JP5435824B2 - マイクロ構造を作製する方法 - Google Patents
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Description
[0087]この実施例は、3つの異なる材料分類、ゴム、セラミック、及び金属の湾曲面にマイクロ構造をキャスト成形する方法を説明する。図1に、マイクロモールド成形のキャスト成形プロセスの連鎖を示す。マイクロキャスト成形プロセスの連鎖は、湾曲面に組み込まれたマイクロ構造を有するプロトタイプで開始する。マイクロ構造プロトタイプの湾曲面にゴムをキャスト成形し、マイクロ構造ゴムの湾曲面にセラミックをキャスト成形し、マイクロ構造セラミックの湾曲面に金属をキャスト成形し、そのマイクロ構造金属により、最終製品の湾曲面をモールド成形又はキャスト成形する。そのマイクロ構造は、プロセス連鎖の全てのステップを通して複製される。この実施例はマイクロ柱を有するマイクロ構造プロトタイプを説明しているが、このプロセスはマイクロ柱に限定されない。マイクロ構造プロトタイプは、マイクロ穴、又はプロセス連鎖の全てのステップを通して複製することになる他の形状のタイプを有することもできる。
[0094]図24に、リソグラフィにより画定したマイクロ/ナノ構造配列(LDAMN)を作製する技法を示す。その技法は、感光性ポリマー又は光若しくは粒子に敏感なレジスト2415を上部に備えた基板2414で開始する。ステンシルマスク2417を通してレジストに光2416を当てることによって、そのレジストにマイクロメートルスケール又はナノメートルスケールの構造を形成することができる。他の種類の電磁波、エネルギービーム、又は粒子を使用して、こうしたマイクロ構造又はナノ構造を形成することもできる。これらの構造はパターンを付けて配列することも、付けずに配列することもできるが、その重要な特性は、製造プロセスにより、マイクロメートルスケール又はナノメートルスケールの正確さ及び精密度でそれらのサイズ、形状、及び配置を制御することである。
[0098]予め選択したパターンのマイクロ特徴部を有するマイクロ構造プロトタイプを作製した。予め選択したパターンは、マイクロ特徴部の形状が異なる2つの領域を含んでいた。第1の領域は、高さ100μm、幅100μm、断面形状が三角形のマイクロ柱を含んでいた。第2の領域は、高さ100μm、幅100μm、断面形状が円形のマイクロ柱を含んでいた。
U.S. Patent Application Publication No. US 2006/0162896.
U.S. Patent No. 5,735,985.
U.S. Patent No. 6,502,622.
U.S. Patent No. 7,237,337.
U.S. Patent No. 6,511,622.
U.S. Patent No. 7,410,606.
Schmitz, Grohn and Buhrig−Polaczek, Advanced Engineering Materials 2007, 9, No. 4, pp. 265−270.
Baumeister, Okolo and Rogner, Microsyst. Technol. (2008) 14: 1647−1655.
Baumeister, Ruprecht and Hausselt, Microsyst. Technol. (2004) 10: 261−264.
Rath, Baumeister and Hausselt, Microsyst. Technol. (2006) 12: 258−266.
Baumeister, Rath and Hausselt, Microsyst. Technol. (2006) 12: 773−777.
Baumeister, Okolo, Rogner, Ruprecht, Kerscher, Schulze Hauselt and Lohe, Microsyst. Technol. (2008) 14: 1813−1821.
Baumeister, Ruprecht and Hausselt, Microsyst. Technol. (2004) 10: 484−488.
Baumeister, Mueller, Ruprecht and Hausselt, Microsyst. Technol. (2002) 8: 105−108.
Barbieri, Wagner and Hoffman, Langmuir (2007) 23: 1723−1734.
Hua, Sun, Gaur, Meitl, Bilhaut, Rotkina, Wang, Geil, Shim, Rogers and Shim, Nano Lett. (2004) 4: 2467−2471.
Auger, Schilardi, Caretti, Sanchez, Benitez, Albella, Gago, Fonticelli, Vasquez, Salvarezza and Azzaroni, Small (2005) 1: 300−309.
Wang, Liang, Liang and Chou, Nano Lett. (2008) 8: 1986−1990.
Bico, Thiele, Quere, Colloids and Surfaces A (2002), 206: 41−46.
Lee, Yoon and Kim, J. Phys. Chem. Solids (2008), 69: 2131−2136.
Kumar, Tang and Schroers, Nature (2009), 457: 868−872.
Guo, Advanced Materials (2007), 19: 495−513.
[0127]本出願全体の全ての参考文献、例えば、発行又は付与された特許又は等価物、特許出願公開を含む特許文献、及び非特許文献又は他の原資料は、本出願の開示と少なくとも部分的に矛盾していない限り、参照により個別に援用した場合と同じように、参照によりその全体が本明細書に援用される(例えば、部分的に矛盾している参考文献は、その参照文献の部分的に矛盾する部分を除いて援用される)。
Claims (19)
- マイクロ構造物品を作る方法であって、
予め選択したパターン及び10nm〜100μmの範囲から選択される寸法を有する1つ又は複数のマイクロ特徴部と、100μm〜1mの範囲から選択される寸法を有する1つ又は複数のマクロスケール特徴部とを備えたマイクロ構造プロトタイプを作製するステップと、
前記マイクロ構造プロトタイプからゴムをキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有するゴム製マイクロ特徴部を備えたマイクロ構造ゴムを作るステップと
を含み、
前記マイクロ構造プロトタイプを作製する前記ステップが、前記マイクロ構造プロトタイプを得るためのプロトタイプを用意するステップと、前記予め選択したパターンを有する前記1つ又は複数のマイクロ特徴部を備えたマイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分を変形させて、前記マイクロ構造プロトタイプを得るための前記プロトタイプの1つ又は複数のマクロスケール特徴部の表面の少なくとも一部分に、前記変形したマイクロ構造可撓性ポリマーを適合させるステップと、前記変形したマイクロ構造可撓性ポリマーを、前記マイクロ構造プロトタイプを得るための前記プロトタイプの前記1つ又は複数のマクロスケール特徴部に結合させるステップとを含む、方法。 - 前記マイクロ構造ゴムからセラミックをキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有するセラミック製マイクロ特徴部を備えたマイクロ構造セラミックを作るステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記マイクロ構造セラミックから金属をキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有する金属製マイクロ特徴部を有するマイクロ構造金属を作るステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記マイクロ構造金属から最終製品材料をキャスト成形又はモールド成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有する最終製品材料製のマイクロ特徴部を備えたマイクロ構造最終製品を作るステップをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- マイクロ構造プロトタイプを作製する前記ステップが、
半導体ウェハを用意するサブステップと、
予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって前記半導体ウェハをパターニングするサブステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハに、未硬化の可撓性ポリマーをモールド成形するサブステップと、
前記ポリマーを硬化させ、それにより、前記マイクロ構造可撓性ポリマーを形成するサブステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハから前記マイクロ構造可撓性ポリマーを取り外すサブステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 変形させる前記ステップでは、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、100μm〜3mの範囲から選択される曲率半径まで変形され、
又は、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、1%〜1300%の範囲から選択される歪みレベルまで変形され、
又は、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、100μm〜3mの範囲から選択される曲率半径まで、かつ、1%〜1300%の範囲から選択される歪みレベルまで変形される、請求項1に記載の方法。 - 前記マイクロ構造セラミックが、前記予め選択したパターンを有する前記セラミック製マイクロ特徴部よりもサイズが小さい特徴部を備えた、追加層の粗さを含み、
前記追加の層の粗さが、さらなるキャスト成形ステップ又はモールド成形ステップにおいて複製される、請求項2に記載の方法。 - 前記マイクロ特徴部のピッチが、10nm〜100μmの範囲から選択され、
前記マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造プロトタイプの前記マクロスケール特徴部上に、及び/又はその中に配置され、
前記マイクロ構造プロトタイプの前記マクロスケール特徴部の表面積のうちの80%〜100%が、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって覆われる、請求項1に記載の方法。 - マイクロ構造最終製品を作る方法であって、
予め選択したパターンを有するマイクロ特徴部を備えたマイクロ構造プロトタイプを作製するステップと、
前記マイクロ構造プロトタイプからゴムをキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有するゴム製マイクロ特徴部を備えたマイクロ構造ゴムを作るステップと、
前記マイクロ構造ゴムからセラミックをキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有するセラミック製マイクロ特徴部を備えたマイクロ構造セラミックを作るステップと、
前記マイクロ構造セラミックから金属をキャスト成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有する金属製マイクロ特徴部を備えたマイクロ構造金属を作るステップと、
前記マイクロ構造金属から最終製品材料をキャスト成形又はモールド成形し、それにより、前記予め選択したパターンを有する最終製品材料製のマイクロ特徴部を備えたマイクロ構造最終製品を作るステップと
を含み、
前記マイクロ構造プロトタイプを作製する前記ステップが、前記マイクロ構造プロトタイプを得るためのプロトタイプを用意するステップと、前記予め選択したパターンを有する前記1つ又は複数のマイクロ特徴部を備えたマイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分を変形させて、前記マイクロ構造プロトタイプを得るための前記プロトタイプの1つ又は複数のマクロスケール特徴部の表面の少なくとも一部分に、前記変形したマイクロ構造可撓性ポリマーを適合させるステップと、前記変形したマイクロ構造可撓性ポリマーを、前記マイクロ構造プロトタイプを得るための前記プロトタイプの前記1つ又は複数のマクロスケール特徴部に結合させるステップとを含む、方法。 - 前記マイクロ特徴部が、10nm〜100μmの範囲から選択された寸法を有し、
前記マイクロ特徴部のピッチが、10nm〜100μmの範囲から選択され、
前記マイクロ構造プロトタイプが、100μm〜1mの範囲から選択される寸法を有するマクロスケール特徴部をさらに備え、
前記マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マクロスケール特徴部上に、及び/又はその中に配置され、
前記マクロスケール特徴部の表面積のうちの80%〜100%が、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって覆われる、請求項9に記載の方法。 - 前記マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造プロトタイプの湾曲面上に配置され、前記ゴム製マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造ゴムの湾曲面上に配置され、前記セラミック製マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造セラミックの湾曲面上に配置され、前記金属製マイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造金属の湾曲面上に配置され、前記最終製品材料製のマイクロ特徴部の少なくとも一部分が、前記マイクロ構造最終製品の湾曲面上に配置される、請求項9に記載の方法。
- 前記最終製品材料が、タイヤのゴムであり、それにより、マイクロ構造のタイヤが作られる、請求項9に記載の方法。
- 前記マイクロ構造のタイヤが、自動車のタイヤの接地部分に、自動車のタイヤのサイドウォール部分に、又は、これら両方に設けられた複数のマイクロ特徴部を備える、請求項12に記載の方法。
- 前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部が、キャスト成形ステップ及び/又はモールド成形ステップそれぞれにおいて、50〜100%の範囲から選択される複製の忠実度で複製される、請求項9に記載の方法。
- マイクロ構造プロトタイプを作製する前記ステップが、
半導体ウェハを用意するサブステップと、
予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって前記半導体ウェハをパターニングするサブステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハに、未硬化の可撓性ポリマーをモールド成形するサブステップと、
前記ポリマーを硬化させ、それにより、前記マイクロ構造可撓性ポリマーを形成するサブステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハから、前記マイクロ構造可撓性ポリマーを取り外すサブステップと、
を含む、請求項9に記載の方法。 - 変形させる前記ステップでは、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、100μm〜3mの範囲から選択される曲率半径まで変形され、
又は、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、1%〜1300%の範囲から選択される歪みレベルまで変形され、
又は、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分が、100μm〜3mの範囲から選択される曲率半径まで、かつ、1%〜1300%の範囲から選択される歪みレベルまで変形される、請求項9に記載の方法。 - 前記マイクロ構造セラミックが、前記予め選択したパターンを有する前記セラミック製マイクロ特徴部よりもサイズが小さい特徴部を備えた、追加層の粗さを含み、
前記追加の層の粗さが、さらなるキャスト成形ステップ又はモールド成形ステップにおいて複製される、請求項9に記載の方法。 - マイクロ構造ゴム物品を作る方法であって、
半導体ウェハを用意するステップと、
予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって前記半導体ウェハをパターニングするステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハに、未硬化の可撓性ポリマーをモールド成形するステップと、
前記モールド成形された可撓性ポリマーを硬化させ、それにより、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部を有するマイクロ構造可撓性ポリマーを形成するステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハから、前記形成されたマイクロ構造可撓性ポリマーを取り外すステップと、
1つ又は複数のマクロスケール特徴部を有する大面積プロトタイプを用意するステップと、
前記マイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分を変形させて、前記大面積プロトタイプの前記1つ又は複数のマクロスケール特徴部の表面の少なくとも一部分に、変形した前記マイクロ構造可撓性ポリマーを適合させるステップと、
前記適合させたマイクロ構造可撓性ポリマーを前記大面積プロトタイプに結合させるステップと、
前記大面積プロトタイプ及び前記マイクロ構造可撓性ポリマーからゴムをキャスト成形し、それにより、キャスト成形されたゴム物品の少なくとも一部分に、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部を複製するステップと
を含む、方法。 - マイクロ構造ゴム物品を作る方法であって、
半導体ウェハを用意するステップと、
予め選択したパターンのマイクロ特徴部によって前記半導体ウェハをパターニングするステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハに、未硬化の第1のポリマーをモールド成形するステップと、
前記モールド成形された第1のポリマーを硬化させ、それにより、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部を有する第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを形成するステップと、
前記パターニングされた半導体ウェハから、前記形成された第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを取り外すステップと、
1つ又は複数のマクロスケール特徴部を有するマクロモールド型を用意するステップと、
前記第1のマイクロ構造可撓性ポリマーの少なくとも一部分を変形させて、前記マクロモールド型の前記1つ又は複数のマクロスケール特徴部の表面の少なくとも一部分に、前記第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを適合させるステップと、
前記適合させた第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを前記マクロモールド型に結合させるステップと、
1つ又は複数のマクロスケール特徴部を有する大面積プロトタイプを用意するステップと、
前記大面積プロトタイプの前記1つ又は複数のマクロスケール特徴部の表面の少なくとも一部分に未硬化の第2のポリマーを堆積させるステップと、
前記マクロモールド型及び前記第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを、前記大面積プロトタイプ及び前記未硬化の第2のポリマーに接触させるステップと、
前記未硬化の第2のポリマーを硬化させ、それにより、前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部を有するマイクロ構造の第2のポリマーを作るステップと、
前記大面積プロトタイプ及び前記マイクロ構造の第2のポリマーから前記マクロモールド型及び前記第1のマイクロ構造可撓性ポリマーを解放するステップと、
前記大面積プロトタイプ及び前記マイクロ構造の第2のポリマーからゴムをキャスト成形し、それにより、キャスト成形されたゴム物品の少なくとも一部分に前記予め選択したパターンのマイクロ特徴部を複製するステップと
を含む、方法。
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---|---|---|---|---|
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US9161448B2 (en) | 2010-03-29 | 2015-10-13 | Semprius, Inc. | Laser assisted transfer welding process |
EP2578389A4 (en) * | 2010-05-31 | 2013-11-13 | Nissan Motor | HYDROPHOBIC FILM AND PARTS FOR MOTOR VEHICLES EQUIPPED WITH THE SAME |
US8555698B2 (en) * | 2011-01-26 | 2013-10-15 | Bridgestone Americas Tire Operations, Llc | Engineered surfaces for laboratory tread wear testing of tires |
US9412727B2 (en) | 2011-09-20 | 2016-08-09 | Semprius, Inc. | Printing transferable components using microstructured elastomeric surfaces with pressure modulated reversible adhesion |
DE102012103174B3 (de) * | 2012-04-12 | 2013-09-19 | Technische Universität Ilmenau | Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Formkörpers |
US9308355B2 (en) | 2012-06-01 | 2016-04-12 | Surmodies, Inc. | Apparatus and methods for coating medical devices |
US9827401B2 (en) | 2012-06-01 | 2017-11-28 | Surmodics, Inc. | Apparatus and methods for coating medical devices |
US20140000857A1 (en) * | 2012-06-19 | 2014-01-02 | William P. King | Refrigerant repelling surfaces |
CN103030099B (zh) * | 2012-12-25 | 2015-08-05 | 江苏大学 | 一种制备超疏油表面的气体辅助成形法 |
US9249015B2 (en) | 2013-02-27 | 2016-02-02 | International Business Machines Corporation | Mold for forming complex 3D MEMS components |
US10899045B2 (en) * | 2013-03-12 | 2021-01-26 | U.S.A. As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | High pressure soft lithography for micro-topographical patterning of molded polymers and composites |
US20150090960A1 (en) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Universal Display Corporation | Methods to Fabricate Flexible OLED Lighting Devices |
FR3014351B1 (fr) * | 2013-12-06 | 2016-06-03 | Michelin & Cie | Procede de fabrication d'un element moulant d'un moule pour la vulcanisation d'un pneumatique |
WO2015094829A1 (en) | 2013-12-18 | 2015-06-25 | Bridgestone Americas Tire Operations, Llc | Tires and other objects having an aerodynamic/hydrodynamic surface treatment |
KR20170003929A (ko) * | 2014-05-12 | 2017-01-10 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | 내액성 밀봉 파스너 조립체 |
US9434150B2 (en) | 2014-07-20 | 2016-09-06 | X-Celeprint Limited | Apparatus and methods for micro-transfer-printing |
FR3024391B1 (fr) | 2014-07-30 | 2017-03-03 | Michelin & Cie | Matrice avec inserts textures pour fabrication d'un moule texture pour moulage et vulcanisation de pneumatiques |
FR3024390B1 (fr) * | 2014-07-30 | 2017-02-24 | Michelin & Cie | Matrice texturee avec blocs pour fabrication d'un moule texture pour moulage et vulcanisation de pneumatiques |
EP3230033A1 (en) * | 2014-12-10 | 2017-10-18 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Polymer microwedges and methods of manufacturing same |
EP3230034A2 (en) * | 2014-12-10 | 2017-10-18 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Metal molds for polymer microwedge fabrication |
CN104626529B (zh) * | 2014-12-30 | 2016-10-26 | 西安建筑科技大学 | 一种超亲水自洁膜结构的制备方法 |
DE102015203212A1 (de) | 2015-02-23 | 2016-08-25 | Continental Reifen Deutschland Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Profilsegmentes einer segmentierten Gieß-Vulkanisierform für Fahrzeugreifen sowie eine Vulkansierform und ein Fahrzeugreifen |
DE102015213028A1 (de) * | 2015-07-13 | 2017-01-19 | Continental Reifen Deutschland Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Guss-Profilsegmentes einer segmentierten Vulkanisierform für Fahrzeugreifen |
US20170014111A1 (en) * | 2015-07-17 | 2017-01-19 | Hoowaki, Llc | Microstructured Surface |
US9704821B2 (en) | 2015-08-11 | 2017-07-11 | X-Celeprint Limited | Stamp with structured posts |
US10468363B2 (en) | 2015-08-10 | 2019-11-05 | X-Celeprint Limited | Chiplets with connection posts |
FR3041562B1 (fr) * | 2015-09-26 | 2018-03-02 | Compagnie Generale Des Etablissements Michelin | Procede de fabrication d'un element moulant d'un moule pour la vulcanisation d'un pneumatique |
CN105372734B (zh) * | 2015-11-02 | 2018-01-19 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 微棱镜反光材料制作方法 |
CN105399046A (zh) * | 2015-11-02 | 2016-03-16 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 无机微光学元件批量化制作方法 |
KR102168460B1 (ko) | 2016-02-05 | 2020-10-21 | 하비 글로벌 솔루션즈 엘엘씨 | 개선된 절연 및 응축 저항성을 갖는 미세 구조 표면 |
US10687642B2 (en) | 2016-02-05 | 2020-06-23 | Havi Global Solutions, Llc | Microstructured packaging surfaces for enhanced grip |
US10103069B2 (en) | 2016-04-01 | 2018-10-16 | X-Celeprint Limited | Pressure-activated electrical interconnection by micro-transfer printing |
EP3439611B1 (en) | 2016-04-07 | 2021-05-26 | Havi Global Solutions, LLC | Fluid pouch with inner microstructure |
EP3453519B1 (en) * | 2016-05-02 | 2022-03-16 | The Yokohama Rubber Co., Ltd. | Rubber member and method of manufacturing rubber member |
US10222698B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-03-05 | X-Celeprint Limited | Chiplets with wicking posts |
US11064609B2 (en) | 2016-08-04 | 2021-07-13 | X Display Company Technology Limited | Printable 3D electronic structure |
FR3057209A1 (fr) * | 2016-10-11 | 2018-04-13 | Compagnie Generale Des Etablissements Michelin | Pneumatique pourvu d’un anneau texture |
US10458448B2 (en) | 2017-04-18 | 2019-10-29 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Surface affix-able device incorporating mechanically actuated dry adhesive |
CN108873117B (zh) * | 2017-05-16 | 2020-04-21 | 昇印光电(昆山)股份有限公司 | 光学元件、手机盖板及制备光学元件的模具 |
DE102018108053A1 (de) * | 2018-04-05 | 2019-10-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Mikrostrukturierter Gegenstand |
WO2020005973A1 (en) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | Corium, Inc. | Hybrid method of forming microstructure array molds, methods of making microstructure arrays, and methods of use |
WO2020028230A2 (en) | 2018-07-29 | 2020-02-06 | Bvw Holding Ag | Patterned surfaces with suction |
WO2020059589A1 (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 横浜ゴム株式会社 | 空気入りタイヤ |
US11254032B2 (en) | 2018-11-08 | 2022-02-22 | ATSP Innovations, Inc. | Surface texturing for advanced polymers |
US11628466B2 (en) | 2018-11-29 | 2023-04-18 | Surmodics, Inc. | Apparatus and methods for coating medical devices |
WO2020139953A1 (en) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | Rebound Technologies, Inc | Solid production systems, devices, and methods utilizing oleophilic surfaces |
US10748793B1 (en) | 2019-02-13 | 2020-08-18 | X Display Company Technology Limited | Printing component arrays with different orientations |
JP7159089B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2022-10-24 | 株式会社ブリヂストン | タイヤ成形用モールドの製造方法 |
US11819590B2 (en) | 2019-05-13 | 2023-11-21 | Surmodics, Inc. | Apparatus and methods for coating medical devices |
JP7393904B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2023-12-07 | 株式会社トッパンフォトマスク | インプリントモールドの製造方法 |
US11872726B2 (en) | 2019-11-07 | 2024-01-16 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Tire segment model and a method of making a tire mold segment |
US11062936B1 (en) | 2019-12-19 | 2021-07-13 | X Display Company Technology Limited | Transfer stamps with multiple separate pedestals |
US11787117B2 (en) | 2020-04-23 | 2023-10-17 | Rtx Corporation | Fabricating ceramic structures |
EP3995283B1 (en) * | 2020-11-10 | 2023-10-11 | Gerresheimer Regensburg GmbH | Laser cutting of microinjection moulded parts |
CN112645278B (zh) * | 2020-12-17 | 2023-09-15 | 湖南佳禾芯半导体有限公司 | 一种用于晶圆芯片探针结构的加工方法 |
EP4023464B1 (en) * | 2021-01-05 | 2024-04-03 | Bridgestone Europe NV/SA | Hydrophobic patterns for tyre tread grooves |
CN115900404B (zh) * | 2022-11-21 | 2023-07-21 | 上海交通大学 | 加热平板沸腾强化微结构改性表面及其实现方法 |
Family Cites Families (138)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2982998A (en) * | 1957-05-20 | 1961-05-09 | Firestone Tire & Rubber Co | Method of producing molds |
US4053265A (en) * | 1973-11-12 | 1977-10-11 | Dacapo Ab | Mold for retreading pneumatic tires |
US3872682A (en) | 1974-03-18 | 1975-03-25 | Northfield Freezing Systems In | Closed system refrigeration or heat exchange |
GB2028928B (en) | 1978-08-17 | 1982-08-25 | Ross Royce Ltd | Aerofoil blade for a gas turbine engine |
DE3842610C1 (ja) | 1988-12-17 | 1990-06-21 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
US5512131A (en) | 1993-10-04 | 1996-04-30 | President And Fellows Of Harvard College | Formation of microstamped patterns on surfaces and derivative articles |
US5512219A (en) | 1994-06-03 | 1996-04-30 | Reflexite Corporation | Method of casting a microstructure sheet having an array of prism elements using a reusable polycarbonate mold |
DE59504640D1 (de) | 1994-07-29 | 1999-02-04 | Wilhelm Prof Dr Barthlott | Selbstreinigende oberflächen von gegenständen sowie verfahren zur herstellung derselben |
EP0854781A1 (en) | 1995-10-12 | 1998-07-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Microstructured polymeric substrate |
US5681661A (en) | 1996-02-09 | 1997-10-28 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | High aspect ratio, microstructure-covered, macroscopic surfaces |
US6355198B1 (en) | 1996-03-15 | 2002-03-12 | President And Fellows Of Harvard College | Method of forming articles including waveguides via capillary micromolding and microtransfer molding |
US6039897A (en) * | 1996-08-28 | 2000-03-21 | University Of Washington | Multiple patterned structures on a single substrate fabricated by elastomeric micro-molding techniques |
US5983982A (en) | 1996-10-24 | 1999-11-16 | Howmet Research Corporation | Investment casting with improved as-cast surface finish |
US5735985A (en) | 1996-11-15 | 1998-04-07 | Eastman Kodak Company | Method for micromolding ceramic structures |
FR2756276B1 (fr) | 1996-11-26 | 1998-12-24 | Saint Gobain Vitrage | Substrat a proprietes hydrophiles ou hydrophobes ameliorees, comportant des irregularites |
US20010036602A1 (en) | 1997-07-24 | 2001-11-01 | Mcgrew Stephen P. | Analog relief microstructure fabrication |
US6149160A (en) * | 1997-08-08 | 2000-11-21 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | Mechanical seals enhanced with microstructures |
FR2772302B1 (fr) * | 1997-12-11 | 2000-01-21 | Essilor Int | Procede d'obtention d'une lentille ophtalmique comportant une microstructure utilitaire en surface et lentilles ophtalmiques ainsi obtenues |
US6242163B1 (en) | 1998-08-31 | 2001-06-05 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Shape deposition manufacturing of microscopic ceramic and metallic parts using silicon molds |
US6247986B1 (en) | 1998-12-23 | 2001-06-19 | 3M Innovative Properties Company | Method for precise molding and alignment of structures on a substrate using a stretchable mold |
US6190594B1 (en) | 1999-03-01 | 2001-02-20 | 3M Innovative Properties Company | Tooling for articles with structured surfaces |
JP3297029B2 (ja) * | 1999-11-26 | 2002-07-02 | 日本碍子株式会社 | タイヤ成形用金型の製造方法及び補修方法 |
US6502622B2 (en) | 2001-05-24 | 2003-01-07 | General Electric Company | Casting having an enhanced heat transfer, surface, and mold and pattern for forming same |
US6375776B1 (en) | 2000-01-24 | 2002-04-23 | Avery Dennison Corporation | Method for forming multi-layer laminates with microstructures |
US6866076B2 (en) * | 2000-02-07 | 2005-03-15 | Bridgestone Corporation | Tire having longitudinally extending smaller grooves formed in the walls of a groove |
FR2811316B1 (fr) | 2000-07-06 | 2003-01-10 | Saint Gobain | Substrat texture transparent et procedes pour l'obtenir |
US7198747B2 (en) | 2000-09-18 | 2007-04-03 | President And Fellows Of Harvard College | Fabrication of ceramic microstructures |
NL1016779C2 (nl) | 2000-12-02 | 2002-06-04 | Cornelis Johannes Maria V Rijn | Matrijs, werkwijze voor het vervaardigen van precisieproducten met behulp van een matrijs, alsmede precisieproducten, in het bijzonder microzeven en membraanfilters, vervaardigd met een dergelijke matrijs. |
US6663820B2 (en) * | 2001-03-14 | 2003-12-16 | The Procter & Gamble Company | Method of manufacturing microneedle structures using soft lithography and photolithography |
EP1260863A1 (en) | 2001-05-23 | 2002-11-27 | Scandinavian Micro Biodevices | Micropatterning of plasma polymerized coatings |
WO2002098624A1 (en) | 2001-06-05 | 2002-12-12 | Mikro Systems Inc. | Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby |
US7462852B2 (en) | 2001-12-17 | 2008-12-09 | Tecomet, Inc. | Devices, methods, and systems involving cast collimators |
US7141812B2 (en) | 2002-06-05 | 2006-11-28 | Mikro Systems, Inc. | Devices, methods, and systems involving castings |
US20030006535A1 (en) | 2001-06-26 | 2003-01-09 | Michael Hennessey | Method and apparatus for forming microstructures on polymeric substrates |
US7108819B2 (en) * | 2001-08-27 | 2006-09-19 | The Boeing Company | Process for fabricating high aspect ratio embossing tool and microstructures |
US7195872B2 (en) | 2001-11-09 | 2007-03-27 | 3D Biosurfaces, Inc. | High surface area substrates for microarrays and methods to make same |
DE10158347A1 (de) | 2001-11-28 | 2003-06-12 | Tesa Ag | Verfahren zur Erzeugung von nano- und mikrostrukturierten Polymerfolien |
US20030108710A1 (en) | 2001-12-07 | 2003-06-12 | General Electric Company | Articles bearing patterned microstructures and method of making |
US7497240B2 (en) * | 2001-12-19 | 2009-03-03 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Tire including projections having sides of unequal length and an undercut extending beneath the apex |
US6939505B2 (en) | 2002-03-12 | 2005-09-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods for forming articles having very small channels therethrough, and such articles, and methods of using such articles |
US20030235677A1 (en) | 2002-06-25 | 2003-12-25 | 3M Innovative Properties Company | Complex microstructure film |
GB2390327B (en) * | 2002-07-01 | 2005-11-16 | Essilor Int | Process for making a mold piece having a main curved surface bearing a utilitary microstructure |
US20050140070A1 (en) * | 2002-08-10 | 2005-06-30 | Guido Finnah | Method of manufacturing metal- or ceramic microparts |
ATE359983T1 (de) * | 2002-11-25 | 2007-05-15 | Weidmann Plastics Tech Ag | Verfahren zur herstellung eines werkzeugeinsatzes zum spritzgiessen eines teils mit einstufigen mikrostrukturen |
WO2004048064A1 (ja) | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Japan Science And Technology Agency | 微細突起構造体及びその製造方法 |
JP3998574B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2007-10-31 | 横浜ゴム株式会社 | 空気入りタイヤ |
WO2004062890A2 (en) | 2003-01-10 | 2004-07-29 | Qinetiq Nanomaterials Limited | Improvements in and relating to deposited structures |
DE10314373A1 (de) | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Rwth Aachen | Urfomverfahren für ein Bauteil mit Mikrostruktur-Funktionselement |
FR2852889A1 (fr) * | 2003-03-28 | 2004-10-01 | Michelin Soc Tech | Pneumatique comprenant un motif colore et procede d'obtention |
US7985475B2 (en) | 2003-04-28 | 2011-07-26 | Nanosys, Inc. | Super-hydrophobic surfaces, methods of their construction and uses therefor |
US20060122596A1 (en) | 2003-04-17 | 2006-06-08 | Nanosys, Inc. | Structures, systems and methods for joining articles and materials and uses therefor |
EP1479734B1 (en) | 2003-05-20 | 2009-02-11 | DSM IP Assets B.V. | Nano-structured surface coating process, nano-structured coatings and articles comprising the coating |
EP1479738A1 (en) | 2003-05-20 | 2004-11-24 | DSM IP Assets B.V. | Hydrophobic coatings comprising reactive nano-particles |
KR100508337B1 (ko) | 2003-06-27 | 2005-08-17 | 한국과학기술원 | 나노미터 수준으로 패턴화된 고분자 박막의 제조 방법 |
US8226880B2 (en) | 2003-07-07 | 2012-07-24 | 10X Technology, Llc | Process for fabricating precise microstructures |
US20070126145A1 (en) | 2003-08-05 | 2007-06-07 | General Electric Company | Process and apparatus for embossing a film surface |
US20050067286A1 (en) | 2003-09-26 | 2005-03-31 | The University Of Cincinnati | Microfabricated structures and processes for manufacturing same |
DE10346124B4 (de) * | 2003-10-01 | 2005-12-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer mikrostrukturierten Oberfläche und Verwendung eines Werkzeuges sowie damit erzeugter Gegenstand |
WO2005033237A2 (en) | 2003-10-03 | 2005-04-14 | The Regents Of The University Of California | Apparatus for friction enhancement of curved surfaces |
TWI328129B (en) * | 2003-11-21 | 2010-08-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Method for making light guide plate |
US9040090B2 (en) | 2003-12-19 | 2015-05-26 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Isolated and fixed micro and nano structures and methods thereof |
US7811272B2 (en) | 2003-12-29 | 2010-10-12 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Nanofabricated gecko-like fasteners with adhesive hairs for disposable absorbent articles |
US8535041B2 (en) | 2006-07-28 | 2013-09-17 | Microcontinuum, Inc. | Addressable flexible patterns |
US20050228491A1 (en) | 2004-04-12 | 2005-10-13 | Snyder Alan J | Anti-adhesive surface treatments |
JP4507686B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-07-21 | 株式会社日立製作所 | 観察用容器及び培養用容器,培養細胞 |
US7323033B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-01-29 | Lucent Technologies Inc. | Nanostructured surfaces having variable permeability |
JP4418300B2 (ja) | 2004-05-25 | 2010-02-17 | 株式会社日立製作所 | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 |
US20090078326A1 (en) | 2004-06-14 | 2009-03-26 | Arizona Board Of Regents For And On Behalf Of Arizona State University | Light-driven microfluidic devices and amplification of stimulus-induced wetting |
EP1609588B1 (de) | 2004-06-22 | 2010-06-02 | Boegli-Gravures S.A. | Vorrichtung und Verfahren zum Satinieren und Prägen von Flachmaterial |
TWI236870B (en) | 2004-06-29 | 2005-07-21 | Ind Tech Res Inst | Heat dissipation apparatus with microstructure layer and manufacture method thereof |
US7258731B2 (en) | 2004-07-27 | 2007-08-21 | Ut Battelle, Llc | Composite, nanostructured, super-hydrophobic material |
WO2006015978A1 (en) | 2004-08-10 | 2006-02-16 | Tfl Ledertechnik Gmbh | Water-repellent and self-cleaning leather |
US20060043634A1 (en) | 2004-08-26 | 2006-03-02 | 3M Innovative Properties Company | Method of forming microstructures with a discrete mold provided on a roller |
WO2006037148A1 (en) | 2004-10-05 | 2006-04-13 | Newsouth Innovations Pty Limited | Hydrophobic and lyophobic coating |
US20060078724A1 (en) | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Bharat Bhushan | Hydrophobic surface with geometric roughness pattern |
US20060087051A1 (en) * | 2004-10-27 | 2006-04-27 | Bunick Frank J | Dosage forms having a microreliefed surface and methods and apparatus for their production |
CN100500778C (zh) | 2004-11-23 | 2009-06-17 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 表面抗指纹化涂层 |
WO2006059580A1 (ja) | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Asahi Glass Company, Limited | モールド、および転写微細パターンを有する基材の製造方法 |
EP1871584B1 (en) * | 2005-03-09 | 2009-11-18 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method for producing two-sided patterned web in registration |
TWI251266B (en) | 2005-03-11 | 2006-03-11 | Ind Tech Res Inst | Manufacturing method of the microstructure for roller and the structure thereof |
US7478791B2 (en) | 2005-04-15 | 2009-01-20 | 3M Innovative Properties Company | Flexible mold comprising cured polymerizable resin composition |
US20060235107A1 (en) | 2005-04-15 | 2006-10-19 | 3M Innovative Properties Company | Method of reusing flexible mold and microstructure precursor composition |
US7854873B2 (en) | 2005-06-10 | 2010-12-21 | Obducat Ab | Imprint stamp comprising cyclic olefin copolymer |
US20060292345A1 (en) | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Dave Bakul C | Micropatterned superhydrophobic silica based sol-gel surfaces |
EP1891469A1 (en) * | 2005-06-16 | 2008-02-27 | Avery Dennison Corporation | Retroreflective sheet structure |
US20070031639A1 (en) | 2005-08-03 | 2007-02-08 | General Electric Company | Articles having low wettability and methods for making |
US20070028588A1 (en) | 2005-08-03 | 2007-02-08 | General Electric Company | Heat transfer apparatus and systems including the apparatus |
US20090039563A1 (en) | 2005-08-30 | 2009-02-12 | Riken | Method of forming fine pattern |
US7385231B2 (en) | 2005-08-31 | 2008-06-10 | Fujifilmcorporation | Porous thin-film-deposition substrate, electron emitting element, methods of producing them, and switching element and display element |
JP5064743B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-10-31 | キヤノン株式会社 | 凹部パターンを有する構造体の製造方法 |
WO2007043987A2 (en) | 2005-09-15 | 2007-04-19 | Dow Corning Corporation | Nano-molding process |
GR1006890B (el) | 2005-09-16 | 2010-07-19 | Ευαγγελος Γογγολιδης | Μεθοδος για την κατασκευη επιφανειων μεγαλου επιφανειακου λογου και μεγαλου λογου ασυμμετριας σε υποστρωματα. |
DE602006020158D1 (de) | 2005-11-08 | 2011-03-31 | Surmodics Inc | Ultradünne photopolymer-beschichtungen und verwendungen davon |
US20070104922A1 (en) | 2005-11-08 | 2007-05-10 | Lei Zhai | Superhydrophilic coatings |
JP2007144917A (ja) | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Asahi Glass Co Ltd | 超撥水性フィルムおよびこれを用いた超撥水性自動車窓、超撥水性帖着フィルムおよびこの製造方法、超撥水性透明基板の製造方法ならびに自動車窓の超撥水処理方法 |
US20070126148A1 (en) | 2005-12-02 | 2007-06-07 | General Electric Company | Microstructured embossing drum and articles made therefrom |
JP2007175962A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Fujifilm Corp | 撥液性構造体およびその製造方法、液体吐出ヘッドならびに保護フィルム |
US20080213853A1 (en) | 2006-02-27 | 2008-09-04 | Antonio Garcia | Magnetofluidics |
WO2007101174A2 (en) | 2006-02-27 | 2007-09-07 | Arizona Board Of Regents For And On Behalf Of Arizona State University | Digital magnetofluidic devices and methods |
US20090011222A1 (en) | 2006-03-27 | 2009-01-08 | Georgia Tech Research Corporation | Superhydrophobic surface and method for forming same |
US20070231542A1 (en) | 2006-04-03 | 2007-10-04 | General Electric Company | Articles having low wettability and high light transmission |
US20070259156A1 (en) | 2006-05-03 | 2007-11-08 | Lucent Technologies, Inc. | Hydrophobic surfaces and fabrication process |
TWI322927B (en) | 2006-05-24 | 2010-04-01 | Ind Tech Res Inst | Roller module for microstructure thin film imprint |
US20080000373A1 (en) | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Maria Petrucci-Samija | Printing form precursor and process for preparing a stamp from the precursor |
US7562693B2 (en) | 2006-08-04 | 2009-07-21 | Chien Kuo Technology University | Spraying apparatus for forming low-melting-point metal mold |
JP4936519B2 (ja) | 2006-08-18 | 2012-05-23 | 公立大学法人大阪府立大学 | ナノ構造及びマイクロ構造を有する構造体の成形用モールドの製造方法及び該モールドを用いる該構造体の製造方法 |
KR100824712B1 (ko) | 2006-09-21 | 2008-04-24 | 포항공과대학교 산학협력단 | 극소수성 표면 구조물을 갖는 고체기재의 가공방법 및 이를이용한 극소수성 유체 이송관 |
US20080093776A1 (en) | 2006-10-05 | 2008-04-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of molding ultraviolet cured microstructures and molds |
GB0620955D0 (en) | 2006-10-20 | 2006-11-29 | Speakman Stuart P | Methods and apparatus for the manufacture of microstructures |
US20080176049A1 (en) | 2007-01-24 | 2008-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | PHOTO-CURABLE COMPOSITION HAVING INHERENTLY EXCELLENT RELEASING PROPERtY AND PATTERN TRANSFER PROPERTY, METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN USING THE COMPOSITION AND LIGHT RECORDING MEDIUM HAVING POLYMER PATTERN LAYER PRODUCED USING THE COMPOSITION |
US9944031B2 (en) * | 2007-02-13 | 2018-04-17 | 3M Innovative Properties Company | Molded optical articles and methods of making same |
DE102007008889A1 (de) | 2007-02-21 | 2008-08-28 | Tesa Ag | Verfahren zur Erzeugung von nano- und/oder mikrostrukturierten Oberflächen in einer klebenden, insbesondere selbstklebenden Schicht |
US20080248263A1 (en) | 2007-04-02 | 2008-10-09 | Applied Microstructures, Inc. | Method of creating super-hydrophobic and-or super-hydrophilic surfaces on substrates, and articles created thereby |
US8236379B2 (en) | 2007-04-02 | 2012-08-07 | Applied Microstructures, Inc. | Articles with super-hydrophobic and-or super-hydrophilic surfaces and method of formation |
US8027086B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-09-27 | The Regents Of The University Of Michigan | Roll to roll nanoimprint lithography |
WO2009009185A2 (en) | 2007-05-09 | 2009-01-15 | Massachusetts Institute Of Technology | Tunable surfaces |
US7786602B2 (en) | 2007-06-06 | 2010-08-31 | The Boeing Company | Patterned die attach and packaging method using the same |
WO2008157592A1 (en) * | 2007-06-20 | 2008-12-24 | 3M Innovative Properties Company | Ultrasonic injection molding on a web |
JP5380803B2 (ja) | 2007-08-03 | 2014-01-08 | 王子ホールディングス株式会社 | 非平面上単粒子膜の製造方法、該単粒子膜エッチングマスクを用いた微細構造体の製造方法および該製造方法で得られた微細構造体。 |
US7927525B2 (en) | 2007-08-24 | 2011-04-19 | Lizotte Todd E | Vacuum isostatic micro molding of micro/nano structures and micro transfer metal films into PTFE and PTFE compounds |
US7891636B2 (en) | 2007-08-27 | 2011-02-22 | 3M Innovative Properties Company | Silicone mold and use thereof |
CN101795840B (zh) * | 2007-09-06 | 2013-08-07 | 3M创新有限公司 | 形成模具的方法以及使用所述模具形成制品的方法 |
WO2009053714A1 (en) | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Bae Systems Plc | Adhesive microstructures |
JP4583506B2 (ja) | 2008-06-06 | 2010-11-17 | シャープ株式会社 | 反射防止膜、および反射防止膜を備える光学素子、ならびに、スタンパ、およびスタンパの製造方法、ならびに反射防止膜の製造方法 |
US20100028604A1 (en) | 2008-08-01 | 2010-02-04 | The Ohio State University | Hierarchical structures for superhydrophobic surfaces and methods of making |
US9108880B2 (en) | 2008-08-18 | 2015-08-18 | The Regents Of The University Of California | Nanostructured superhydrophobic, superoleophobic and/or superomniphobic coatings, methods for fabrication, and applications thereof |
US20100096113A1 (en) | 2008-10-20 | 2010-04-22 | General Electric Company | Hybrid surfaces that promote dropwise condensation for two-phase heat exchange |
DE102008056621B4 (de) | 2008-11-10 | 2012-01-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines Dampfkondensators, sowie Dampfkondensator für eine Dampfturbinenanlage und Vorrichtung zum Beschichten eines Kondensatorrohres |
JP2012517910A (ja) | 2009-02-17 | 2012-08-09 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | 可撓性を有するマイクロ構造の超疎水性材料 |
JP5435824B2 (ja) | 2009-02-17 | 2014-03-05 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | マイクロ構造を作製する方法 |
WO2010138132A1 (en) | 2009-05-26 | 2010-12-02 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Casting microstructures into stiff and durable materials from a flexible and reusable mold |
US8720047B2 (en) | 2009-05-08 | 2014-05-13 | Hoowaki, Llc | Method for making microstructured objects |
US20110266724A1 (en) | 2009-05-08 | 2011-11-03 | Hoowaki, Llc | Method for manufacturing microstructured metal or ceramic parts from feedstock |
US8814954B2 (en) | 2009-05-08 | 2014-08-26 | Hoowaki, Llc | Method of manufacturing products having a metal surface |
WO2011106196A1 (en) | 2010-02-24 | 2011-09-01 | Corning Incorporated | Oleophobic glass substrates |
CA2828499A1 (en) | 2011-02-24 | 2012-08-30 | Hoowaki, Llc | System and method for extruding parts having microstructures |
US8999438B2 (en) | 2011-09-09 | 2015-04-07 | Weixing Lu | Systems and methods for super-hydrophobic and super-oleophobic surface treatments |
US20140000857A1 (en) | 2012-06-19 | 2014-01-02 | William P. King | Refrigerant repelling surfaces |
-
2009
- 2009-05-08 JP JP2011550107A patent/JP5435824B2/ja not_active Expired - Fee Related
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