴内で往復動し、ピストン部を境にした内部空間の第二端側にある作動油がピストン部を境にした内部空間の第一端側に送り込まれる。

以上のように、本発明に係るアクチュエータによれば、油圧シリンダと同等の性能を発揮しつつも小型化及び軽量化することができるという優れた効果を奏し得る。

図１は、本発明の第一実施形態に係るアクチュエータの正面図である。 図２は、第一実施形態に係るアクチュエータの平面図である。 図３は、第一実施形態に係るアクチュエータの断面図であって、図２のＡ−Ａ断面図である。 図４は、第一実施形態に係るアクチュエータの断面図であって、図１のＢ−Ｂ断面図である。 図５は、第一実施形態に係るアクチュエータの断面図であって、図１のＣ−Ｃ断面図である。 図６は、第一実施形態に係るアクチュエータの断面図であって、図６（ａ）は、頭部と第一カム部とに跨った部分拡大断面図であって、第一延出ピン近傍の部分拡大断面図であり、図６（ｂ）は、第一本体部と第二カム部とに跨った部分拡大断面図であって、第一延出ピン近傍の部分拡大断面図である。 図７は、本発明の第二実施形態に係るアクチュエータの正面図である。 図８は、第二実施形態に係るアクチュエータの平面図である。 図９は、第二実施形態に係るアクチュエータの断面図であって、図８のＤ−Ｄ断面図である。 図１０は、第二実施形態のアクチュエータの断面図であって、図７のＥ−Ｅ断面図である。 図１１は、第二実施形態のアクチュエータの断面図であって、図７のＦ−Ｆ断面図である。

＜第一実施形態＞
以下、本発明の第一実施形態に係るアクチュエータについて、図１〜図７を参照しながら詳細に説明する。

アクチュエータは、図１乃至図３に示す如く、第一端面と該第一端面の反対側の第二端面とを有する外観円柱状のシリンダ本体２と、該シリンダ本体２の第一端面から突出するピストンロッド３と（図３参照）、シリンダ本体２の第二端面に挿通される回転軸４とを備える。

より具体的に説明する。アクチュエータ１は、図３に示す如く、一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間２０であって、一方向に延びるように形成された内部空間２０を有するシリンダ部２１と、該シリンダ部２１の内部空間２０の両端を閉塞する一対の閉塞部２２，２３とを含み、前記内部空間２０に作動油（図示しない）が充填されるシリンダ本体２と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部３０であって、前記一対の閉塞部２２，２３のうちの一方の閉塞部２２に液密状態で挿通されたロッド部３０と、該ロッド部３０の基端に同心で連結されたピストン部３１であって、前記内部空間２０に内装されたピストン部３１とを含むピストンロッド３と、前記一対の閉塞部２２，２３のうちの他方の閉塞部２３に挿通された回転軸４とを備える。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１は、有底筒状のガイドカバー５であって、開口部に対してシリンダ本体２がスライド可能に挿入されるガイドカバー５を備えている。ガイドカバー５におけるシリンダ本体２が挿入される側とは反対側の端部（底部）には、回転軸挿通穴５０が設けられている。回転軸挿通穴５０は、最も内側にあるガイド嵌着部５００と、ガイド嵌着部５００よりも外側にあるベアリング嵌着部５０１とで構成される。

回転軸挿通穴５０のガイド嵌着部５００には、ベアリング嵌着部５０１よりも内部空間２０の第二端側に位置する。そして、回転軸挿通穴５０のベアリング嵌着部５０１には、ベアリングＢが嵌着される。これに伴い、本実施形態に係るアクチュエータ１では、回転軸４がガイドカバー５からも突出している。

シリンダ本体２の内部空間２０内には、作動油（図示しない）が充填されている。すなわち、シリンダ本体２のピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側及び第二端側（一方向の一方側の領域及び一方向の他方側の領域）の何れにも作動油が充満されている。

本実施形態において、内部空間２０は、丸穴状に形成されている。より具体的には、シリンダ部２１は、第一端部と第二端部とを有し、真円筒状に形成されている。これにより、内部空間２０は、シリンダ部２１の内穴で構成されている。

一対の閉塞部２２，２３のうちの一方の閉塞部２２（本実施形態においては、内部空間２０の第二端側の閉塞部２２）は、シリンダ部２１の開口端部に嵌入される円板状の嵌入部２２０と、嵌入部２２０の第一端に連続するフランジ部２２１とを備える。

嵌入部２２０の外周には、環状溝２２２が形成されている。環状溝２２２内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。これにより、閉塞部２２は、シリンダ部２１の第一端部に液密に嵌入されている。そして、嵌入部２２０がシリンダ部２１の第一端部に嵌入された状態で、フランジ部２２１がシリンダ部２１の第一端部に固定（本実施形態においてはネジ止め）されている。これにより、シリンダ部２１の第一端部が一方の閉塞部２２によって封止される。

さらに、一方の閉塞部２２には、内部空間２０の穴中心と同心をなす筒状のロッド挿通部２２３が外方に向けて突出するように設けられている。ロッド挿通部２２３の内周面には、環状の溝２２４が形成されている。そして、この溝２２４内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。

これに対し、一対の閉塞部２２，２３のうちの他方の閉塞部２３（本実施形態においては、内部空間２０の第一端側の閉塞部２３）は、シリンダ部２１の第二端部に嵌入可能な円板状に形成されている。これに伴い、本実施形態に係るアクチュエータ１は、閉塞部２３をシリンダ部２１の第二端に固定する円環状の押部材２３１を備える。

他方の閉塞部２３の外周には、環状溝２３２が形成されている。環状溝２３２内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。これにより、閉塞部２３は、シリンダ部２１の第二端部に液密に嵌入されている。さらに、他方の閉塞部２３には、内部空間２０の穴中心と同心をなすガイド部挿通穴２３３が設けられている。ガイド部挿通穴２３３の内周面には、環状の溝２３４が設けられている。そして、環状の溝２３４には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。

押部材２３１は、シリンダ本体２の第二端部に螺合されている。これにより、他方の閉塞部２３の嵌入部２３０の外周部が押部材２３１によって押圧され、シリンダ部２１の第二端部が他方の閉塞部２３によって封止される。

ピストンロッド３のロッド部３０の外径は、ロッド挿通部２２３の穴径と略同等に設定されている。ロッド部３０は、ロッド挿通部２２３に挿通された状態で、ロッド挿通部２２３の内周面上の溝２２４に嵌着されたシール材Ｓが該ロッド部３０の外周全周に亘って密接するようになっている。

ピストンロッド３のピストン部３１は、軸心回りで回転不能に内部空間２０に内装される。また、ピストンロッド３のピストン部３１には、他方の閉塞部２３側で開口した非貫通状態の軸挿入穴３００が形成されている。

ピストン部３１の外径は、シリンダ部２１の内部空間２０の穴径と略同等に設定されている。そして、ピストン部３１は、内部空間２０に対して同心で内装されている。なお、ピストン部３１の外周の全周には、無端環状の溝（採番しない）が形成される。そして、その溝には、Ｏリング（採番しない）が嵌着されている。これにより、本実施形態に係るアクチュエータ１において、ピストン部３１の一方向（内部空間２０の穴中心方向（ピストンロッド３の軸心方向））における移動が許容されつつ、ピストン部３１の外周面とシリンダ部２１の内周面との間が液密になっている。

ピストン部３１には、前記軸挿入穴３００に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴３３０が設けられている。本実施形態では、図４に示す如く、周方向に間隔をあけて複数の第一プランジャ穴３３０，３３０…が設けられている。そして、複数の第一プランジャ穴３３０，３３０…のそれぞれには、第一プランジャ穴３３０の穴中心方向で移動可能な第一プランジャ３３１と、第一プランジャ３３１を軸挿入穴３００に向けて付勢する第一付勢部材３３２とが内装されている。

より具体的に説明する。ピストン部３１には、半径方向で貫通した貫通穴が軸挿入穴３００回りに複数設けられている。そして、貫通穴の外側の開口部にプラグＰが嵌着されている。これにより、非貫通状態の第一プランジャ穴３３０が軸挿入穴３００回りに複数形成されている。本実施形態において、第一プランジャ穴３３０が四つ設けられている。四つの第一プランジャ穴３３０，３３０…は、等間隔（９０°毎）に配置されている。

第一プランジャ穴３３０には、ピン状の第一プランジャ３３１と第一付勢部材であるコイルバネ３３２とが同心で内装されている。本実施形態において、第一プランジャ３３１及び第一付勢部材（コイルバネ）３３２が貫通穴に挿入され、その上で貫通穴にプラグＰが嵌着されている。これにより、第一プランジャ３３１及び第一付勢部材（コイルバネ）３３２が第一プランジャ穴３３０に内装された状態になっている。なお、プラグＰは、外周に形成された環状の溝（採番しない）にシール材（Ｏリング）（採番しない）が嵌着されている。これにより、貫通穴の内周面と当該プラグＰとの間が液密になっている。

第一プランジャ３３１の外径は、第一プランジャ穴３３０の穴径と略同径に設定されている。第一プランジャ３３１は、外周面を第一プランジャ穴３３０の内周面に摺接させた状態で自己の軸心方向に移動可能になっている。また、第一プランジャ３３１の先端部は、丸みを持った半球状に形成される。

第一付勢部材（コイルバネ）３３２は、プラグＰと第一プランジャ３３１の基端との間に介在している。そのため、第一付勢部材３３２は、第一プランジャ３３１を軸挿入穴３００（ピストン部３１の中心）に向けて付勢するようになっている。これにより、第一付勢部材３３２は、第一プランジャ３３１の先端を後述する第一カム部４１の外周に常時接触させる。第一付勢部材３３２の撓み代は、第一プランジャ３３１の先端部が第一プランジャ穴３３０から軸挿入穴３００内に突出した状態と該第一プランジャ３３１全体が第一プランジャ穴３３０内に押し込まれた状態とにできるように設定される。

図３に戻り、ピストン部３１には、第一プランジャ穴３３０の両側に形成され、該第一プランジャ穴３３０を介して前記内部空間２０の第一端側と前記内部空間２０の第二端側とを連通させる一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂが設けられている。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれには、前記内部空間２０の第一端側から前記内部空間２０の第二端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間２０の第二端側から前記内部空間２０の第一端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第一逆止弁３３４が内装されている。そして、一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂは、第一プランジャ３３１（第一プランジャ穴３３０）毎に設けられている。従って、第一逆止弁３３４は、一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれに設けられている。

より具体的に説明する。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれは、一方向（内部空間２０と同方向）に延びるように形成されている。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれは、途中位置に形成された大径穴部３３３ｃと、大径穴部３３３ｃの両側に形成された一対の小径穴部３３３ｄ，３３３ｄとを備える。

一方の第一流路３３３ａ（内部空間２０の第一端側の第一流路３３３ａ）は、一方の小径穴部３３３ｄが内部空間２０の第一端側に連続し、他方の小径穴部３３３ｄが第一プランジャ穴３３０に連続するようになっている。

そして、一方の第一流路３３３ａの大径穴部３３３ｃには、小径穴部３３３ｄの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３３４ａと、該玉弁３３４ａを内部空間２０の第一端側に付勢するコイルバネ３３４ｂとが内装されている。これにより、第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４が形成されている。一方の第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４は、コイルバネ３３４ｂによる付勢で、一方の小径穴部３３３ｄ（内部空間２０の第一端側にある小径穴部３３３ｄ）と大径穴部３３３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３３４ａが押し付けられることで、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｄを閉塞するようになっている。

これにより、一方の第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４において、内部空間２０の第一端側から当該一方の第一流路３３３ａに作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力に抗して第一プランジャ穴３３０側に押される。従って、作動油が内部空間２０の第一端側から第一プランジャ穴３３０に流通可能となる。その一方で、第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力で段差部分に圧接した状態になる。これにより、玉弁３３４ａは、小径穴部３３３ｄを閉塞する。従って、第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込むことが防止される。

他方の第一流路３３３ｂ（内部空間２０の第一端側の第一流路３３３ａ）は、一方の小径穴部３３３ｄが第一プランジャ穴３３０に連続し、他方の小径穴部３３３ｄが内部空間２０の第二端側に連続するようになっている。

そして、他方の第一流路３３３ｂの大径穴部３３３ｃには、小径穴部３３３ｃの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３３４ａと、該玉弁３３４ａを内部空間２０の第一端側に付勢するコイルバネ３３４ｂとが内装されている。これにより、他方の第一流路３３３ｂの第一逆止弁３３４が形成されている。かかる第一逆止弁３３４は、コイルバネ３３４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３３３ｃと大径穴部３３３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３３４ａが押し付けられることで、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｃを閉塞するようになっている。

これにより、他方の第一流路３３３ｂの第一逆止弁３３４は、第一プランジャ穴３３０内から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第二端側に押される。これにより、作動油が第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第二端側に流通可能となる。その一方で、内部空間２０の第二端側から第一プランジャ穴３３０に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力で段差部分に圧接した状態になる。これにより、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｃを閉塞する。従って、第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込むことが防止される。

さらに、ピストン部３１には、図５に示す如く、第一プランジャ３３０（第一流路３３３ａ（３３３ｂ））に対してロッド部３０の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記軸挿入穴３００に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴３４０が設けられている。本実施形態において、第二プランジャ穴３４０は、周方向に間隔をあけて複数設けられている。そして、複数の第二プランジャ穴３４０，３４０…のそれぞれには、第二プランジャ穴３４０の穴中心方向で移動可能な第二プランジャ３４１と、第二プランジャ３４１を軸挿入穴３００に向けて付勢する第二付勢部材３４２とが内装されている。

より具体的に説明する。ピストン部３１には、半径方向で貫通した貫通穴が軸挿入穴３００回りに複数設けられている。そして、貫通穴の外側の開口部にプラグＰが嵌着されている。これにより、非貫通状態の第二プランジャ穴３４０が軸挿入穴３００回りに複数形成されている。本実施形態において、第二プランジャ穴３４０は、四つ設けられている。四つの第二プランジャ穴３４０，３４０…は、等間隔（９０°毎）に配置されている。また、本実施形態に係る第二プランジャ穴３４０，３４０…のそれぞれは、第一プランジャ穴３３０，３３０…のそれぞれに対してロッド部３０の軸心方向でもずれた位置に形成されている（図３参照）。

第二プランジャ穴３４０には、ピン状の第二プランジャ３４１と第二付勢部材であるコイルバネ３４２とが同心で内装されている。本実施形態において、第二プランジャ穴３４１及び第二付勢部材（コイルバネ）３４２が貫通穴に挿入され、その上で貫通穴にプラグＰが嵌着されている。これにより、第二プランジャ３４０及び第二付勢部材（コイルバネ）３４２が第二プランジャ穴３４０に内装された状態になっている。なお、プラグＰは、外周に形成された環状の溝（採番しない）にシール材（Ｏリング）（採番しない）が嵌着されている。これにより、貫通穴の内周面と当該プラグＰとの間が液密になっている。

第二プランジャ３４１の外径は、第二プランジャ穴３４０の穴径と略同径に設定されている。第二プランジャ穴３４１は、外周面を第二プランジャ穴３４０の内周面に摺接させた状態で自己の軸心方向に移動可能になっている。また、第二プランジャ穴３４１の先端部は、丸みを持った半球状に形成される。

第二付勢部材（コイルバネ）３４２は、プラグＰと第二プランジャ穴３４０の基端との間に介在している。そのため、第二付勢部材（コイルバネ）３４２は、第二プランジャ３４１を軸挿入穴３００（ピストン部３１の中心）に向けて付勢するようになっている。これにより、第二付勢部材３４２は、第二プランジャ穴３４１の先端を後述する第二カム部４２の外周に常時接触させる。第二付勢部材３４２の撓み代は、第二プランジャ穴３４１の先端部が第二プランジャ穴３４０から軸挿入穴３００内に突出した状態と該第二プランジャ穴３４１全体が第二プランジャ穴３４０内に押し込まれた状態とにできるように設定される。

図３に戻り、ピストン部３１には、第二プランジャ穴３４０の両側に形成され、該第二プランジャ穴３４０を介して前記内部空間２０の第一端側と前記内部空間２０の第二端側とを連通させる一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂが設けられている。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれには、前記内部空間２０の第二端側から前記内部空間２０の第一端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間２０の第一端側から前記内部空間２０の第二端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第二逆止弁３４４が内装されている。そして、一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂは、第二プランジャ穴３４１（第二プランジャ穴３４０）毎に設けられている。従って、第二逆止弁３４４は、一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれに設けられている。

より具体的に説明する。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれは、一方向（内部空間２０と同方向）に延びるように形成されている。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれは、途中位置に形成された大径穴部３４３ｃと、大径穴部３４３ｃの両側に形成された一対の小径穴部３４３ｄ，３４３ｄとを備える。

一方の第二流路３４３ａ（内部空間２０の第二端側の第二流路３４３ａ）は、一方の小径穴部３４３ｄが第二プランジャ穴３４０に連続し、他方の小径穴部３４３ｄが内部空間２０の第二端側に連続するようになっている。

そして、一方の第二流路３４３ａの大径穴部３４３ｃ内には、小径穴部３４３ｄの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３４４ａと、該玉弁３４４ａを内部空間２０の第二端側に付勢するコイルバネ３４４ｂとが内装されている。これにより、一方の第二流路３４３ａの第二逆止弁３４４が形成されている。第二逆止弁３４４は、コイルバネ３４４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３４３ｄと大径穴部３４３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３４４ａが押し付けられることで、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｄを閉塞するようになっている。

これにより、一方の第二流路３４３ａの第二逆止弁３４４において、内部空間２０の第二端側から第二プランジャ穴３４０に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第一端側に押される。従って、作動油が内部空間２０の第二端側から第二プランジャ３４１に流通可能となる。その一方で、第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力で段差部分に圧接した状態になる。これにより、玉弁３４４ａは、小径穴部３４３ｄを閉塞する。従って、第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込むことが阻止される。

他方の第二流路３４３ｂ（内部空間２０の第一端側の第二流路３４３ｂ）は、一方の小径穴部３４３ｄが内部空間２０の第一端側に連続し、他方の小径穴部３４３ｄが第二プランジャ穴３４０に連続するようになっている。

そして、他方の第二流路３４３ｂの大径穴部３４３ｃには、小径穴部３４３ｃの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３４４ａと、該玉弁３４４ａを内部空間２０の第二端側に付勢するコイルバネ３４４ｂとが内装されている。これにより、他方の第二流路３４３ｂの第二逆止弁３４４が形成されている。かかる第二逆止弁３４４は、コイルバネ３４４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３４３ｃと大径穴部３４３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３４４ａが押し付けられることで、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｃを閉塞するようになっている。

これにより、他方の第二流路３４３ｂの第二逆止弁３４４は、第二プランジャ穴３４０内から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第一端側に押される。これにより、作動油が第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第一端側に流通可能となる。その一方で、内部空間２０の第一端側から第二プランジャ穴３４０に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力で段差部分に圧接する。これにより、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｃを閉塞する。従って、内部空間２０の第一端側から第二プランジャ穴３４０内に作動油が流れ込むことが防止される。

さらに、本実施形態に係るピストンロッド３は、第一端部と第二端部とを有するガイド部３２であって、第一端部がピストン部３１におけるロッド部３０が連結されている側の反対側に対して連結される筒状のガイド部３２を備えている。これにより、本実施形態に係るピストンロッド３は、ロッド部３０の内穴と、ピストン部３１の内穴と、ガイド部３２の内穴とが連続することで軸挿入穴３００を形成している。

前記回転軸４は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸本体４０であって、第一端部から前記軸挿入穴３００に挿入されるとともに、第二端部がシリンダ本体２から外方に延出した軸本体４０と、軸本体４０の軸心に対して偏心するように、軸本体４０の第一端部に連結される第一カム部４１であって、軸本体４０から周方向の一方側のトルクのみが伝達される第一カム部４１と、軸本体４０の軸心に対して偏心するように、軸本体４０の第一端部に連結される第二カム部４２であって、軸本体４００から周方向の他方側のトルクのみが伝達される第二カム部４２とを備える。

さらに、回転軸４は、軸本体４０と第一カム部４１との間に設けられる第一ワンウェイクラッチ４４と、軸本体４０と第二カム部４２との間に設けられる第二ワンウェイクラッチ４５とを備える。

軸本体４０は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸状の大径部４００と、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有し、該第一端部が大径部４００の第一端部に対して同心で連結される小径部４０１と、小径部４０１の先端部に連結される頭部４３とを備える。

大径部４００の第一端部には、環状の溝４００ａが形成されている。そして、この溝４００ａ内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。また、大径部４００の第二端部には、ガイドカバー５のベアリングＢが外嵌される軸支部４００ｂと、軸支部４００ｂに連続して設けられた入力部４００ｃであって、別途モータの出力軸に対して直接的又は間接的に連結される入力部４００ｃとを備えている。

そして、大径部４００の軸支部４００ｂ、入力部４００ｃのそれぞれは、互いに同心で形成される。そして、軸本体４０は、ガイド部挿通穴２３３に直接的又は間接的に挿通されている。本実施形態においては、ピストンロッド３のガイド部３２が挿通されている。そのため、軸本体４０は、ガイド部３２を介してガイド部挿通穴２３３に挿通されている。また、軸本体４０の入力部４００ｃは、他方の閉塞部２３（ガイドカバー５）の外方に位置している。

本実施形態に係る小径部４０１の外径は、大径部４００の外径よりも小さくなるように設定されている。そして、頭部４３の外径は、小径部４０１の外径よりも大きくなるように（大径部４００の外径と略同等となるように）設定されている。

第一カム部４１には、小径部４０１が挿通されている。これにより、第一カム部４１は、軸本体４０に対して相対的に回転できる。また、第一カム部４１は、第一プランジャ３３０に対応する位置に配置されている。これにより、第一カム部４１には、第一付勢部材３３２によって付勢された第一プランジャ３３０が常時接触している。

また、第一カム部４１は、ピストンロッド３の軸挿入穴３００の穴径よりも小径に設定されている。そして、第一カム部４１は、回転軸４の回転中心に対して偏心している。さらに、本実施形態に係る、第一カム部４１は、軸本体４０の小径部４０１が挿通されており、回転軸４に対して相対的に回転可能に構成されている。そのため、第一カム部４１は、回転軸４全体を回転させたときに、偏心方向の最も外側にある外周面が軸挿入穴３００の内周面に沿って移動する（回転する）ようになっている。

第二カム部４２は、小径部４０１が挿通されている。これにより、第二カム部４２は、軸本体４０に対して相対的に回転できる。また、第二カム部４２は、第二プランジャ３４０に対応する位置に配置されている。これにより、第二カム部４２には、第二付勢部材３４２によって付勢された第二プランジャ３４０が常時接触している。

また、第二カム部４２は、ピストンロッド３の軸挿入穴３００の穴径よりも小径に設定されている。そして、第二カム部４２は、回転軸４の回転中心に対して偏心している。さらに、本実施形態に係る第二カム部４２は、軸本体４０の小径部４０１が挿通されており、回転軸４に対して相対的に回転可能に構成されている。そのため、第二カム部４２は、回転軸４全体を回転させたときに、偏心方向の最も外側にある外周面が軸挿入穴３００の内周面に沿って移動する（回転する）ようになっている。

第一ワンウェイクラッチ４４は、軸本体４０から周方向の一方側のトルクのみを第一カム部４１に伝達するように構成される。これにより、第一ワンウェイクラッチ４４は、軸本体４０から周方向の一方側のトルクのみを第一カム部４１に伝達するように構成されている。第一ワンウェイクラッチ４４は、第一カム部４１と頭部４３とに跨って設けられている。また、第二ワンウェイクラッチ４５は、第二カム部４２と大径部４００とに跨って設けられている。

より具体的に説明する。第一ワンウェイクラッチ４４は、図６（ａ）に示す如く、第一カム部４１に内装される第一延出ピン４４０であって、該第一カム部４１から頭部４３に向けて出退可能な第一延出ピン４４０と、頭部４３に形成される第一切欠部４４１とを備える。

本実施形態に係る第一ワンウェイクラッチ４４は、第一カム部４１に設けられる第一収容穴４４２に第一収容穴であって、第一延出ピン４４０を収容可能な第一収容穴４４２と、第一延出ピン４４０とともに該第一収容穴４４２に収容される第三付勢部材４４３であって、第一延出ピン４４０を頭部４３に向けて付勢する第三付勢部材４４３とを備えている。これにより、本実施形態に係る第一延出ピン４４０は、頭部４３に形成された第一切欠部４４１に対して出退可能に構成されている。

第一切欠部４４１は、頭部４３の端部（小径部４０１が設けられている側の端部）の周縁部が部分的に切り欠かれることによって、円弧状をなすように形成されている。また、第一切欠部４４１は、周方向における一端と該一端の反対側の他端とを有する。そして、頭部４３における第一切欠部４４１の一端を画定する部分は、軸本体４０の軸線方向で真っ直ぐに延びている。さらに、頭部４３における第一切欠部４４１の他端を画定する部分は、軸本体４０の軸心周りの周方向において第一切欠部４４１の他端から離間する方向で凸状に湾曲している。

第二ワンウェイクラッチ４５は、図６（ｂ）に示す如く、第二カム部４２に内装され、該第二カム部４２から大径部４００の第一端部に向けて出退可能な第二延出ピン４５０と、大径部４００の第一端部に形成される第二切欠部４５１とが設けられている。

本実施形態に係る第二ワンウェイクラッチ４５は、第二カム部４２に設けられる第二収容穴４５２であって、第二延出ピン４５０を収容可能な第二収容穴４５２と、第二カム部４２とともに該第二収容穴４５２に収容される第四付勢部材４５３であって、該第二カム部４２を軸本体４０の大径部４００の第一端部に向けて付勢する第四付勢部材４５３とを備えている。これにより、本実施形態に係る第二延出ピン４５０は、大径部４００の第一端部に対して出退可能に構成されている。

第二切欠部４５１は、円弧状をなしており、周方向における一端と該一端の反対側の他端とを有する。そして、大径部４００における第二切欠部４５１の他端を画定する部分は、該大径部４００の軸線方向で真っ直ぐに延びている。そして、大径部４００における第二切欠部４５１の他端を画定する部分は、当該大径部４００の軸心周方向において第二切欠部４５１の一端から離間する方向で凸状に湾曲している。これにより、第二カム部４２は、軸本体４０から周方向の他方側のトルクのみが伝達されるように構成されている。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、ピストン部３１が内部空間２０の最も第一端側に位置した状態と、ピストン部３１が内部空間２０の最も第二端側に位置した状態とを検知する位置検知手段（図示しない）を備えている。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、以上の通りであり、次に、該アクチュエータ１の作動について説明する。

本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動によって、該回転軸４を周方向の一方向側に回転させると、第一ワンウェイクラッチ４４の第一延出ピン４４０が第一切欠部４４１の一端に係合する。そのため、第一カム部４１には、軸本体４０からのトルクが伝達される。これにより、第一カム部４１は、軸本体４０を中心に回転する。

これに対し、第二ワンウェイクラッチ４５の第二延出ピン４５０は、第二切欠部４５２に接触すると、該第二切欠部４５２の形状に沿って軸本体４０の軸線方向で移動する。そのため、第二延出ピン４０が第二収容穴４５２内に退く。これにより、第二カム部４２には、軸本体４０からのトルクが伝達されない。従って、第二カム部４２は、停止又は略停止した状態になる。

このようにすると、第一カム部４１は、軸挿入穴３００回りに配置された複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれを順々に押圧して第一プランジャ穴３３０に押し込む。そして、回転軸４の回転に伴い、第一カム部４１による押圧が解除された第一プランジャ３３１は、第一付勢部材３３２の付勢で軸挿入穴３００側に突出する。

従って、回転軸４が周方向の一方側に回転することで、複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴３３０内で往復動する。これに伴い、第一プランジャ穴３３０の空間（第一プランジャ３３１の存在しない領域）が容積変化する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴３３０に流入してピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に押し出される。

具体的には、第一プランジャ穴３３０に押し込まれた第一プランジャ３３１が回転軸４側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）に、内部空間２０内に充填された作動油（ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側の領域にある作動油）が一方の第一流路３３３ａを通って第一プランジャ穴３３０に引き込まれる。そして、第一プランジャ３３１が最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了する。この状態で、一方の第一流路３３３ａ内の第一逆止弁３３４の作用により、第一プランジャ穴３３０内に引き込まれた作動油が、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側に逆流することが阻止される。

これに対し、第一プランジャ３３１が第一プランジャ穴３３０に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に、第一プランジャ穴３３０内にある作動油が他方の第一流路３３３ｂを通ってピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に押し出される。そして、第一プランジャ３３１が第一プランジャ穴３３０に最大に押し込まれた状態で、内部空間２０の第二端側に対する作動油の押し出しが完了する。この状態で、他方の第一流路３３３ｂ内の第一逆止弁３３４の作用により、内部空間２０の第一端側に押し出された作動油が第一プランジャ穴３３０に逆流することが阻止される。

このように、内部空間２０の第一端側にある作動油が、内部空間２０の第二端側に送られると、内部空間２０の第二端側が作動油で充満する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端部側の圧力が高まる結果、ピストン部３１がシリンダ本体２に対して相対的に内部空間２０の第二端側へ移動する。

そして、本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動によって、該回転軸４を周方向の他方側に回転させると、第二ワンウェイクラッチ４５の第二延出ピン４５０が第二切欠部４５１の他端に係合する。そのため、第二カム部４１には、軸本体４０からのトルクが伝達される。これにより、第二カム部４２は、軸本体４０を中心に回転する。

これに対し、第一ワンウェイクラッチ４４の第一延出ピン４４０は、第一切欠部４４２の形状に沿って軸本体４０の軸線方向で移動し、第一収容穴４４２内に退く。そのため、第一カム部４１には、軸本体４０からのトルクが伝達されない。これにより、第一カム部４２は、停止又は略停止した状態になる。

このようにすると、第二カム部４２は、軸挿入穴３００回りに配置された複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれを順々に押圧して第二プランジャ穴３４０に押し込む。そして、回転軸４の回転に伴い、第二カム部４２による押圧が解除された第二プランジャ３４１は、第二付勢部材３４２の付勢で軸挿入穴３００側に突出する。

従って、回転軸４が軸心周りにおける他方側に回転することで、複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴３４０内で往復動する。これに伴い、第二プランジャ穴３４０の空間（第二プランジャ３４１の存在しない領域）が容積変化する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴３４０に流入してピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側に押し出される。

より具体的に説明する。第二プランジャ穴３４０に押し込まれた第二プランジャ３４１が回転軸４側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）に、内部空間２０内に充填された作動油（ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側の領域にある作動油）が一方の第二流路３４３ａを通って第二プランジャ穴３４０に引き込まれる。そして、第二プランジャ３４１が最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了する。この状態で、一方の第二流路３４３ａ内の第二逆止弁３４４の作用により、第二プランジャ穴３４０に引き込まれた作動油が、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に逆流することが阻止される。

これに対し、第二プランジャ３４１が第二プランジャ穴３４０に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に、第二プランジャ穴３４０内にある作動油が他方の第二流路３４３ｂを通ってピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に押し出される。そして、第二プランジャ３４１が第二プランジャ穴３４０に最大に押し込まれた状態で、内部空間２０の第二端側に対する作動油の押し出しが完了する。この状態で、他方の第二流路３４３ｂ内の第二逆止弁３４４の作用により、内部空間２０の第一端側に押し出された作動油が第二プランジャ穴３４０側に逆流することが阻止される。

このように、内部空間２０の第二端側にある作動油が、内部空間２０の第一端側に送られると、内部空間２０の第一端側が作動油で充満する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端部側の圧力が高まる結果、ピストン部３１がシリンダ本体２に対して相対的に内部空間２０の第二端側へ移動する。

従って、上記アクチュエータ１において、上記動作が繰り返されることでピストンロッド３全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

本実施形態に係るアクチュエータ１では、ガイドカバー５が位置固定される場合、ピストンロッド３及び回転軸４に対してシリンダ本体２が軸線方向で往復動する。このようにする場合、アクチュエータ１は、動力を伝達する対象物をシリンダ本体２に対して連結することで、当該対象物に動力を伝達することができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１では、シリンダ本体２が位置固定される場合、シリンダ本体２に対してピストンロッド３及び回転軸４が軸線方向で往復動する。このようにする場合、アクチュエータ１は、動力を伝達する対象物をロッド３に対して連結することで、当該対象物に動力を伝達することもできる。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ１は、シリンダ本体２内（内部空間２０内）のピストン部３１に作動油の流体圧を作用させてピストンロッド３を移動させる。これにより、アクチュエータ１は、油圧シリンダと同等の性能を発揮することができる。また、アクチュエータ１は、シリンダ本体２内のみで作動油を流動させるとともに、シリンダ本体２内に作動油を流動させる構成が内装される。これにより、アクチュエータ１は、小型化及び軽量化したものになる。従って、本実施形態に係るアクチュエータ１は、油圧シリンダと同等の性能を発揮しつつも小型化及び軽量化することができるという優れた効果を奏し得る。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動を伝達して回転軸４を周方向の一方側に回転させると、第一カム部４１が該回転軸４を中心に回転して軸挿入穴３００回りに配置された複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、本実施形態に係るアクチュエータ１では、回転軸４を周方向の一方向側に回転させると、複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴３３０内で往復動する。これにより、内部空間２０の第一端側から内部空間２０の第二端側への単位時間あたり（或いは回転軸４の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側の圧力を短時間で高めることができる。

そして、本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動を伝達して回転軸４を周方向の他方側に回転させると、第二カム部４２が該回転軸４を中心に回転して軸挿入穴３００回りに配置された複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれに対して順々に押圧とその解除を繰り返す。すなわち、本実施形態に係るアクチュエータ１では、回転軸４を周方向の他方向側に回転させると、複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴３４０内で往復動する。これにより、内部空間２０の第二端側から内部空間２０の第一端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側の圧力を短時間で高めることができる。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ１は、ピストン部３１を内部空間２０の第一端側又は内部空間２０の第二端側に高速で移動させることもできる。
＜第二実施形態＞

次に、本発明の第二実施形態に係るアクチュエータについて、図７〜図１１を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、第一実施形態で説明した構成と共通する構成或いは相当する構成については、第一実施形態と同一名称及び同一符号を付すこととする。

アクチュエータは、図７乃至図９に示す如く、第一端面と該第一端面の反対側の第二端面とを有する外観円柱状のシリンダ本体２と、該シリンダ本体２の第一端面から突出するピストンロッド３と（図９参照）、シリンダ本体２に挿通される回転軸４とを備える。

より具体的に説明する。アクチュエータ１は、図９に示す如く、一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間２０であって、一方向に延びるように形成された内部空間２０を有するシリンダ部２１と、該シリンダ部２１の前記内部空間２０の両端を閉塞する一対の閉塞部２２，２３とを含み、前記内部空間２０に作動油が充填されるシリンダ本体２と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部３０であって、前記一対の閉塞部２２，２３のうちの一方の閉塞部２２に液密状態で挿通されたロッド部３０と、該ロッド部３０の基端に同心で連結されたピストン部３１であって、前記内部空間２０に内装されたピストン部３１とを含むピストンロッド３と、前記一対の閉塞部２２，２３のうちの他方の閉塞部２３に挿通された回転軸４とを備える。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１は、有底筒状のガイドカバー５であって、開口部に対してシリンダ本体２がスライド可能に挿入されるガイドカバー５を備えている。ガイドカバー５におけるシリンダ本体２の第一端側が挿入される側とは反対側の端部（底部）には、当該ガイドカバー５に対して同心となるように回転軸挿通穴５０が設けられている。回転軸挿通穴５０は、最も内側にあるガイド嵌着部５００と、ガイド嵌着部５００よりも外側にあるベアリング嵌着部５０１とで構成される。

回転軸挿通穴５０のガイド嵌着部５００は、ベアリング嵌着部５０１よりも内部空間２０の第二端側に位置する。そして、回転軸挿通穴５０のベアリング嵌着部５０１には、ベアリングＢが嵌着される。これに伴い、本実施形態に係るアクチュエータ１では、回転軸４がガイドカバー５からも突出している。

シリンダ本体２の内部空間２０内には、作動油（図示しない）が充填されている。すなわち、シリンダ本体２のピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側及び内部空間２０の第二端側（一方向の一方側の領域及び一方向の他方側の領域）の何れにも作動油が充満されている。

本実施形態において、内部空間２０は、丸穴状に形成されている。より具体的には、シリンダ部２１は、第一端部と第二端部とを有し、真円筒状に形成されている。これにより、内部空間２０は、シリンダ部２１の内穴で構成されている。

一対の閉塞部２２，２３のうちの一方の閉塞部２２（本実施形態においては、内部空間２０の第二端側の閉塞部２２）は、第一端と該第一端の反対側の第二端とを有する嵌入部２２０，であって、シリンダ部２１の開口端部に嵌入される円板状の嵌入部２２０と、嵌入部２２０の第一端に連続するフランジ部２２１とを備える。

嵌入部２２０の外周には、環状溝２２２が形成されている。環状溝２２２内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。これにより、閉塞部２２は、シリンダ部２１の第一端部に液密に嵌入されている。そして、嵌入部２２０がシリンダ部２１の第一端部に嵌入された状態で、フランジ部２２１がシリンダ部２１の第一端部に固定（本実施形態においてはネジ止め）されている。これにより、シリンダ部２１の第一端部が一方の閉塞部２２によって封止される。

さらに、一方の閉塞部２２は、内部空間２０の穴中心と同心をなす筒状のロッド挿通部２２３が外方に向けて突出するように設けられている。ロッド挿通部２２３の内周面には、環状の溝２２４が形成されている。そして、この溝２２４内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。

これに対し、一対の閉塞部２２，２３のうちの他方の閉塞部２３（本実施形態においては、内部空間２０の第一端側の閉塞部２３）は、シリンダ部２１の第二端に嵌入可能な円板状に形成されている。これに伴い、本実施形態に係るアクチュエータ１は、閉塞部２３をシリンダ部２１の第二端に固定する円環状の押部材２３１を備える。

他方の閉塞部２３の外周には、環状溝２３２が形成されている。環状溝２３２内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。これにより、閉塞部２３は、シリンダ部２１の第二端部に液密に嵌入されている。さらに、他方の閉塞部２３には、内部空間２０の穴中心と同心をなすガイド部挿通穴２３３が設けられている。ガイド部挿通穴２３３の内周面には、環状の溝２３４が設けられている。そして、環状の溝２３４には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。

押部材２３１は、シリンダ本体２の第二端部に螺合されている。これにより、他方の閉塞部２３の嵌入部２３０の外周部が押部材２３１によって押圧され、シリンダ部２１の第二端部が他方の閉塞部２３によって封止される。

ピストンロッド３のロッド部３０の外径は、一方の閉塞部２２に設けられたロッド挿通部２２３の穴径と略同等に設定されている。ロッド部３０は、ロッド挿通部２２３に挿通された状態で、ロッド挿通部２２３を画定する内周面上の溝２２４に嵌着されたシール材Ｓに密接している。

本実施形態に係るピストン部３１は、ロッド部３０の基端に連続する第一受圧部３１０と、ロッド部３０の軸線方向で該第一受圧部３１０と間隔をあけて配置される第二受圧部３１１と、該第一受圧部３１０と該第二受圧部３１１とに挟まれたピストン本体３１２であって、前記回転軸４と連続するピストン本体３１２と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体３１２の外周を包囲する環状の第一内輪３１３と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体３１２の外周を包囲する環状の第二内輪３１４であって、ロッド部３０の軸心方向で前記第一内輪３１２と並ぶ第二内輪３１４と、該第一内輪３１３及び該第二内輪３１４の外周を包囲する環状の外輪３１５であって、前記内部空間２０に対して軸心周りで回転不能な外輪３１５とを備えている。

第一受圧部３１０の外径は、内部空間２０の内径と略同じになるように設定されている。第一受圧部３１０は、ピストン部３１におけるロッド部３０が連結されている側の端部に当接した状態になっている。そして、第一受圧部３１０には、ロッド部３０の軸心方向で貫通する第一貫通穴３１０ａが設けられている。

第二受圧部３１１は、後述するガイド部３２に連続する。第二受圧部３１１の外径は、内部空間２０の内径と略同じになるように設定されている。そして、第二受圧部３１１には、ロッド部３０の軸心方向で貫通する第二貫通穴３１１ａが設けられている。

ピストン本体３１２は、円柱状に形成されている。ピストン本体３１２は、内部空間２０と同心をなすように、該内部空間２０に内装されている。これにより、ピストン本体３１２の内穴は、ロッド部３０の内穴と連続している。

ピストン本体３１２には、図１０に示す如く、第一内輪３１３の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴３３０が設けられている。本実施形態では、第一プランジャ穴３３０は、周方向に間隔をあけて複数設けられている。そして、複数の第一プランジャ穴３３０，３３０…のそれぞれには、第一プランジャ穴３３０の穴中心方向で移動可能な第一プランジャ３３１と、該第一プランジャ３３１を第一内輪３１３（径方向外側）に向けて付勢する第一付勢部材３３２とが内装されている。

より具体的に説明する。本実施形態に係るピストン本体３１２には、外周面上で開口した非貫通状態の第一プランジャ穴３３０が周方向に間隔をあけて複数設けられている。本実施形態において、第一プランジャ穴３３０は、四つ設けられており、それぞれ等間隔（９０°毎）に配置されている。

第一プランジャ穴３３０には、外観ピン状の第一プランジャ３３１と第一付勢部材であるコイルバネ３３２とが同心で内装されている。

第一プランジャ３３１の外径は、第一プランジャ穴３３０の穴径と略同径に設定されている。これにより、第一プランジャ３３１の外周面が第一プランジャ穴３３０の内周面と摺接した状態で、当該第一プランジャ３３１が自己の軸心方向に移動可能になっている。第一プランジャ３３１の先端部は、丸みを持った半球状に形成されている。

第一付勢部材３３２は、第一プランジャ３３１を第一内輪３１３に向けて付勢する。これにより、第一付勢部材３３２は、第一プランジャ３３１の先端を第一内輪３１３の内周面に常時接触させる。また、第一付勢部材３３２の撓み代は、第一プランジャ３３１の先端部が第一プランジャ穴３３０から外側に突出した状態と、第一プランジャ３３１全体が第一プランジャ穴３３０内に押し込まれた状態とにできるように、設定されている。

図９に戻り、ピストン本体３１２には、第一プランジャ穴３３０の両側に形成され、当該第一プランジャ穴３３０を介して前記内部空間２０の第一端側と内部空間２０の第二端側とを連通させる一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂが設けられている。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれには、第一逆止弁３３４が内装されている。第一逆止弁３３４は、内部空間２０の第一端側から内部空間２０の第二端側に向けての作動油の流通を許容する一方で、内部空間２０の第二端側から内部空間２０の第一端側に向けての作動油の流通を阻止する。

一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂは、第一プランジャ３３１（第一プランジャ穴３３０）毎に設けられている。従って、第一逆止弁３３４は、一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれに設けられている。

より具体的に説明する。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれは、一方向（内部空間２０と同方向）に延びるように形成されている。一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂのそれぞれは、途中位置に形成された大径穴部３３３ｃと、大径穴部３３３ｃの両側に形成された一対の小径穴部３３３ｄ，３３３ｄとを備える。

一方の第一流路３３３ａ（内部空間２０の第一端側の第一流路３３３ａ）は、一方の小径穴部３３３ｄが内部空間２０の第一端側に連続し、他方の小径穴部３３３ｄが第一プランジャ穴３３０に連続するようになっている。なお、本実施形態においては、第二受圧部３１１の第二貫通穴３１１ａが一方の第一流路３３３ａの一構成となっている。

そして、一方の第一流路３３３ａの大径穴部３３３ｃには、小径穴部３３３ｄの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３３４ａと、該玉弁３３４ａを内部空間２０の第一端側に付勢するコイルバネ３３４ｂとが内装されている。これにより、第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４が形成されている。一方の第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４は、コイルバネ３３４ｂによる付勢で、一方の小径穴部３３３ｄ（内部空間２０の第一端側にある小径穴部３３３ｂ）と大径穴部３３３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３３４ａが押し付けられることで、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｄを閉塞するようになっている。

これにより、一方の第一流路３３３ａの第一逆止弁３３４において、内部空間２０の第一端側から当該一方の第一流路３３３ａに作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力に抗して第一プランジャ穴３３０側に押される。従って、作動油が内部空間２０の第一端側から第一プランジャ穴３３０に流通可能となる。その一方で、第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力で段差部分に圧接する。これにより、玉弁３３４ａは、小径穴部３３３ｄを閉塞する。従って、第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込むことが防止される。

他方の第一流路３３３ｂ（内部空間２０の第一端側の第一流路３３３ａ）は、一方の小径穴部３３３ｄが第一プランジャ穴３３０に連続し、他方の小径穴部３３３ｄが内部空間２０の第二端側に連続するようになっている。なお、本実施形態においては、第一受圧部３１０の第一貫通穴３１０ａが他方の第一流路３３３ｂの一構成となっている。

そして、他方の第一流路３３３ｂの大径穴部３３３ｃには、小径穴部３３３ｄの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３３４ａと、該玉弁３３４ａを内部空間２０の第一端側に付勢するコイルバネ３３４ｂとが内装されている。これにより、他方の第一流路３３３ｂの第一逆止弁３３４が形成されている。第一逆止弁３３４は、コイルバネ３３４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３３３ｄと大径穴部３３３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３３４ａが押し付けられることで、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｄを閉塞するようになっている。

これにより、他方の第一流路３３３ｂの第一逆止弁３３４は、第一プランジャ穴３３０内から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第二端側に押される。これにより、作動油が第一プランジャ穴３３０から内部空間２０の第一端側に流通可能となる。その一方で、内部空間２０の第二端側から第一プランジャ穴３３０に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３３４ａがコイルバネ３３４ｂの付勢力で段差部分に圧接する。これにより、玉弁３３４ａが小径穴部３３３ｄを閉塞する。従って、内部空間２０の第二端側から第一プランジャ穴３３０に作動油が流れ込むことが阻止される。

さらに、ピストン部３１には、第一プランジャ３３０（第一流路３３３ａ，３３３ｂ）に対してロッド部３０の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記第二内輪３１４の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴３４０が設けられている。本実施形態において、第二プランジャ穴３４０は、周方向に間隔をあけて複数設けられている。そして、複数の第二プランジャ穴３４０，３４０…のそれぞれには、第二プランジャ穴３４０の穴中心方向で移動可能な第二プランジャ３４１と、第二内輪３１４の内周面に向けて付勢する第二付勢部材３４２とが内装されている。

より具体的に説明する。本実施形態に係るピストン本体３１２には、外周面上で開口した非貫通状態の第二プランジャ穴３４０が周方向に間隔をあけて複数設けられている。本実施形態において、複数の第二プランジャ穴３４０，３４０…のそれぞれは、複数の第一プランジャ穴３３０，３３０…のそれぞれに対して回転軸４の軸心方向でもずれた位置に設けられている。また、本実施形態において、第二プランジャ穴３４０は、四つ設けられており、それぞれ等間隔（９０°毎）に配置されている。

第二プランジャ穴３４０には、外観ピン状の第二プランジャ３４１と、第二付勢部材であるコイルバネ３４２とが同心で内装されている。

第二プランジャ３４１の外径は、第二プランジャ穴３４０の穴径と同径に設定されている。これにより、第二プランジャ３４１の外周面が第二プランジャ穴３４０の内周面と摺接した状態で、当該第二プランジャ３４１が自己の軸心方向に移動可能になっている。第二プランジャ３４１の先端部は、丸みを持った半球状に形成されている。

第二付勢部材３４２は、第二プランジャ３４１を第二内輪３１４に向けて付勢する。これにより、第二付勢部材３４２は、第二プランジャ３４１の先端を第二内輪部３１ｂの内周面に常時接触させる。また、第二付勢部材３４２の撓み代は、第二プランジャ３４１の先端部が第二プランジャ穴３４０から外側に突出した状態と、第二プランジャ３４１全体が第二プランジャ穴３４０内に押し込まれた状態とにできるように設定されている。

図９に戻り、ピストン本体３１２には、第二プランジャ穴３４０の両側に形成され、当該第二プランジャ穴３４０を介して前記内部空間２０の第一端側と前記内部空間２０の第二端側とを連通させる一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂが設けられている。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれには、第二逆止弁３４４，３４４が内装されている。一対の第二逆止弁３４４，３４４は、内部空間２０の第二端側から内部空間２０の第一端側に向けての作動油の流通を許容する一方で、内部空間２０の第一端側から内部空間２０の第二端側に向けての作動油の流通を阻止する。

一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂは、第二プランジャ穴３４１（第二プランジャ穴３４０）毎に設けられている。従って、第二逆止弁３４４は、一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれに設けられている。

より具体的に説明する。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれは、一方向（内部空間２０と同方向）に延びるように形成されている。一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれは、途中位置に形成された大径穴部３４３ｃと、大径穴部３４３ｃの両側に形成された小径穴部３４３ｄ，３４３ｄとを備える。なお、本実施形態においては、第一受圧部３１０の第一貫通穴３１０ａが一方の第二流路３４３ａの一構成となっている。

一方の第二流路３４３ａ（内部空間２０の第二端側の第二流路３４３ａ）は、一方の小径穴部３４３ｄが第二プランジャ穴３４０に連続し、他方の小径穴部３４３ｄが内部空間２０の第二端側に連続するようになっている。

そして、一方の第二流路３４３ａの大径穴部３４３ｃ内には、小径穴部３４３ｂの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３４４ａと、該玉弁３４４ａを内部空間２０の第二端側に付勢するコイルバネ３４４ｂとが内装されている。これにより、一方の第二流路３４３ａの第二逆止弁３４４が形成されている。第二逆止弁３４４は、コイルバネ３４４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３４３ｂと大径穴部３４３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３４４ａが押し付けられることで、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｂを閉塞するようになっている。

これにより、一方の第二流路３４３ａの第二逆止弁３４４において、内部空間２０の第二端側から第二プランジャ穴３４０に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第一端側に押される。従って、作動油が内部空間２０の第二端側から第二プランジャ３４１に流通可能となる。その一方で、第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力で段差部分に圧接する。これにより、玉弁３４４ａは、小径穴部３４３ｂを閉塞する。従って、第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第二端側に作動油が流れ込むことが阻止される。

他方の第二流路３４３ｂ（内部空間２０の第一端側の第二流路３４３ｂ）は、一方の小径穴部３４３ｄが内部空間２０の第一端側に連続し、他方の小径穴部３４３ｄが第二プランジャ穴３４０に連続するようになっている。なお、本実施形態においては、第二受圧部３１１の第二貫通穴３１１ａが他方の第一流路３４３ｂの一構成となっている。

そして、他方の第二流路３４３ｂの大径穴部３４３ｃには、小径穴部３４３ｂの穴径よりも大径な球状の弁（以下、玉弁という）３４４ａと、該玉弁３４４ａを内部空間２０の第二端側に付勢するコイルバネ３４４ｂとが内装されている。これにより、他方の第二流路３４３ｂの第二逆止弁３４４が形成されている。かかる第二逆止弁３４４は、コイルバネ３４４ｂによる付勢で、内部空間２０の第二端側にある小径穴部３４３ｂと大径穴部３４３ｃとの境界に形成される環状の段差部分に玉弁３４４ａが押し付けられることで、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｂを閉塞するようになっている。

これにより、他方の第二流路３４３ｂの第二逆止弁３４４は、第二プランジャ穴３４０内から内部空間２０の第一端側に作動油が流れ込もうとすると、その作動油の流体圧によって玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力に抗して内部空間２０の第一端側に押される。これにより、作動油が第二プランジャ穴３４０から内部空間２０の第一端側に流通可能となる。その一方で、内部空間２０の第一端側から第二プランジャ穴３４０に作動油が流れ込もうとすると、玉弁３４４ａがコイルバネ３４４ｂの付勢力で段差部分に圧接する。これにより、玉弁３４４ａが小径穴部３４３ｂを閉塞する。従って、内部空間２０の第一端側から第二プランジャ穴３４０内に作動油が流れ込むことが阻止される。

第一内輪３１３は、図１０に示す如く、ピストン本体３１２の中心（回転軸４の回転中心）回りで回転可能に設けられている。そして、第一内輪３１３の内穴は、回転軸４の回転中心からずれた位置に中心が設定された偏心穴で構成される。本実施形態に係る第一内輪３１３の内穴（偏心穴）は、丸穴状に形成されている。第一内輪３１３の内穴の中心線は、回転軸４の回転中心に対して偏心している。これにより、第一内輪３１３は、回転軸４の回転中心で回転したときに、偏心方向とは反対側の内周面の一部がピストン本体３１２の外周面に沿って移動する（回転する）ようになっている。

第二内輪３１４は、図１１に示す如く、ピストン本体３１２の中心（回転軸４の回転中心）周りで回転可能に設けられている。そして、第二内輪３１４の内穴は、回転軸４の回転中心からずれた位置に中心が設定された偏心穴で構成される。本実施形態に係る第二内輪３１４の内穴（偏心穴）は、丸穴状に形成されている。第二内輪３１４の内穴の中心線は、回転軸４の回転中心に対して偏心している。これにより、第二内輪３１４は、回転軸４の回転中心で回転したときに、偏心方向とは反対側の内周面の一部がピストン本体３１２の外周面に沿って移動する（回転する）ようになっている。

本実施形態に係る外輪３１５の内部空間２０の第一端側における端部が第一受圧部３１０に連続する。また、本実施形態に係る外輪３１５の内部空間２０の第二端側における端部が第二受圧部３１１に連続している。これにより、第一受圧部３１０及び第二受圧部３１１についても内部空間２０に対して軸心周りで回転不能になっている。

さらに、本実施形態に係るピストン部３１は、外輪３１５と第一内輪３１３との間に設けられる第一ワンウェイクラッチ４４と、外輪３１５と第二内輪３１４との間に設けられる第二ワンウェイクラッチ４５とを備える。第一ワンウェイクラッチ４４は、第一内輪３１３と外輪３１５とに跨って設けられている。また、第二ワンウェイクラッチ４５は、第二内輪３１４と外輪３１５とに跨って設けられている。

より具体的に説明する。第一ワンウェイクラッチ４４は、図１０に示す如く、外輪３１５に内装される第一延出ピン４４０であって、該外輪３１５から第一内輪３１３に向けて出退可能な第一延出ピン４４０と、第一内輪３１３に形成される第一切欠部４４１とを備える。

本実施形態に係る第一ワンウェイクラッチ４４は、外輪３１５に設けられる第一収容穴４４２であって、第一延出ピン４４０を収容可能な第一収容穴４４２と、第一延出ピン４４０とともに該第一収容穴４４２に収容される第三付勢部材４４３であって、第一延出ピン４４０を第一内輪３１３に向けて付勢する第三付勢部材４４３とを備えている。これにより、本実施形態に係る第一延出ピン４４０は、第一内輪３１３に形成された第一切欠部４４１に対して出退可能に構成されている。

第一切欠部４４１は、第一内輪３１３の外周方向で長手をなすように形成されている。また、第一切欠部４４１は、長手方向における一端と該一端の反対側の他端とを有する。第一内輪３１３における第一切欠部４４１の一端を画定する部分は、当該第一内輪３１３の中心に向かって真っすぐに伸びている。さらに、第一内輪３１３における第一切欠部４４１を画定する部分は、第一切欠部４４１の一端を画定する部分から第一切欠部４４１の他端を画定する部分になるにつれて、径方向外方に変位している。そのため、第一ワンウェイクラッチ４４は、回転軸４が自身の軸心周方向における一方側に回転すると、第一延出ピン４４０と、第一切欠部４４１の一端とが係合する。これにより、本実施形態に係るアクチュエータ１では、第一内輪３１３が外輪３１５に対して周方向の一方側のトルクのみを伝達可能に構成されている。

第二ワンウェイクラッチ４５は、図１１に示す如く、外輪３１５に内装され、該外輪３１５から第二内輪３１４に向けて出退可能な第二延出ピン４５０と、第二内輪３１４の外周面に形成される第二切欠部４５１とを備える。

本実施形態に係る第二ワンウェイクラッチ４５は、外輪３１５に形成された第二収容穴４５２と、前記第二延出ピン４５０とともに第二収容穴４５２に収容される第四付勢部材４５３であって、前記第二延出ピン４５０を第二内輪３１４に向けて付勢する第四付勢部材４５３とを備える。

第二切欠部４５１は、第二内輪３１４の軸心周方向で長手をなすように形成されている。また、第二切欠部４５１は、長手方向における一端と該一端の反対側の他端とを有する。第二内輪３１４における第二切欠部４５１の他端を画定する部分は、当該第二内輪３１４の中心に向かって真っすぐに伸びている。さらに、第二内輪３１４における第二切欠部４５１を画定する部分は、第二切欠部４５１の他端を画定する部分から第二切欠部４５１の一端を画定する部分になるにつれて、径方向外方に変位している。そのため、第二ワンウェイクラッチ４５は、回転軸４が自身の軸心周方向における他方側に回転すると、第二延出ピン４５０と、第二切欠部４５１の他端とが係合する。これにより、本実施形態に係るアクチュエータ１では、第二内輪３１４が外輪３１５に対して周方向の他方側のトルクのみを伝達可能に構成されている。

さらに、本実施形態に係るピストンロッド３は、図９に示す如く、第一端部と第二端部とを有するガイド部３２であって、第一端部がピストン部３１におけるロッド部３０が連結されている側の反対側に対して連結される筒状のガイド部３２をさらに備えている。

前記回転軸４は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸本体４０であって、第一端部側から前記軸挿入穴３００に挿入されるとともに、第一端側がシリンダ本体２から外方に延出した軸本体４０を備えている。

軸本体４０は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸状の大径部４００と、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有し、該第一端部が大径部４００の第一端部に対して同心で連結される小径部４０１とを備える。

大径部４００の第一端部には、環状の溝４００ａが形成されている。そして、この溝４００ａ内には、環状のシール材（本実施形態においてはＯリング）Ｓが嵌め込まれている。また、大径部４００の第二端部には、ガイドカバー５のベアリングＢが外嵌される軸支部４００ｂと、軸支部４００ｂに連続して設けられた入力部４００ｃであって、別途モータの出力軸に対して直接的又は間接的に連結される入力部４００ｃとを備えている。

そして、大径部４００の軸支部４００ｂ、入力部４００ｃのそれぞれは、互いに同心で形成される。そして、軸本体４０は、ガイド部挿通穴２３３に直接的又は間接的に挿通されている。本実施形態においては、ピストンロッド３のガイド部３２が挿通されている。そのため、軸本体４０は、ガイド部３２を介してガイド部挿通穴２３３に挿通されている。また、軸本体４０の入力部４００ｃは、他方の閉塞部２３（ガイドカバー５）の外方に位置している。

本実施形態に係る小径部４０１の外径は、大径部４００の外径よりも小さくなるように設定されている。また、本実施形態に係る小径部４０１は、ピストン本体３１２に連結されている。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、ピストン部３１が内部空間２０の最も第一端側に位置した状態と、ピストン部３１が内部空間２０の最も第二端側に位置した状態とを検知する位置検知手段（図示しない）を備えている。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、以上の通りであり、次に、該アクチュエータ１の作動について説明する。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、モータの駆動によって、該回転軸４を周方向の一方向側に回転させると、ピストン本体３１２が回転軸４とともに周方向の一方向側に回転する。そのため、第一内輪３１３には、第一プランジャ３３１から周方向の一方側のトルクが伝達され、第二内輪３１４には、第二プランジャ３４１から周方向の一方側のトルクが伝達される。これに伴い、第一内輪３１３及び第二内輪３１４が回転軸４を中心に回転しようとする。

このようにすると、第一ワンウェイクラッチ４４の第一延出ピン４４０が第一切欠部４４１の一端に係合する。そのため、回転不能に設けられた外輪３１５に対して第一内輪３１３がトルクを伝達する。これにより、第一内輪３１３は、外輪３１５によって制止される。

これに対し、第二ワンウェイクラッチ４５の第二延出ピン４５０は、第二切欠部４５２の一端に接触すると、第二切欠部４５２の一端の形状に沿って第二内輪３１４の径方向で移動する。そのため、第二延出ピン４５０が第二収容穴４５２内に退く。これにより、第二内輪３１４は、外輪３１５に対してトルクを伝達しない。従って、第二内輪３１４がピストン本体３１２と一緒に回転する。

このようにすると、ピストン本体３１２が第一内輪３１３のみに対して相対的に回転する。そのため、第一内輪３１３の内周面が複数の第一プランジャ３３１のそれぞれを順々に押圧して第一プランジャ穴３３０に押し込む。そして、回転軸４の回転に伴い、第一内輪３１３による押圧が解除された第一プランジャ３３１は、第一付勢部材３３２の付勢で第一プランジャ穴３３０から突出する。

従って、回転軸４が軸心周りにおける一方側に回転することで、複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴３３０内で往復動する。これに伴い、第一プランジャ穴３３０の空間（第一プランジャ３３１の存在しない領域）が容積変化する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側にある作動油が第一プランジャ穴３３０に流入してピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に押し出される。

具体的には、第一プランジャ穴３３０に押し込まれた第一プランジャ３３１が第一内輪３１３側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）に、内部空間２０内に充填された作動油（ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側の領域にある作動油）は、一方の第一流路３３３ａを通って第一プランジャ穴３３０に引き込まれる。そして、第一プランジャ３３１が最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了する。この状態で、一方の第一流路３３３ａ内の第一逆止弁３３４の作用により、第一プランジャ穴３３０内に引き込まれた作動油が、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側に逆流することが阻止される。

これに対し、第一プランジャ３３１が第一プランジャ穴３３０に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に、第一プランジャ穴３３０内にある作動油が他方の第一流路３３３ｂを通ってピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に押し出される。そして、第一プランジャ３３１が第一プランジャ穴３３０に最大に押し込まれた状態で、内部空間２０の第二端側に対する作動油の押し出しが完了する。この状態で、他方の第一流路３３３ｂ内の第一逆止弁３３４の作用により、内部空間２０の第二端側に押し出された作動油が第一プランジャ穴３３０側に逆流することが阻止される。

このように、内部空間２０の第一端側にある作動油が、内部空間２０の第二端側に送られると、内部空間２０の第二端側が作動油で充満する。これにより、ピストン部を境にした内部空間の第二端部側の圧力が高まる結果、ピストン部３１がシリンダ本体２に対して相対的に内部空間２０の第一端側へ移動する。

本実施形態に係るアクチュエータ１は、モータの駆動によって、該回転軸４を周方向の他方向側に回転させると、ピストン本体３１２が回転軸４とともに周方向の他方向側に回転する。そのため、第一内輪３１３には、第一プランジャ３３１から周方向の他方側のトルクが伝達され、第二内輪３１４には、第二プランジャ３４１から周方向の他方側のトルクが伝達される。これに伴い、第一内輪３１３及び第二内輪３１４が回転軸４を中心に回転しようとする。

このようにすると、第一ワンウェイクラッチ４４の第一延出ピン４４０は、第一切欠部４４２の他端に接触し、第一切欠部４４２の他端の形状に沿って第一内輪３１３の径方向で移動する。そのため、第一延出ピン４４０が第一収容穴４４２内に退く。これにより、第一内輪３１３は、外輪３１５に対してトルクを伝達しない。従って、第一内輪３１３がピストン本体３１２と一緒に回転する。

これに対し、第二ワンウェイクラッチ４５の第二延出ピン４５０が第二切欠部４５１の他端に係合する。そのため、回転不能に設けられた外輪３１５に対して第二内輪３１４がトルクを伝達する。これにより、第二内輪３１４は、外輪３１５によって制止される。

このようにすると、ピストン本体３１２が第二内輪３１４のみに対して相対的に回転する。そのため、第二内輪３１４の内周面が複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれを順々に押圧して第二プランジャ穴３４０に押し込む。そして、回転軸４の回転に伴い、第二内輪３１４による押圧が解除された第二プランジャ３４１は、第二付勢部材３４２の付勢で第二プランジャ穴３４０から突出する。

従って、複数の第二プランジャ３４１のそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴３４０内で往復動する。これに伴い、第二プランジャ穴３４０の空間（第二プランジャ３４１の存在しない領域）が容積変化する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側にある作動油が第二プランジャ穴３４０に流入してピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側に押し出される。

具体的には、第二プランジャ穴３４０に押し込まれた第二プランジャ３４１が第二内輪３１４側に移動するとき（空間容積が拡大するとき）に、内部空間２０内に充填された作動油（ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側の領域にある作動油）が一方の第二流路３４３ａを通って第二プランジャ穴３４０に引き込まれる。そして、第二プランジャ３４１が最大に突出した状態で作動油の引き込みが完了する。この状態で、一方の第二流路３４３ａ内の第二逆止弁３４４の作用により、第二プランジャ穴３４０内に引き込まれた作動油が、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側に逆流することが阻止される。

これに対し、第二プランジャ３４１が第二プランジャ穴３４０に押し込まれるとき（空間容積が縮小するとき）に、第二プランジャ穴３４０内にある作動油が他方の第二流路３４３ｂを通ってピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側に押し出される。そして、第二プランジャ３４１が第二プランジャ穴３４０に最大に押し込まれた状態で、内部空間２０の第一端側に対する作動油の押し出しが完了する。この状態で、他方の第二流路３４３ｂ内の第二逆止弁３４４の作用により、内部空間２０の第一端側に押し出された作動油が第二プランジャ穴３４０側に逆流することが阻止される。

このように、内部空間２０の第二端側にある作動油が、内部空間２０の第一端側に送られると、内部空間２０の第一端側が作動油で充満する。これにより、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側の圧力が高まる結果、ピストン部３１がシリンダ本体２に対して相対的に内部空間２０の第二端側へ移動する。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ１では、上記動作が繰り返されることでピストンロッド３全体が油圧に応じた軸力を作用させつつ一方向に移動する。

そして、本実施形態に係るアクチュエータ１では、ガイドカバー５が位置固定される場合、ピストンロッド３及び回転軸４に対してシリンダ本体２が軸線方向で往復動する。このようにする場合、アクチュエータ１は、動力を伝達する対象物をシリンダ本体２に対して連結することで、当該対象物に動力を伝達することができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１では、シリンダ本体２が位置固定される場合、シリンダ本体２に対してピストンロッド３及び回転軸４が軸線方向で往復動する。このようにする場合、アクチュエータ１は、動力を伝達する対象物をロッド３に対して連結することで、当該対象物に動力を伝達することもできる。

以上のように、上記構成のアクチュエータ１は、シリンダ本体２内（内部空間２０内）のピストン部３１に作動油の流体圧を作用させてピストンロッド３を移動させる。これにより、アクチュエータ１は、油圧シリンダと同等の性能を発揮することができる。また、アクチュエータ１は、シリンダ本体２内のみで作動油を流動させるとともに、シリンダ本体２内に作動油を流動させる構成が内装される。これにより、アクチュエータ１は、小型化及び軽量化したものになる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動を伝達して回転軸４を周方向の一方側に回転させると、複数の第一プランジャ３３１，３３１…のそれぞれがタイミングをずらして第一プランジャ穴３３０内で往復動する。これにより、内部空間２０の第一端側から内部空間２０の第二端側への単位時間あたり（或いは回転軸４の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第二端側の圧力を短時間で高めることができる。

そして、本実施形態に係るアクチュエータ１では、モータの駆動を伝達して回転軸４を周方向の他方側に回転させると、複数の第二プランジャ３４１，３４１…のそれぞれがタイミングをずらして第二プランジャ穴３４０内で往復動する。これにより、内部空間２０の第二端側から内部空間２０の第一端側への単位時間あたり（或いは回転軸の一回転あたり）の作動油の供給量が多くなり、ピストン部３１を境にした内部空間２０の第一端側の圧力を短時間で高めることができる。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ１は、ピストン部３１を内部空間２０の第一端側又は内部空間２０の第二端側に高速で移動させることもできる。

尚、本発明のアクチュエータは、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得ることは勿論である。

上記各実施形態において、複数の第一プランジャ穴３３０が形成され、これらに第一プランジャ３３１と、第一付勢部材３３２とが内装されたが、これに限定されるものではない。例えば、一つの第一プランジャ穴３３０が形成され、これに第一プランジャ３３１と付勢部材３３２とが内装されてもよい。この場合、これに対応して第一逆止弁３３４の内装された一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂが設けられる。このようにしても第一プランジャ３３１が第一プランジャ穴３３０内で往復動する。従って、内部空間２０の第一端側から内部空間２０の第二端側に作動油が送り込まれ、ピストンロッド３が内部空間２０の第一端側に移動する。なお、ピストンロッド３の移動速度を速めるには、上記各実施形態と同様に複数の第一プランジャ穴３３０，３３０…を形成し、これらに第一プランジャ３３１と付勢部材３３２を内装するとともに、それぞれに対応して第一逆止弁３３４の内装された一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂが設けられればよい。

上記各実施形態において、複数の第二プランジャ穴３４０が形成され、これらに第二プランジャ３４１と第二付勢部材３４２とが内装されたが、これに限定されるものではない。例えば、一つの第二プランジャ穴３４０が形成され、これに第二プランジャ３４１と付勢部材３４２とが内装されてもよい。この場合、これに対応して第二逆止弁３４４の内装された一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂが設けられる。このようにしても第二プランジャ３４１が第二プランジャ穴３４０内で往復動する。従って、内部空間２０の第二端側から内部空間２０の第一端側に作動油が送り込まれ、ピストンロッド３が内部空間２０の第二端側に移動する。なお、ピストンロッド３の移動速度を速めるには、上記各実施形態と同様に複数の第二プランジャ穴３４０，３４０…を形成し、これらに第二プランジャ３４１と付勢部材３４２を内装するとともに、それぞれに対応して第二逆止弁３４４の内装された一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂが設けられればよい。

上記各実施形態において、ピストン部３１に一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂ及び第二流路３４３ａ，３４３ｂが形成されるとともに、一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂ及び一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂのそれぞれに玉弁３３４ａ，３４４ａ及びコイルバネ３３４ｂ，３４４ｂが内装され、これらが第一逆止弁３３４及び第二逆止弁３４４を構成したが、これに限定されるものではない。例えば、独立した第一逆止弁３３４、第二逆止弁３４４（ユニットとして組み立てられた第一逆止弁３３４、第二逆止弁３４４）が一対の第一流路３３３ａ，３３３ｂ及び一対の第二流路３４３ａ，３４３ｂに内装されてもよい。

また、上記第一実施形態において、第一ワンウェイクラッチ４４は、第一延出ピン４４０が第一カム部４１に内装され、第一切欠部４４１が軸本体４０の頭部４３に形成されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、第一切欠部４４１が小径部４０１における第一カム部４１に挿通されている部分に形成され、第一延出ピン４４０が当該第一切欠部４４１に向けて出退可能に構成されていてもよい。

また、上記第一実施形態において、第二ワンウェイクラッチ４５は、第二延出ピン４５０が第二カム部４２に内装され、第二切欠部４５１が軸本体４０の大径部４００の端部に形成されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、第一切欠部４４１が小径部４０１における第二カム部４２に挿通されている部分に形成され、第二延出ピン４５０が当該第二切欠部４５１に向けて出退可能に構成されていてもよい。

１…アクチュエータ、２…シリンダ本体、３…ピストンロッド、４…回転軸、５…ガイドカバー、２０…内部空間、２１…シリンダ部、２２，２３…閉塞部、３０…ロッド部、３１…ピストン部、３２…ガイド部、４０…軸本体、４１…第一カム部、４２…第二カム部、４３…頭部、４４…第一ワンウェイクラッチ、４５…第二ワンウェイクラッチ、５０…回転軸挿通穴、２２０，２３０…嵌入部、２２１，２３１…フランジ部、２２２，２３２…環状溝、２２３…ロッド挿通部、２２４…溝、２３３…ガイド部挿通穴、３００…軸挿入穴、３１０…第一受圧部、３１０ａ…第一貫通穴、３１１…第二受圧部、３１２ａ…第二貫通穴、３１２…ピストン本体、３１３…第一内輪、３１４…第二内輪、３１５…外輪、３３０…第一プランジャ穴、３３１…第一プランジャ、３３２…第一付勢部材（コイルバネ）、３３３ａ，３３３ｂ…第一流路、３３３ｃ…大径穴部、３３３d…小径穴部、３３４…第一逆止弁、３３４ａ…玉弁、３３４ｂ…コイルバネ、３４０…第二プランジャ穴、３４１…第二プランジャ、３４２…第一付勢部材（コイルバネ）、３４３ａ，３４３ｂ…第二流路、３４３ｃ…大径穴部、３４４…第二逆止弁、３４４ａ…玉弁、３４４ｂ…コイルバネ、４００…大径部４００ａ…シール部、４００ｂ…軸支部、４００ｃ…入力部、４０１…第二本体部、４４０…第一延出ピン、４４１…第一切欠部、４４２…第一収容穴、４４３…第三付勢部材、４５０…第二延出ピン、４５１…第二切欠部、４５２…第二収容穴、４５３…第四付勢部材、５００…ガイド部嵌着穴、５０１…ベアリング嵌着部、Ｂ…ベアリング、Ｐ…プラグ、Ｓ…シール材、Ｓ…シール部材

Claims (6)

1. 一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間であって、一方向に延びるように形成された内部空間を有するシリンダ部と、前記シリンダ部の前記内部空間の両端を閉塞する一対の閉塞部とを含み、前記内部空間に作動油が充填されるシリンダ本体と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部であって、前記一対の閉塞部のうちの一方の閉塞部に液密状態で挿通されたロッド部と、該ロッド部の基端に同心で連結されたピストン部であって、前記内部空間に内装されたピストン部とを含むピストンロッドと、前記一対の閉塞部のうちの他方の閉塞部に挿通された回転軸とを備え、前記ピストン部には、前記他方の閉塞部側で開口した非貫通状態の軸挿入穴と、該軸挿入穴に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴と、該第一プランジャ穴に対して前記ロッド部の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記軸挿入穴に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴と、前記第一プランジャ穴の両側に形成され、該第一プランジャ穴を介して前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第一流路と、前記第二プランジャ穴の両側に形成され、前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第二流路とが設けられ、前記第一プランジャ穴には、該第一プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第一プランジャと、該第一プランジャを前記軸挿入穴に向けて付勢する第一付勢部材とが内装され、前記一対の第一流路のそれぞれには、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第一逆止弁が内装され、前記第二プランジャ穴には、該第二プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第二プランジャと、該第二プランジャを前記軸挿入穴に向けて付勢する第二付勢部材とが内装され、前記一対の第二流路のそれぞれには、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第二逆止弁が内装され、前記回転軸は、第一端部と該第一端部の反対側の第二端部とを有する軸本体であって、第一端部が前記軸挿入穴に挿入されるとともに、第二端部が前記シリンダ本体から外方に延出した軸本体と、前記軸本体の軸心に対して偏心するように、前記軸本体の第一端部に連結される第一カム部であって、前記軸本体から周方向の一方側のトルクのみが伝達される第一カム部と、前記軸本体の軸心に対して偏心するように、前記軸本体の第一端部に連結される第二カム部であって、前記軸本体から周方向の他方側のトルクのみが伝達される第二カム部とを備え、前記第一プランジャは、前記第一付勢部材による付勢で前記第一カム部に常時接触するように設けられ、前記第二プランジャは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二カム部に常時接触するように設けられるアクチュエータ。
2. 一方向に第一端とその反対側の第二端とを有する内部空間であって、一方向に延びるように形成された内部空間を有するシリンダ部と、該シリンダ部の前記内部空間の両端を閉塞する一対の閉塞部とを含み、前記内部空間に作動油が充填されるシリンダ本体と、先端と該先端の反対側の基端とを有するロッド部であって、前記一対の閉塞部のうちの一方の閉塞部に液密状態で挿通されたロッド部と、該ロッド部の基端に同心で連結されたピストン部であって、前記内部空間に内装されたピストン部とを含むピストンロッドと、前記一対の閉塞部のうちの他方の閉塞部に挿通された回転軸とを備え、前記ピストン部は、前記回転軸と連続するピストン本体と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体の外周を包囲する環状の第一内輪と、内穴を画定した内周面を有し、前記ピストン本体の外周を包囲する環状の第二内輪であって、前記ロッド部の軸心方向で前記第一内輪と並ぶ第二内輪と、該第一内輪及び該第二内輪の外周を包囲する環状の外輪であって、前記内部空間に対して軸心周りで回転不能な外輪とを備え、前記第一内輪は、前記外輪に対して周方向の一方側のトルクのみを伝達可能に構成され、前記第二内輪は、前記外輪に対して周方向の他方側のトルクのみを伝達可能に構成され、前記ピストン本体には、前記第一内輪の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第一プランジャ穴と、該第一プランジャ穴に対して前記ロッド部の軸心周方向でずれた位置に形成され、前記第二内輪の内周面に向けて開口した少なくとも一つの第二プランジャ穴と、前記第一プランジャ穴の両側に形成され、前記第一プランジャ穴を介して前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第一流路と、前記第二プランジャ穴の両側に形成され、前記内部空間の第一端側と前記内部空間の第二端側とを連通させる一対の第二流路とが設けられ、前記第一プランジャ穴には、該第一プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第一プランジャと、該第一プランジャを前記第一内輪に向けて付勢する第一付勢部材とが内装され、前記一対の第一流路のそれぞれには、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第一逆止弁が内装され、前記第二プランジャ穴には、該第二プランジャ穴の穴中心方向で移動可能な第二プランジャと、前記第二プランジャを前記第二内輪に向けて付勢する第二付勢部材とが内装され、前記一対の第二流路のそれぞれには、前記内部空間の第二端側から前記内部空間の第一端側に向けての前記作動油の流通を許容し、前記内部空間の第一端側から前記内部空間の第二端側に向けての前記作動油の流通を阻止する第二逆止弁が内装され、前記第一プランジャは、前記第一付勢部材による付勢で前記第一内輪の内周面に常時接触するように設けられ、前記第二プランジャは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二内輪の内周面に常時接触するように設けられるアクチュエータ。
3. 前記第一プランジャ穴及び第二プランジャ穴は、前記ピストン部の周方向に間隔をあけて複数設けられ、前記一対の第一流路のそれぞれは、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記一対の第二流路のそれぞれは、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記第一プランジャ及び前記第一付勢部材は、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第二プランジャ及び前記第二付勢部材は、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第一逆止弁は、前記複数の第一流路のそれぞれに内装され、前記第二逆止弁は、前記複数の第二流路のそれぞれに内装され、前記複数の第一プランジャのそれぞれが前記第一付勢部材による付勢で前記第一カム部に常時接触し、前記複数の第二プランジャのそれぞれが前記第二付勢部材による付勢で前記第二カム部に常時接触している請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記回転軸は、前記軸本体と前記第一カム部との間に設けられる第一ワンウェイクラッチと、前記軸本体と前記第二カム部との間に設けられる第二ワンウェイクラッチとを備え、前記第一ワンウェイクラッチは、前記軸本体から周方向の一方側のトルクのみを前記第一カム部に伝達するように構成され、前記第二ワンウェイクラッチは、前記軸本体から周方向の他方側のトルクのみを前記第二カム部に伝達するように構成される請求項１に記載のアクチュエータ。
5. 前記第一プランジャ穴及び第二プランジャ穴は、前記ピストン本体の周方向に間隔をあけて複数設けられ、前記一対の第一流路のそれぞれは、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記一対の第二流路のそれぞれは、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに対応して複数設けられ、前記第一プランジャ及び前記第一付勢部材は、前記複数の第一プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第二プランジャ及び前記第二付勢部材は、前記複数の第二プランジャ穴のそれぞれに内装され、前記第一逆止弁は、前記複数の第一流路のそれぞれに内装され、前記第二逆止弁は、前記複数の第二流路のそれぞれに内装され、前記複数の第一プランジャのそれぞれが前記第一付勢部材による付勢で前記第一内輪の内周面に常時接触し、前記複数の第二プランジャのそれぞれは、前記第二付勢部材による付勢で前記第二内輪の内周面に常時接触している請求項２に記載のアクチュエータ。
6. 前記ピストン部は、前記外輪と前記第一内輪との間に設けられる第一ワンウェイクラッチと、前記外輪と前記第二内輪との間に設けられる第二ワンウェイクラッチとを備え、前記第一ワンウェイクラッチは、周方向の一方側における前記第一内輪のトルクのみを前記外輪に伝達可能に構成され、前記第二ワンウェイクラッチは、周方向の他方側における前記第二内輪のトルクのみを前記外輪に伝達可能に構成される請求項２に記載のアクチュエータ。

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