JP4095613B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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Description
請求項3記載の発明では、電磁石が円環状であるので、基板の回転中においても基板を安定して押圧付勢することができる。
図1は回転式基板処理装置に用いられる基板保持装置100を示す断面図である。この基板保持装置100は回転台1の上方にて基板Wを保持するようになっており、この基板保持装置100を用いる回転式基板処理装置は回転台1を回転させながら基板Wに洗浄液や現像液などとった所定の処理液を供給するようになっている。
図6はこの発明に係る基板保持装置の第2の実施の形態を示す図である。この基板保持装置は第1の実施の形態と同様、リング状磁石11および補助磁石18を利用して回動式保持部材5を回動させるものであるが、カップ250とリング状磁石11とが独立して昇降するという点が異なっている。他の構成要素は第1の実施の形態と同様であり、同一の符号を付している。
図7はこの発明に係る基板保持装置の第3の実施の形態を示す図であり、回動式保持部材5の近傍のみを示している。他の構成要素については第1の実施の形態と同様であり、図7においても同様の構成要素については同符号を付している。
図10はこの発明に係る第4の実施の形態である基板保持装置の回転台1およびリング状磁石11cを示す図である。この基板保持装置と第1の実施の形態における基板保持装置100との違いは、リング状磁石11cとして電磁石を用いている点である。すなわち、図10に示すようにリング状磁石11cとして複数のコイルを円環状に配列し、図1におけるリング状磁石11と同様の磁界を生じる電磁石を構成している。
第4の実施の形態では、リング状磁石11cに電磁石を用いたが、この発明に係る第5の実施の形態である基板保持装置は、図1に示す基板保持装置100において補助磁石18が電磁石である基板保持装置となっている。これにより、補助磁石18が回動用磁石10に与える力の大きさを調整することができるようになる。また、補助磁石18の設計も容易となる。
この発明の第6の実施の形態である基板保持装置では、第4の実施の形態と同様、図10に示すようにリング状磁石11cが電磁石にて構成されている。第4の実施の形態と大きく異なる点は補助磁石18が取り付けられていない点である。他の構成要素は図1と同様である。また、この実施の形態では基板Wの保持および開放の動作においてリング状磁石11cは常に回動用磁石10の側方に位置するようになっている。
図13(a)はこの発明の第7の実施の形態である基板保持装置を示す平面図である。この基板保持装置は、基板Wを基板処理装置間を搬送したり、基板処理装置と基板格納装置との間を搬送したりする基板搬送装置に用いられるものである。また、図13(b)はこの基板保持装置の部分縦断面図である。
以上、この発明に係る実施の形態について説明してきたが、この発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
1a 軸
2、520 固定式保持部材
3 基板支持部
4 水平位置規制部
5、530 回動式保持部材
6、531 支持部
7、532 保持部
8、535 回動軸体
10、550 回動用磁石
11、11c リング状磁石
13a、13b 歯車
14a、14b プーリ
15 ベルト
17 リンク
18、561 補助磁石
110 モータ
120、220、230、570 エアシリンダ
150、250 カップ
510 搬送アーム
560 外部磁石
R 矢印
S1、S2 矢印
W 基板
Claims (3)
- 基板を回転し、前記基板に所定の処理を施す回転式基板処理装置に用いられる基板保持装置であって、
第1の軸を中心として回転する回転台と、
前記回転台に固定配置され、前記基板の外縁部に当接して前記基板の前記回転台に対する位置を規制する固定式保持部材と、
前記回転台に可動に支持された可動式保持部材と、
前記可動式保持部材と連結されて動きを共にする保持用磁性部材と、
前記保持用磁性部材の側方に配置された電磁石と、
前記電磁石に流れる電流の向きおよび大きさを変化させる電流制御手段と、
を備え、
前記保持用磁性部材が永久磁石であって、
前記電磁石を前記保持用磁性部材の側方に常に位置させた状態で前記電磁石に流れる電流の向きを反転させて前記電磁石が前記保持用磁性部材に及ぼす力を反転させることにより、前記可動式保持部材が前記基板の外縁部を押圧付勢することと、前記基板を開放することとを可能とし、前記電磁石を前記保持用磁性部材の側方に常に位置させた状態で前記電磁石に流れる電流の大きさを変化させることにより前記可動式保持部材が前記基板の外縁部を押圧付勢する力の大きさを変更可能とすることを特徴とする基板保持装置。 - 請求項1記載の基板保持装置であって、
前記基板の保持動作において、前記電磁石に所定方向に電流を流す第1状態から前記所定方向とは逆の方向に電流を流す第2状態に切り換えて、前記基板を開放した状態から前記基板を第1の力で保持する初期保持状態にし、その後に、前記電磁石に前記第2状態よりも大きな電流を流す第3状態に切り換えて、前記初期保持状態から前記基板を前記第1の力よりも大きな第2の力で保持する強力保持状態にする電流切り換え手段、
を備えることを特徴とする基板保持装置。 - 請求項1または2記載の基板保持装置であって、
前記電磁石が前記第1の軸を中心とする所定の回転軌跡上に配置された円環状の電磁石であることを特徴とする基板保持装置。
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