JP5422143B2 - 基板把持機構 - Google Patents
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Description
本発明の他の参考例は、前記第2の磁石および前記第3の磁石は、互いに上下方向に離間して配置されていることを特徴とする。
本発明の他の参考例は、基台と、前記基台に支持され、該基台に対して上下方向に相対移動可能な複数の基板支持部材と、前記基板支持部材の上端にそれぞれ設けられた基板把持部と、前記基板支持部材を上下動させる駆動機構と、前記基板支持部材の下降と連動して、少なくとも1つの前記基板支持部材上の前記基板把持部を基板に押圧し、前記基板支持部材の上昇と連動して、前記基板把持部を基板から離間させる押圧機構とを備え、前記押圧機構は、前記基板支持部材の上下動と連動して、前記少なくとも1つの基板支持部材をその軸心周りに回転させる回転機構であり、前記回転機構は、前記少なくとも1つの基板支持部材に形成された螺旋溝と、前記基台に設けられた、前記螺旋溝に係合するピンとを有することを特徴とする基板把持機構である。
本発明の他の参考例は、前記複数の基板支持部材は少なくとも4つの基板支持部材であり、前記基板支持部材のうちの互いに対向する2つの基板支持部材は、回転することなく上下動することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基台および前記複数の基板支持部材を回転させる機構をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の他の参考例は、基板を把持する方法において、複数の基板支持部材上に基板を載置する工程と、前記複数の基板支持部材を下降させて、該複数の基板支持部材の上端に設けられた基板把持部により基板を押圧することで該基板を把持する把持工程と、前記複数の基板支持部材を上昇させて、前記基板把持部を基板から離間させる離間工程とを有し、前記把持工程と前記離間工程とが、前記複数の基板支持部材を上下動させる動作により行われることを特徴とする。
本発明の他の参考例は、前記複数の基板支持部材のうちの互いに対向する2つの基板支持部材は、回転することなく上下動することを特徴とする。
本発明の他の参考例は、基板を把持しながら乾燥する方法において、回転カバーに覆われた複数の基板支持部材の上端に設けられた基板把持部により基板を押圧することで該基板を把持する把持工程と、前記基板把持部に把持された基板を回転させて該基板を乾燥する乾燥工程と、前記複数の基板支持部材を上昇させて前記基板把持部を基板から離間させる離間工程とを有し、前記把持工程と前記離間工程とが、前記複数の基板支持部材を上下動させる動作により行われることを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板把持機構を示す縦断面図である。図2は第1の実施形態に係る基板把持機構を示す平面図である。
リフト機構20により基板保持部材2を図6(b)に示す上昇位置まで上昇させると、第1の磁石31と第3の磁石33とが対向し、第2の磁石32は第1の磁石31から離間する。このとき、第1の磁石31と第3の磁石33との間には吸引力が働く。この吸引力は基板支持部材2にその軸心周りに回転する力を与え、その回転方向は、クランプ28が基板Wから離間する方向である。したがって、図6(a)に示す上昇位置は、基板をリリースするアンクランプ位置ということができる。この場合も、第1の磁石31と第3の磁石33とは、基板Wの把持を開放するときに必ずしも互いに対向していなくてよく、クランプ28を基板Wから離間させる方向に基板支持部材2を回転させる程度の回転力(磁力)を発生する程度に互いに近接していればよい。
基板支持部材2の側面には、その軸心に沿って延びる溝40が形成されている。この溝40は円弧状の水平断面を有している。基台1のアーム1a(本実施形態では保持部1b)には、溝40に向かって突起する突起部41が形成されている。この突起部41の先端は、溝40の内部に位置しており、突起部41は溝40に緩やかに係合している。
基板把持機構は図6(b)に示すアンクランプ位置で待機している間、基板Wは搬送ロボットなどの搬送機構(図示せず)により支持ピン29の上に載置される。その後、リフト機構20が下降し、スプリング27の押圧力により基板支持部材2が図4(b)に示すクランプ位置まで下降する。基板支持部材2が下降する間、第2の磁石32が第1の磁石31に対向し、これにより基板支持部材2が回転する。この基板支持部材2の回転によってクランプ28の側面が基板Wの周端部に当接し、基板Wがクランプ28によって保持される。支持ピン29の先端と基板Wとの接触面積は極めて小さく、同様にクランプ28の側面と基板Wとの接触面積は極めて小さいので、基板W以外の部材との接触による基板Wの汚染を防止することができる。ここで、基板Wと接触する部分の部材としては、帯電防止のために、導電性部材(好適には、鉄、アルミニウム、SUS)や、PEEK、PVC等の炭素樹脂を使用することが好ましい。
2 基板支持部材
5 回転軸
6 軸受
7 円筒体
9 架台
10 フレーム
11,12 プーリー
14 ベルト
15 モータ
20 リフト機構
21 第1の気体チャンバ
22 第2の気体チャンバ
24 第1の気体流路
25 第2の気体流路
27 スプリング
28 クランプ(基板把持部)
29 支持ピン
31 第1の磁石
32 第2の磁石
33 第3の磁石
40 溝
41 突起部
46 位置決め部
47 螺旋溝
48 ピン
50 回転カバー
51 液体排出孔
Claims (5)
- 基台と、
前記基台に支持され、該基台に対して上下方向に相対移動可能な複数の基板支持部材と、
前記基板支持部材の上端にそれぞれ設けられた基板把持部と、
前記基板支持部材を上下動させる駆動機構と、
前記基板支持部材の下降と連動して、少なくとも1つの前記基板支持部材上の前記基板把持部を基板に押圧し、前記基板支持部材の上昇と連動して、前記基板把持部を基板から離間させる押圧機構とを備え、
前記押圧機構は、前記基板支持部材の上下動と連動して、前記少なくとも1つの基板支持部材をその軸心周りに回転させる回転機構であり、
前記回転機構は、前記少なくとも1つの前記基板支持部材および前記基台のうちのいずれか一方に取り付けられた第1の磁石と、前記少なくとも1つの前記基板支持部材および前記基台のうちの他方に取り付けられた第2の磁石とを備え、
前記第1の磁石は、前記基板支持部材の上下動に伴って、前記第2の磁石と近接した位置となるように配置され、
前記第1の磁石と前記第2の磁石が近接したときに、前記第1の磁石と前記第2の磁石との間に発生する磁力により前記基板把持部が基板の周端部を押圧する方向に前記基板支持部材を回転させることを特徴とする基板把持機構。 - 前記第2の磁石が取り付けられている前記少なくとも1つの前記基板支持部材または前記基台には、第3の磁石がさらに取り付けられており、
前記第1の磁石は、前記基板支持部材が下降位置にあるときに前記第2の磁石に近接し、前記基板支持部材が上昇位置にあるときに前記第3の磁石に近接した位置となるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板把持機構。 - 前記少なくとも1つの基板支持部材には、その軸心に沿って延びる溝が形成されており、
前記基台には、前記溝に緩やかに係合する突起部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板把持機構。 - 前記基台および前記複数の基板支持部材を回転させる機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板把持機構。
- 前記基板支持部材の上端には位置決め部がそれぞれ設けられており、
前記基板把持部は、前記基板支持部材の軸心から偏心して配置され、
前記位置決め部は、前記基板支持部材と同心の円に沿って湾曲する側面を有することを特徴とする請求項1に記載の基板把持機構。
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