JP5432438B2 - レーザ光線の均一な角度分布生成装置 - Google Patents
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Description
入射面および出射面を有する第2基体を備えた第2均質化ユニットであって、前記入射面および/または出射面上には前記第1レンズアレイから出たレーザ光線が通過できる第2レンズアレイが形成され、このレーザ光線が前記第2均質化ユニットから出た後に比較的均一な角度分布を有する、第2均質化ユニットとを有するレーザ光線の均一な角度分布生成装置において、
第2均質化ユニットは第2基体に加えて入射面および出射面を有する第3基体を有し、前記入射面および/または出射面上には第2レンズアレイから間隔をあけて第3のレンズアレイが形成されており、第2基体および第3基体の間隔が角度分布に影響を及ぼすことを特徴とする角度分布生成装置である。
2 第2基体
3 第3基体
4 第1レンズアレイ
5 第2レンズアレイ
6 第3レンズアレイ
7 凸レンズ
8 凹レンズ
9 凸レンズ
10 第1均質化ユニット
11 第2均質化ユニット
12 レンズ手段
13 作業面
14,18 領域
15 単独基体
16 レンズアレイ
17 レーザ光線
Claims (8)
- 入射面および出射面を有する第1基体(1)を備えた第1均質化ユニット(10)であって、前記出射面上には均質化すべきレーザ光線(17)が通過できる第1レンズアレイ(4)が形成された、第1均質化ユニット(10)と、
入射面および出射面を有する第2基体(2)を備えた第2均質化ユニット(11)であって、前記入射面上には前記第1レンズアレイ(4)から出たレーザ光線(17)が通過できる第2レンズアレイ(5)が形成され、このレーザ光線(17)が前記第2均質化ユニット(11)から出た後に比較的均一な角度分布を有する、第2均質化ユニット(11)とを有するレーザ光線(17)の均一な角度分布生成装置において、
第2均質化ユニット(11)は第2基体(2)に加えて入射面および出射面を有する第3基体(3)を有し、前記入射面上には第2レンズアレイ(5)から間隔をあけて第3のレンズアレイ(6)が形成されており、
前記第1および第3レンズアレイ(4,6)は、多数の凸シリンドリカルレンズ(7,9)を有し、前記第2レンズアレイ(5)は、多数の凹シリンドリカルレンズ(8)を有し、
前記第1レンズアレイ(4)は、第2および第3レンズアレイ(5,6)から構成されるレンズシステムの入射側焦点面に配置され、
第2基体および第3基体(2,3)の間隔(d1,d2)が角度分布に影響を及ぼすことを特徴とする角度分布生成装置。 - 第2基体および第3基体(2,3)の間隔(d1,d2)が可変であることを特徴とする請求項1に記載の角度分布生成装置。
- 第2基体と第3基体(2,3)とを相対的に移動できる位置決め手段を有することを特徴とする請求項2に記載の角度分布生成装置。
- 第1基体(1)と第2基体および第3基体(2,3)のうちの少なくとも一方との間隔が可変であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- 第1基体(1)を第2基体および第3基体(2,3)の少なくとも一方に対して移動できる位置決め手段を有することを特徴とする請求項4に記載の角度分布生成装置。
- 視野レンズとして機能するレンズ手段(12)を有しており、レーザ光線(17)は少なくとも1つの第3レンズアレイ(6)からの出射後に前記手段を通過でき、レーザ光線(17)により均質に照射された領域(14,18)が作業面(13)において生じることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- 前記シリンドリカルレンズ(7,8,9)のシリンダ軸は互いに平行に整列されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- 基体(1,2,3)はそれらの入射面および出射面にそれぞれ多数のシリンドリカルレンズ(7,8,9)を有しており、それらのシリンダ軸はそれぞれの入射面および出射面に配置されたシリンドリカルレンズ(7,8,9)に対して互いに垂直に整列されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
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