JP5419304B2 - 発光素子検査装置およびその検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 47
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 25
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 21
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 4
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 206010016173 Fall Diseases 0.000 description 2
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2607—Circuits therefor
- G01R31/2632—Circuits therefor for testing diodes
- G01R31/2635—Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0207—Details of measuring devices
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8845—Multiple wavelengths of illumination or detection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
110 発光素子
120 第1照明ユニット
130 第2照明ユニット
140 光分割ユニット
150 カラーフィルタ
160 映像撮像ユニット
170 判断ユニット
Claims (14)
- 光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも1つ以上の発光素子と、
可視光線を前記発光素子に照射する第1照明ユニットと、
紫外線を前記発光素子に照射する第2照明ユニットと、
前記発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも1つ以上の第1映像データを生成し、前記発光素子に紫外線を照射して発生した前記発光素子の活性層および前記蛍光体物質によって波長変換された波長変換光を撮像して少なくとも1つ以上の第2映像データを生成する映像撮像ユニットと、
前記第1映像データおよび前記第2映像データを用いて前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットと、
前記第1照明ユニットから照射された可視光線を反射させて前記発光素子に伝達し、前記発光素子から反射された可視光線を透過させて前記映像撮像ユニットに提供する光分割ユニットと、
を備えることを特徴とする発光素子検査装置。 - 前記発光素子の光放出面上の領域に位置して前記発光素子に紫外線を照射して発生した前記波長変換光を通過させて前記紫外線をフィルタリングするカラーフィルタをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の発光素子検査装置。
- 前記映像撮像ユニットは、前記カラーフィルタを通過した前記波長変換光を撮像して前記第2映像データを生成することを特徴とする請求項2に記載の発光素子検査装置。
- 前記判断ユニットは、前記第1映像データから前記発光素子の整列状態を検出し、検出された前記整列状態に応じて前記発光素子が存在するか否かを判断することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の発光素子検査装置。
- 前記判断ユニットは、前記発光素子が存在すると判断された場合、前記第1映像データを第1基準映像データと比較し、前記第1映像データと前記第1基準映像データとが異なる場合、前記発光素子の外観は不良であると判断することを特徴とする請求項4に記載の発光素子検査装置。
- 前記判断ユニットは、前記発光素子の外観が正常であると判断された場合、前記第2映像データを複数の領域に区分して区分された前記複数の領域の各々について、含まれている画素の平均値を算出し、前記複数の領域に対する平均値が許容誤差の範囲から離れる場合、前記発光素子の発光特性は不良であると判断することを特徴とする請求項5に記載の発光素子検査装置。
- 前記判断ユニットは、前記算出された平均値が許容誤差の範囲に含まれる場合は前記第2映像データを映像処理し、前記映像処理された第2映像データを第2基準映像データと比較して異なる場合は前記発光素子の発光特性は不良であると判断することを特徴とする請求項6に記載の発光素子検査装置。
- 前記映像撮像ユニットによって生成された前記第1映像データおよび前記第2映像データを表示するディスプレイユニットと、
前記判断ユニットによって発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無が判断された場合、前記判断された結果を前記第1映像データおよび前記第2映像データとマッチングして格納する格納ユニットと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の発光素子検査装置。 - 光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも1つ以上の発光素子に可視光線を照射するステップと、
前記発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも1つ以上の第1映像データを生成するステップと、
前記発光素子に紫外線を照射するステップと、
前記発光素子に紫外線を照射して発生した前記発光素子の活性層および前記蛍光体物質によって波長変換された波長変換光を撮像して少なくとも1つ以上の第2映像データを生成するステップと、
前記第1映像データおよび前記第2映像データを用いて前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断するステップと、
を含むことを特徴とする発光素子検査方法。 - 前記第2映像データを生成するステップは、
前記発光素子に紫外線を照射して発生した前記波長変換光を通過させ、前記紫外線をフィルタリングするステップと、
フィルタリングされた前記波長変換光を撮像して前記第2映像データを生成するステップと、
を含むことを特徴とする請求項9に記載の発光素子検査方法。 - 前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断するステップは、
前記第1映像データから前記発光素子の整列状態を検出し、検出された前記整列状態に応じて前記発光素子が存在するか否かを判断するステップと、
前記発光素子が存在すると判断された場合、前記第1映像データを第1基準映像データと比較するステップと、
前記第1映像データと前記第1基準映像データとが異なる場合、前記発光素子の外観は不良であると判断するステップと、
を含むことを特徴とする請求項9または10に記載の発光素子検査方法。 - 前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断するステップは、
前記発光素子の外観が正常であると判断された場合、前記第2映像データを複数の領域に区分し、区分された前記複数の領域の各々について、含まれている画素の平均値を算出するステップと、
前記複数の領域に対する平均値が許容誤差の範囲から離れる場合、前記発光素子の発光特性は不良であると判断するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の発光素子検査方法。 - 前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断するステップは、
算出された前記平均値が許容誤差の範囲に含まれる場合、前記第2映像データに映像処理をするステップと、
前記映像処理がなされた第2映像データを第2基準映像データと比較して異なる場合、前記発光素子の発光特性は不良であると判断するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の発光素子検査方法。 - 前記生成された前記第1映像データおよび前記第2映像データを表示するステップと、
前記発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無が判断された場合、前記判断された結果を前記第1映像データおよび前記第2映像データとマッチングして格納するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項9乃至13の何れか1項に記載の発光素子検査方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110027761A KR101856533B1 (ko) | 2011-03-28 | 2011-03-28 | 발광소자 검사 장치 및 그 검사 방법 |
KR10-2011-0027761 | 2011-03-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012208122A JP2012208122A (ja) | 2012-10-25 |
JP5419304B2 true JP5419304B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=46926729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012069438A Active JP5419304B2 (ja) | 2011-03-28 | 2012-03-26 | 発光素子検査装置およびその検査方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8922643B2 (ja) |
JP (1) | JP5419304B2 (ja) |
KR (1) | KR101856533B1 (ja) |
CN (1) | CN102721694B (ja) |
TW (1) | TWI494559B (ja) |
Families Citing this family (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11010841B2 (en) | 2008-10-02 | 2021-05-18 | Ecoatm, Llc | Kiosk for recycling electronic devices |
US10853873B2 (en) | 2008-10-02 | 2020-12-01 | Ecoatm, Llc | Kiosks for evaluating and purchasing used electronic devices and related technology |
US20130144797A1 (en) * | 2008-10-02 | 2013-06-06 | ecoATM, Inc. | Method And Apparatus For Recycling Electronic Devices |
DE202009019027U1 (de) | 2008-10-02 | 2015-09-21 | ecoATM, Inc. | Sekundärmarkt und Verkaufssystem für Geräte |
JP6119273B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2017-04-26 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子の検査方法及び半導体発光素子の製造方法 |
JP6051917B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-12-27 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子の検査方法及び半導体発光素子の製造方法 |
AT513747B1 (de) | 2013-02-28 | 2014-07-15 | Mikroelektronik Ges Mit Beschränkter Haftung Ab | Bestückungsverfahren für Schaltungsträger und Schaltungsträger |
CN104111160A (zh) * | 2013-04-22 | 2014-10-22 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管的检测***及其检测方法 |
GB2514180A (en) * | 2013-05-17 | 2014-11-19 | Nanomex Ltd | An optical inspection system |
KR102050365B1 (ko) * | 2013-08-23 | 2020-01-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치의 불량 검출 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR102192572B1 (ko) * | 2014-06-09 | 2020-12-18 | 삼성전자주식회사 | 광원 모듈의 불량 검사방법, 광원 모듈의 제조 방법 및 광원 모듈 검사장치 |
KR101533588B1 (ko) * | 2014-06-19 | 2015-07-03 | 한국광기술원 | 발광 소자 불량 검출 장치 및 방법 |
KR20160011102A (ko) * | 2014-07-21 | 2016-01-29 | 삼성전자주식회사 | 발광 소자 패키지의 제조 방법 |
TWI504912B (zh) * | 2014-08-07 | 2015-10-21 | Utechzone Co Ltd | 光源設備 |
CA2964214C (en) | 2014-10-02 | 2020-08-04 | ecoATM, Inc. | Wireless-enabled kiosk for recycling consumer devices |
CA3074916A1 (en) | 2014-10-02 | 2016-04-07 | Ecoatm, Llc | Application for device evaluation and other processes associated with device recycling |
US10445708B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-10-15 | Ecoatm, Llc | System for electrically testing mobile devices at a consumer-operated kiosk, and associated devices and methods |
KR102227774B1 (ko) * | 2014-10-23 | 2021-03-16 | 삼성전자주식회사 | 발광다이오드 패키지 제조방법 |
US10417615B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-09-17 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
KR20160056167A (ko) | 2014-11-11 | 2016-05-19 | 삼성전자주식회사 | 발광 장치의 제조 방법, 발광 모듈 검사 장비 및 발광 모듈의 양불 판단 방법 |
WO2016091534A1 (en) | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for image analysis |
WO2016091536A1 (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for image analysis |
US11080672B2 (en) | 2014-12-12 | 2021-08-03 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
DK178701B1 (en) * | 2015-04-01 | 2016-11-21 | Spx Flow Tech Danmark As | A method and a system for monitoring spray nozzles in a spray drying or spray cooling chamber |
MX364984B (es) | 2015-04-10 | 2019-04-11 | Quim Tech S A De C V | Dispositivo para observacion de obleas y sus conexiones en el fondo de las capsulas de diodos emisores de luz a traves de sus cupulas transparentes. |
AT517259B1 (de) * | 2015-06-09 | 2020-01-15 | Zkw Group Gmbh | Verfahren zur positionsgenauen Bestückung eines Schaltungsträgers |
US10180248B2 (en) | 2015-09-02 | 2019-01-15 | ProPhotonix Limited | LED lamp with sensing capabilities |
KR102430499B1 (ko) * | 2015-09-22 | 2022-08-11 | 삼성전자주식회사 | Led 조명의 검사 장치 및 검사 방법 |
US10269110B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-04-23 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for detecting cracks in illuminated electronic device screens |
KR20180015496A (ko) | 2016-08-03 | 2018-02-13 | 삼성전자주식회사 | 발광소자 패키지의 검사 장치 및 제조 장치 |
CN107833526B (zh) * | 2016-09-15 | 2021-05-28 | 伊乐视有限公司 | 拾取-移除***以及发光显示器的修复方法 |
TWI606532B (zh) * | 2017-04-17 | 2017-11-21 | 旺矽科技股份有限公司 | 微發光二極體晶圓的測試方法 |
CN107611046A (zh) * | 2017-07-28 | 2018-01-19 | 华灿光电(浙江)有限公司 | 一种内层缺陷的检测装置及检测方法 |
KR102446211B1 (ko) | 2017-12-11 | 2022-09-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발광 소자의 검사 방법 및 발광 소자의 검사 장치 |
CN108456864B (zh) * | 2017-12-28 | 2020-07-07 | 华灿光电(浙江)有限公司 | 外延层的生长设备和外延层生长过程中的缺陷检测方法 |
JP6954142B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2021-10-27 | オムロン株式会社 | 画像検査装置および照明装置 |
TWI665649B (zh) * | 2018-02-27 | 2019-07-11 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 微型led陣列、顯示幕及電子裝置 |
US10612978B2 (en) | 2018-03-01 | 2020-04-07 | International Business Machines Corporation | Light emitting diode color resolution testing |
EP3581921A1 (en) * | 2018-06-11 | 2019-12-18 | Roche Diabetes Care GmbH | Method for evaluating a suitability of lighting conditions for detecting an analyte in a sample using a camera of a mobile device |
KR102552965B1 (ko) * | 2018-06-27 | 2023-07-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 모니터용 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 및 그의 영상 처리 방법 |
CN109215026B (zh) * | 2018-09-29 | 2022-02-11 | 广东工业大学 | 一种基于机器视觉的高速准确led缺陷检测方法 |
US10746667B2 (en) * | 2018-11-27 | 2020-08-18 | General Electric Company | Fluorescent penetrant inspection system and method |
US11989710B2 (en) | 2018-12-19 | 2024-05-21 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for vending and/or purchasing mobile phones and other electronic devices |
KR102206753B1 (ko) | 2019-01-24 | 2021-01-22 | 주식회사 수아랩 | 결함 검사 장치 |
KR20210126068A (ko) | 2019-02-12 | 2021-10-19 | 에코에이티엠, 엘엘씨 | 중고 전자 디바이스를 평가하고 구매하기 위한 키오스크 |
KR20210125526A (ko) | 2019-02-12 | 2021-10-18 | 에코에이티엠, 엘엘씨 | 전자 디바이스 키오스크를 위한 커넥터 캐리어 |
WO2020172190A1 (en) | 2019-02-18 | 2020-08-27 | Ecoatm, Llc | Neural network based physical condition evaluation of electronic devices, and associated systems and methods |
KR102320874B1 (ko) * | 2019-03-15 | 2021-11-03 | 한국세라믹기술원 | 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치 및 측정 방법 |
JP2021021592A (ja) * | 2019-07-25 | 2021-02-18 | Towa株式会社 | 検査システム、検査方法、切断装置、及び樹脂成形装置 |
CN112629827A (zh) * | 2019-09-24 | 2021-04-09 | 成都辰显光电有限公司 | Led芯片检测装置及led芯片检测方法 |
CN112635340B (zh) * | 2019-10-09 | 2023-11-03 | 台湾爱司帝科技股份有限公司 | 发光二极管晶圆检测装置与方法 |
CN112665824A (zh) * | 2019-10-15 | 2021-04-16 | 成都辰显光电有限公司 | 微发光二极管检测设备 |
TWI748344B (zh) * | 2020-02-14 | 2021-12-01 | 聚積科技股份有限公司 | 發光二極體調屏標準判定模型建立方法 |
CN111722074B (zh) * | 2020-06-03 | 2023-06-20 | 四川蓝景光电技术有限责任公司 | 一种led标识标牌故障定位方法、装置和*** |
KR20220007789A (ko) * | 2020-07-10 | 2022-01-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 미세 구조체를 포함하는 잉크의 제조 방법 |
US11922467B2 (en) | 2020-08-17 | 2024-03-05 | ecoATM, Inc. | Evaluating an electronic device using optical character recognition |
WO2022040667A1 (en) | 2020-08-17 | 2022-02-24 | Ecoatm, Llc | Evaluating an electronic device using a wireless charger |
KR102503772B1 (ko) * | 2020-11-16 | 2023-02-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치의 검사 방법 및 디스플레이 장치 검사 장치 |
CN114823408B (zh) * | 2022-05-05 | 2023-10-24 | 无锡美科微电子技术有限公司 | 晶圆检测***与晶圆检测方法 |
KR102674430B1 (ko) * | 2024-02-13 | 2024-06-12 | 주식회사 영선기계 | 유지보수가 용이한 핀치롤 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3761252B2 (ja) | 1996-07-18 | 2006-03-29 | 花王株式会社 | 吸水性ポリマー粒子の散布状態検出装置 |
JP3657930B2 (ja) | 2002-07-05 | 2005-06-08 | パイオニアプラズマディスプレイ株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法、蛍光体層の検査方法及び蛍光体層の検査装置 |
JP4009168B2 (ja) * | 2002-09-18 | 2007-11-14 | 有限会社ワイ・システムズ | 発光素子の測定方法 |
JP2005049308A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Innotech Corp | 電子部品の光学的検査装置および方法 |
JP2006162427A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Toshiba Corp | Ledチップの検査方法及びledチップの検査装置 |
JP2007299788A (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Optrex Corp | Led点灯検査装置 |
WO2007138502A2 (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Inorganic phosphor bodies for light emitting diodes |
JP2010534837A (ja) | 2007-07-23 | 2010-11-11 | リガク オートメイション インコーポレイテッド | 顕微鏡対象物を検査するための装置用のコンピュータ制御可能なled光源 |
CN101828139A (zh) | 2007-09-05 | 2010-09-08 | 致茂电子股份有限公司 | 具有波长转换磷光体的光源 |
KR101101132B1 (ko) * | 2007-11-23 | 2012-01-12 | 삼성엘이디 주식회사 | 발광소자 검사장치 및 이를 이용한 발광소자 검사방법 |
JP2009158903A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-07-16 | Toshiba Lighting & Technology Corp | Led発光ユニット及び発光装置 |
KR100990641B1 (ko) | 2008-06-04 | 2010-10-29 | 삼성엘이디 주식회사 | Led 검사 장치 및 그 방법 |
KR101046057B1 (ko) | 2008-11-28 | 2011-07-01 | 삼성엘이디 주식회사 | 발광소자 검사장치 및 이를 이용한 발광소자 검사방법 |
JP5424659B2 (ja) * | 2009-01-23 | 2014-02-26 | 株式会社サキコーポレーション | 被検査体の検査装置 |
CN101552313B (zh) | 2009-05-22 | 2013-02-27 | 重庆大学 | 一种磁场激励的led在线检测方法 |
KR101650390B1 (ko) * | 2009-09-14 | 2016-08-25 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 양자점 코팅을 이용한 발광 다이오드의 리페어 방법 및 장치 |
-
2011
- 2011-03-28 KR KR1020110027761A patent/KR101856533B1/ko active IP Right Grant
-
2012
- 2012-02-29 TW TW101106483A patent/TWI494559B/zh active
- 2012-03-05 US US13/412,197 patent/US8922643B2/en active Active
- 2012-03-26 JP JP2012069438A patent/JP5419304B2/ja active Active
- 2012-03-28 CN CN201210086528.6A patent/CN102721694B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI494559B (zh) | 2015-08-01 |
TW201243317A (en) | 2012-11-01 |
US20120249779A1 (en) | 2012-10-04 |
JP2012208122A (ja) | 2012-10-25 |
CN102721694B (zh) | 2015-08-12 |
KR20120109915A (ko) | 2012-10-09 |
CN102721694A (zh) | 2012-10-10 |
KR101856533B1 (ko) | 2018-05-14 |
US8922643B2 (en) | 2014-12-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120814 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130321 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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