KR102676578B1 - 기판 처리장치용 기판 지지 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리장치용 기판 지지 조립체에 관한 것으로서, 기판 설치시 상기 기판과 대향 배치되며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 척 베이스; 상기 척 베이스의 상부에 배치되며 상기 기판을 파지하거나 분리하기 위한 척핀; 상기 척핀과 연동하는 기구부; 및 상기 기구부를 구동하는 구동부;를 포함하되, 상기 기구부는, 상기 구동부에 의해 상기 회전중심축 방향을 따라 승강 복원 이동 가능하게 설치되는 푸셔 캠을 포함하는 제1 작동부; 상기 푸셔 캠의 승강 이동에 연동하여 회전중심축을 중심으로 왕복 회전이 가능하게 구성되는 링 형태의 제2 작동부; 및 상기 제2 작동부가 복원 가능하도록 척 베이스와 제2 작동부를 연결하는 제1 복원수단;을 포함하되, 상기 척핀은 상기 제2 작동부의 왕복 회전과 연동하여 제자리에서 왕복 회전하는 것에 의해 척핀의 기판 파지 및 해제 기능이 이루어지므로 매우 확실하고 안정적인 작동이 가능하다는 장점이 있다.

Description

기판 처리장치용 기판 지지 조립체{SUBSTRATE SUPPORTING ASSMBLY FOR SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리장치용 기판 지지 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세정 등 반도체 제조공정을 수행하기 위해 기판을 지지한 상태에서 회전시키기 위한 기판 지지 조립체에 관한 것이다.
기판 처리 장치는 반도체 웨이퍼, 디스플레이용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양전지용 기판 등의 기판을 처리액을 이용하여 증착, 현상, 식각, 또는 세정하기 위한 장치이다.
이 중 세정 공정은 상기 기판 상에 존재하는 이물질이나 파티클 등을 제거하는 공정으로서, 대표적으로는 기판을 척 베이스(스핀 헤드) 상에 지지한 상태에서 고속으로 회전시키면서 기판의 표면이나 이면에 처리액을 공급하여 처리하는 공정을 들 수 있다.
이와 같은 회전식 세정 장비의 경우, 상기 척 베이스의 회전시 기판이 척 페이스의 측방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위해 상기 척 베이스의 상단에 둘레방향을 따라 척핀들이 설치된다.
일반적으로 기판 처리장치에는 상기 척핀을 구동하기 위한 기구부(메커니즘)와 상기 기구부를 구동하는 구동부가 마련되어 있어, 기판을 회전시킬 경우 척핀이 기판을 파지하게 되고 상기 기판을 척 베이스 상에 초기 설치하거나 반출할 경우에는 상기 기판이 척핀으로 분리된 상태를 유지하게 된다.
즉, 상기 척핀들은 기판이 스핀 헤드 상에 파지되는 파지 위치와 기판으로부터 분리되는 해제 위치 사이에서 이동하거나 회전하는 구조를 가지고 있다.
상기 척 베이스, 척핀, 기구부 및 구동부는 기판 처리장치의 기판 지지장치를 구성한다.
공개특허공보 제10-2023-0029170 (2023.03.03)
본 발명의 목적은 기판의 파지 및 해제를 위한 척핀의 회전을 안정적으로 수행하고 내구성이 우수한 기판 처리장치용 기판 지지 조립체를 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판 처리장치용 기판 지지 조립체는,
기판 설치시 상기 기판과 대향 배치되며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 척 베이스;
상기 척 베이스의 상부에 돌출 배치되며 상기 기판을 파지하거나 분리하기 위한 척핀;
상기 척핀을 연동시키기 위한 기구부; 및
상기 기구부를 구동하는 구동부;
를 포함하되,
상기 기구부는,
상기 구동부에 의해 상기 회전중심축 방향을 따라 승강 복원 이동 가능하게 설치되는 푸셔 캠을 포함하는 제1 작동부;
상기 푸셔 캠의 승강 이동에 연동하여 회전중심축을 중심으로 왕복 회전이 가능하게 구성되는 제2 작동부; 및
상기 제2 작동부가 복원 가능하도록 척 베이스와 제2 작동부를 연결하는 제1 복원수단;
을 포함하되,
상기 척핀은 상기 제2 작동부의 왕복 회전과 연동하여 제자리에서 왕복 회전하는 것을 특징으로 한다.
상기 기구부는 일측면이 상기 제2 작동부의 외주면과 대향한 상태에서 상기 회전중심축에 대하여 반경방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 가이드 롤러를 포함하며,
상기 푸셔 캠의 상단에는 상기 가이드 롤러의 외주면이 접촉하는 경사진 캠 안내면이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 작동부의 내주면에는 래크 기어부가 형성되고, 상기 척핀의 외주면에는 상기 래크 기어부와 맞물리는 피니언 기어부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 작동부는 링 형상으로 이루어지되, 상기 래크 기어부는 상기 링 형상 부분으로부터 외측으로 돌출된 스토퍼에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기구부는 일측면이 상기 제2 작동부의 외주면과 대향한 상태에서 회전 가능하게 설치되는 이동 롤러를 포함하며, 상기 이동 롤러는 상기 제2 작동부의 상단으로부터 돌출된 상태에서 척 베이스에 접촉하여 이동 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 제1 작동부는,
상기 척 베이스에 상하로 연장 설치되며 회전중심축의 둘레방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 가이드 로드;
상기 한 쌍의 가이드 로드를 통해 상하 이동이 가능하게 설치되며 상면에는 상기 제1 복원수단에 의한 제2 작동부의 복원방향으로 점차 높아지는 경사진 캠 안내면이 형성되는 상기 푸셔 캠; 및
상기 가이드 로드를 따라 연장 배치되되 상기 척 베이스와 푸셔 캠 사이에 개재되는 제2 복원수단;
을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 척 베이스는,
수평 방향으로 펼쳐지는 판상의 척 지지부; 및
상기 척 지지부의 외주부를 따라 형성되며 상기 기구부를 수용하고 상면에는 척핀이 설치되는 수납부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 구동부가 푸셔 캠을 밀어서 위쪽으로 이동시키면 푸셔 캠의 상단에 형성된 경사진 캠 안내면이 가이드 롤러에 대하여 상향의 하중을 작용시키게 되고, 이에 따라 상부 이동이 제한된 가이드 롤러가 상기 경사진 캠 안내면을 따라 이동하는 것에 의해 제2 작동부가 회전중심축을 중심으로 회전하게 되며 제2 작동부의 회전 이동과 연동하여 척핀이 제자리에서 회전함으로써 척핀의 기판 파지 및 해제 기능이 이루어지므로 매우 확실하고 안정적인 작동이 가능하다는 장점이 있다.
또한, 푸셔 캠의 직선 이동에 의해 래크 기어부와 피니언 기어부가 회전 연동하는 것에 의해 척핀의 회전 동작이 이루어지므로 구조적 내구성이 우수하다는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 기구부는 일측면이 상기 제2 작동부의 외주면과 대향한 상태에서 회전 가능하게 설치되는 이동 롤러를 포함하며, 상기 이동 롤러는 상기 제2 작동부의 상단으로부터 돌출된 상태에서 척 베이스에 접촉하여 이동 가능하여, 상기 이동 롤러의 외주면은 상기 제2 작동부로부터 돌출되어 우선적으로 척 베이스의 표면에 접촉하여 이동하므로 마찰에 의한 저항을 회피할 수 있게 된다.
또한 본 발명에 따르면, 제2 작동부는 링 형상으로 이루어지되 상기 래크 기어부는 상기 링 형상 부분으로부터 외측으로 돌출된 스토퍼에 형성되므로 회전중심축을 중심으로 한 제2 작동부의 회전 한계가 자연스럽게 마련된다는 이점도 있다.
또한 본 발명에 따르면, 기구부가 척 지지부의 외주부에 배치되는 수납부에 수용되므로 한층 콤팩트한 구성이 가능하고 회전중심축 부근의 공간 활용도가 높다는 장점도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리장치를 나타내는 측단면 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 척핀의 기구부를 나타내는 일부 사시도이다.
도 3은 도 2의 C 방향에서 바라본 제1 작동부의 결합구조를 나타내는 측단면도이다.
도 4는 도 2의 A-A 단면 방향에서 바라본 기구부, 구동부 및 척 베이스의 결합구조를 나타내는 횡단면도이다.
도 5는 도 2의 B-B 단면 방향에서 바라본 기구부 및 척 베이스의 결합구조를 나타내는 횡단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 척핀의 기구부와 척 베이스의 결합구조를 나타내는 일부 저면 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 제2 작동부와 척핀의 연동 예를 나타내는 평단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 척핀에 의해 기판이 고정되거나 해제되는 사용예를 나타내는 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 처리장치(1000)는, 유체 공급 유닛(10), 바울(bowl) 조립체(20) 및 기판 지지장치(S)를 포함한다.
상기 유체 공급 유닛(10)은 기판 처리를 위한 처리 유체를 기판(W)으로 공급한다.
그리고, 기판 지지장치(S)는 공정 진행시 기판(W)을 지지한 상태에서 회전시키는 기능을 수행한다.
상기 바울 조립체(20)는 공정에 사용된 약액 및 공정시 발생된 흄(fume)이 외부로 튀거나 유출되는 것을 방지하도록 안내하여 배출하는 구성요소로서 적층식으로 구성되어 기판에 대하여 상대적인 높이에 따라 다른 약액 및 흄이 구별되어 유입되도록 할 수도 있다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 기판 지지장치(S)는, 기판(W) 설치시 상기 기판(W)과 대향 배치되며 회전중심축(A)을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 척 베이스(100), 상기 척 베이스(100)의 상부에 돌출 배치되며 상기 기판(W)을 파지하거나 분리하기 위한 척핀(200), 상기 척핀(200)을 연동시키기 위한 기구부(300) 및, 상기 기구부(300)를 구동하는 구동부(400)를 포함한다.
일반적으로, 상기 척 베이스(100)에는 상기 기판(W)을 추가로 지지하여 기판(W)의 처짐 등 변형을 방지하기 위한 지지핀(800)이 추가로 설치될 수 있다.
상기 척핀(200)은 척핀 몸체(210)와 상기 척핀 몸체(210)의 상단에 설치된 기판 파지편(220)을 포함한다.
도 2와 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 평면도에서 바라볼 때, 상기 기판 파지편(220)은 척핀 몸체(210)의 중심으로부터 편심되어 있으며, 척핀 몸체(210)의 회전시 기판 파지편(220)이 기판(W)에 근접하다가 기판(W)을 파지하게 되고 추가적인 어느 한쪽 방향의 회전을 통해 기판 파지편(220)이 기판(W)으로부터 이탈되는 경우 기판(W)이 분리된다.
상기 기판 파지편(220)에는 기판(W)의 외주면이 삽입되기 위한 장착홈이 형성될 수도 있다.
상기 기구부(300)는, 상기 구동부(400)에 의해 상기 회전중심축(A) 방향을 따라 승강 복원 이동 가능하게 설치되는 푸셔 캠(311)을 포함하는 제1 작동부(310), 상기 푸셔 캠(311)의 승강 이동에 연동하여 회전중심축(A)을 중심으로 왕복 회전이 가능하게 구성되는 제2 작동부(320), 및 상기 제2 작동부(320)가 복원 가능하도록 척 베이스(100)와 제2 작동부(320)를 연결하는 제1 복원수단(340)을 포함한다.
상기 제2 작동부(320)의 회전에 의해 상기 제2 작동부(320)에 연동하는 척핀(200)이 제자리에서 회전하여 기판(W)을 척핀(200)으로부터 분리할 수 있게 된다.
특히, 상기 기구부(300)는 일측면이 상기 제2 작동부(320)의 외주면과 대향한 상태에서 상기 회전중심축(A)에 대하여 반경방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 가이드 롤러(330)를 포함할 수 있으며, 상기 푸셔 캠(311)의 상단에는 상기 가이드 롤러(330)의 외주면이 접촉하는 경사진 캠 안내면(311a)이 형성될 수 있다.
이러한 구성에 따라, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 구동부(400)가 상기 푸셔 캠(311)을 밀어서 위쪽으로 이동시키면, 푸셔 캠(311)의 상단에 형성된 경사진 캠 안내면(311a)이 가이드 롤러(330)에 대하여 상향의 하중을 작용시키게 되고, 이에 따라 상부 이동이 제한된 가이드 롤러(330)는 상기 경사진 캠 안내면(311a)을 따라 이동하게 되며, 결국 상기 가이드 롤러(330)가 연결된 제2 작동부(320)가 회전중심축(A)을 중심으로 회전하게 된다.
이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기구부(300)는 일측면이 상기 제2 작동부(320)의 외주면과 대향한 상태에서 회전 가능하게 설치되는 이동 롤러(390)를 포함하며, 상기 이동 롤러(390)는 상기 제2 작동부(320)의 상단으로부터 돌출된 상태에서 척 베이스(200)에 접촉하여 이동할 수 있게 된다.
즉, 상기 이동 롤러(390)의 외주면은 상기 제2 작동부(320)로부터 돌출되어 우선적으로 척 베이스(200)의 표면에 접촉하여 이동하므로 마찰에 의한 저항을 회피할 수 있게 된다.
도 2와 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제2 작동부(320)의 내주면에는 래크 기어부(321)가 형성되고, 상기 척핀(200)의 외주면에는 상기 래크 기어부(321)와 맞물리는 피니언 기어부(230)가 형성될 수 있어 상기 제2 작동부(320)가 회전중심축(A)을 중심으로 왕복 수평 회전할 때 상기 척핀(200)이 제자리에서 왕복 회전할 수 있게 된다.
이에 따라, 척핀(200)에 의한 기판(W)의 파지 및 해제가 매우 안정적이고 확실하게 이루어진다는 장점이 있다.
또한, 푸셔 캠(311)의 직선 이동과 래크 기어부(321) 및 피니언 기어부(230)의 회전 연동에 의해 연결된 동작이 이루어지므로 내구성이 우수하다는 장점이 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 작동부(310)는, 상기 척 베이스(100)에 상하로 연장 설치되며 회전중심축(A)의 둘레방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 가이드 로드(312), 상기 한 쌍의 가이드 로드(312)를 통해 상하 이동이 가능하게 설치되며 상면에는 상기 제1 복원수단(340)에 의한 제2 작동부(320)의 복원방향으로 점차 높아지는 경사진 캠 안내면(311a)이 형성되는 상기 푸셔 캠(311) 및, 상기 가이드 로드(312)를 따라 연장 배치되되 상기 척 베이스(100)와 푸셔 캠(311) 사이에 개재되는 제2 복원수단(313)을 포함할 수 있다.
상기 제1 작동부(310)는 제2 작동부(320)의 둘레방향을 따라 1개 또는 2개 이상 복수로 설치될 수 있다.
상기 제1 작동부(310)가 복수로 설치될 경우 균등한 간격으로 설치되면 한층 안정적인 제2 작동부(320)의 회동이 가능하게 된다.
상기 경사진 캠 안내면(311a)은 직선의 경사면으로 구성될 수도 있고 매끄러운 곡선형으로 구성될 수도 있다.
즉, 가이드 롤러(330)가 자연스럽게 무리없이 이동할 수 있다면 다소의 형상적 변형이 있을 수 있다.
평면도에서 바라볼 때 상기 푸셔 캠(311)은 원호형으로 연장되는 것이 가이드 롤러(330)의 안내에 바람직하나 그 형상을 제한할 필요는 없다.
상기 제2 복원수단(313)은 압축 스프링으로 도시되어 있으나 판 스프링 등 공지된 다양한 스프링이 적용될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제2 작동부(320)는 링 형상으로 이루어지되, 상기 래크 기어부(321)는 상기 링 형상 부분으로부터 외측으로 돌출된 스토퍼(322)에 형성되어, 어느 정도 회전 후에는 상기 척핀(200)에 걸리도록 함으로써 회전중심축(A)을 중심으로 한 제2 작동부(320)의 이동 한계를 두도록 하는 것이 바람직하다.
그러나, 상기 제2 작동부(320)는 반드시 원형일 필요는 없으며 래크 기어부(321) 등 일부 구간만 원형이고 나머지는 다른 형상을 가지는 것이 가능하다.
상기 제2 작동부(320)가 원형일 경우 상기 스토퍼(322)는 반경방향 외측으로 돌출된 것으로 생각할 수 있다.
또한, 상기 제2 작동부(320)는 링 형태가 바람직하긴 하나 일부가 분리될 수도 있고 분할된 조각들이 적절한 연결부에 의해 연결되는 형상을 가질 수도 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 래크 기어부(321)가 형성되는 스토퍼(322)의 바닥은 회전중심축(A)을 중심으로 원호형으로 이루어지는 것이 바람직하나 이동 거리가 짧을 경우에는 적당한 곡형이나 심지어 직선형으로 형성될 수도 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1 복원수단(340)은 상기 척 베이스(100)와 제2 작동부(320) 사이에 개재되어 있으며, 평상시 기판(W)을 파지하는 위치로 제2 작동부(320)에 복원력을 작용하며 구동부(400)가 작동하여 기구부(300)에 의해 제2 작동부(320)가 상기 복원력을 이기고 이동한 경우 기판(W)을 분리할 수 있게 된다.
상기 제1 복원수단(340)은 제2 작동부(320)의 둘레방향을 따라 1개 또는 2개 이상 복수로 설치될 수 있다.
제1 복원수단(340)이 복수로 설치될 경우 서로 균등한 간격을 이루면 제2 작동부(320)의 복원 이동에 무리가 없게 된다.
평면도에서 바라볼 때, 상기 제1 복원수단(340)은 대략 제2 작동부(320)의 외주면을 따라 연장(평행할 필요는 없음)되는 인장 스프링으로 도시되어 있으나, 판 스프링이나 압축 스프링 등 배치 구조에 따라서 공지된 다양한 스프링이 적용될 수 있다.
도면에서는 이웃하는 제1 작동부(310)의 사이에 하나씩 제1 복원수단(340)이 설치되는 구성으로 되어 있으나 반드시 이러한 배치에 한정할 필요는 없으며, 그 갯수 또한 반드시 복수로 구성될 필요가 없다.
도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 구동부(400)는, 상기 기구부(300)의 푸셔 캠(311)에 접촉하는 푸셔 핀(410) 및 상기 푸셔 핀(410)에 연결된 구동 유닛(420)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 구동 유닛(420)은 압력 실린더나 링크식 프레스 등 공지된 다양한 유닛이 사용될 수 있다.
상기 구동부(400)는 척 베이스(100)의 외측에 도시되지 않은 고정 프레임에 고정 설치될 수 있다.
한편, 상기 척 베이스(100)는, 수평 방향으로 펼쳐지는 대략 판상의 척 지지부(110) 및, 상기 척 지지부(110)의 외주부를 따라 형성되며 상기 기구부(300)를 수용하기 위한 수용공간(121)이 형성되고 상면에는 척핀이 설치되는 수납부(120)를 포함할 수 있다.
상기 척 지지부(110)는 원판 형태로 이루어질 수 있으나 완벽한 원판일 필요는 없고 외주면에 부분적으로 형성된 홈이나 돌부가 있을 수 있다.
또한, 일정한 두께를 가질 필요는 없으며 부분적으로 홈이나 돌부 등으로 인해 두께가 다른 부분이 있을 수 있다.
이와 같이, 상기 기구부(300)가 척 지지부(110)의 외주부에 배치되는 수납부(120)에 수용되므로 한층 콤팩트한 구성이 가능하고 회전중심축(A) 부근의 공간 활용도가 높다는 장점도 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 수납부(120)의 내부에는 회전중심축(A)에 대한 상기 제2 작동부(320) 외주면의 회전 이동을 안내하기 위한 복수의 회전 안내 롤러(125)가 설치될 수 있다.
또한, 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2 작동부(320)의 바닥을 지지하기 위해 상기 수납부(120)의 내부에는 지지편(190)이 설치될 수 있다.
상기 지지편(190)은 회전중심축(A)을 중심으로 한 둘레방향을 따라 연속적으로 형성될 필요는 없으며 간격을 두고 간헐적으로 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
10... 유체 공급 유닛
20... 바울 조립체
100... 척 베이스
110... 척 지지부
120... 수납부
125... 회전 안내 롤러
200... 척핀
210... 척핀 몸체
220... 기판 파지편
230... 피니언 기어부
300... 기구부
310... 제1 작동부
311... 푸셔 캠
311a... 경사진 캠 안내면
312... 가이드 로드
313... 제2 복원수단
320... 제2 작동부
321... 래크 기어부
330.. 가이드 롤러
340... 제1 복원수단
400... 구동부
410... 푸셔 핀
420... 구동 유닛
800... 지지핀
A... 회전중심축
S... 기판 지지장치
W... 기판

Claims (7)

  1. 기판 처리장치용 기판 지지 조립체에 있어서,
    기판 설치시 상기 기판과 대향 배치되며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 척 베이스;
    상기 척 베이스의 상부에 돌출 배치되며 상기 기판을 파지하거나 분리하기 위한 척핀;
    상기 척핀을 연동시키기 위한 기구부; 및
    상기 기구부를 구동하는 구동부;
    를 포함하되,
    상기 기구부는,
    상기 구동부에 의해 상기 회전중심축 방향을 따라 승강 복원 이동 가능하게 설치되는 푸셔 캠을 포함하는 제1 작동부;
    상기 푸셔 캠의 승강 이동에 연동하여 회전중심축을 중심으로 왕복 수평 회전이 가능하게 구성되는 제2 작동부; 및
    상기 제2 작동부가 복원 가능하도록 척 베이스와 제2 작동부를 연결하는 제1 복원수단;
    을 포함하되,
    상기 기구부는, 일측면이 상기 제2 작동부의 외주면과 대향한 상태에서 상기 회전중심축에 대하여 반경방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 가이드 롤러를 포함하며,
    상기 푸셔 캠의 상단에는 상기 가이드 롤러의 외주면이 접촉하는 경사진 캠 안내면이 형성되어,
    상기 푸셔 캠이 승강 이동할 때 상기 경사진 캠 안내면을 따라 상기 가이드 롤러가 이동하여 상기 회전중심축을 중심으로 하는 상기 제2 작동부의 왕복 회전이 이루어지고, 상기 척핀은 상기 제2 작동부의 왕복 회전과 연동하여 제자리에서 왕복 회전하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 작동부의 내주면에는 래크 기어부가 형성되고, 상기 척핀의 외주면에는 상기 래크 기어부와 맞물리는 피니언 기어부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 작동부는 링 형상으로 이루어지되, 상기 래크 기어부는 상기 링 형상 부분으로부터 외측으로 돌출된 스토퍼에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기구부는 일측면이 상기 제2 작동부의 외주면과 대향한 상태에서 회전 가능하게 설치되는 이동 롤러를 포함하며, 상기 이동 롤러는 상기 제2 작동부의 상단으로부터 돌출된 상태에서 척 베이스에 접촉하여 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 작동부는,
    상기 척 베이스에 상하로 연장 설치되며 회전중심축의 둘레방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 가이드 로드;
    상기 한 쌍의 가이드 로드를 통해 상하 이동이 가능하게 설치되며 상면에는 상기 제1 복원수단에 의한 제2 작동부의 복원방향으로 점차 높아지는 경사진 캠 안내면이 형성되는 상기 푸셔 캠; 및
    상기 가이드 로드를 따라 연장 배치되되 상기 척 베이스와 푸셔 캠 사이에 개재되는 제2 복원수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
  7. 제1항 또는 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 척 베이스는,
    수평 방향으로 펼쳐지는 판상의 척 지지부; 및
    상기 척 지지부의 외주부를 따라 형성되며 상기 기구부를 수용하고 상면에는 척핀이 설치되는 수납부;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치용 기판 지지 조립체.
KR1020230103732A 2023-08-08 기판 처리장치용 기판 지지 조립체 KR102676578B1 (ko)

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KR102676578B1 true KR102676578B1 (ko) 2024-06-19

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