JP5415291B2 - フロートバス装置および板ガラスを製造するための方法 - Google Patents

フロートバス装置および板ガラスを製造するための方法 Download PDF

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Description

本発明は、請求項1の前提部分に記載のフロートバス装置に関し、請求項46の前提部分に記載の板ガラスを製造する方法に関する。
フロート法に基づく板ガラスの、いわゆるフロートガラスの製造は、前世紀以来知られており、実質的に、ピルキントン社の基本的な保護権(特許文献1、特許文献2)に基づいている。
フロート法では、溝によって作業槽から導かれる液状ガラスを、溶融した金属、一般的にはスズからなるバス上に流す。ガラスの流量は、可動のスライダによって調節され、スライダの調整によって、取り分け、ガラスの厚みも調整される。ガラスの流れ方向に見てスライダの後方には、スパウト・リップがある。スパウト・リップからは、ガラス溶融物が連続的にメタルバスに流れる。そこでは、ガラス溶融物が、寸法安定性のあるガラスリボンに成形されて、硬化する。続いて、硬化したガラスリボンは、メタルバスから除去される。
この方法で製造されており、かつ通常は1.5mmより少ない厚みを有するフロートガラスは、薄ガラスサブストレートとして、取り分け、フラットパネルディスプレイの、例えば、プラズマディスプレイパネル(PDP=Plasma Display Panel)、電界放出ディスプレイ(FED=Field Emission Display)、TFT液晶ディスプレイ(TFT=Thin Film Transistor)、STN液晶ディスプレイ(STN=Super Twisted Nematic)、プラズマ援用液晶ディスプレイ(PALC=Plasma Assisted Liquid Crystal)、エレクトロルミネッセンスディスプレイ(EL)等の製造のために、または薄層ソーラセルの製造のために用いられる。
フラットパネルディスプレイでは、ディスプレイのタイプに従って、2つのガラス板の間に、液晶化合物の薄い層が挿入され、あるいは、後方のおよび前方の板ガラスの前面および裏面に、夫々、誘電層が形成される。これらの誘電層から、セルが成形され、セルには、リンが入れられている。
この場合に重要であるのは、液晶層の厚みまたは誘電層の厚みが正確に維持されることである。その目的は、特に、ディスプレイスクリーンの寸法が大きい場合に、妨害的な、色のひずみまたは類似性の区別(Aehnlichkeitsabweichungen)が生じないためである。現在では約30μmの層の厚みが、ますます小さくなり、ディスプレイスクリーンがますます大きくなるので、この条件の重要性が増大する。
板ガラスが、火で磨かれた表面の故に、特にディスプレイへの適用のために、適切であるにも係わらず、1800mmよりも大きな縁部の長さを有し、今日では要求される大型のサブストレート・フォーマットでは、50μmより少ない厚みの差を有するディスプレイガラスをフロート法により製造することはまだ不可能である。
板ガラスにおける厚みの変動の発生に関する説明は、フロートバスにおける流れの存在である。これらの非常に複雑な流れは、互いに影響し合う機械的および熱的に引き起こされる流れの結果である。それ故に、フロートバス装置内の温度管理が非常に重要になる。
フロートガラスの表面の質は、トップスペックとも呼ばれる表面の欠陥によって損なわれる。トップスペックは、スズバスの使用の際に、スズ含有の粒子、例えば、スズの粒子または酸化スズの粒子の、ガラスリボン上での沈殿によって引き起こされる。フロートバスの上方の雰囲気は、内部空間がフォーミングガス(典型的な組成、12%のH、88%のN)で洗い流されるにも拘わらず、スズバスに浸入しかつそこで酸化スズの粒子を形成する酸素の残量を含む。バスの温度が増すにつれて、酸化スズまたはスズが蒸発し、雰囲気を濃縮する。その結果、スズ含有の粒子が、ガラスリボン上に沈殿することがある。
表面のこのような欠陥を回避するために、ガラスリボンの上方の汚染された雰囲気を阻止するための種々の措置を講じねばならない。一方では、特に、酸素が外側からフロートバス・ハウジングの内部に浸入してはならず、他方では、万一酸素があっても、その酸素がスズバスの表面に接触してはならない。
特許文献3には、スズの酸化を防ぐために、フロートバスの自由表面を、Oを透過しないことが意図されており、かつ1300℃またはより高い温度に耐えるプレートによって、覆うことが提案される。材料としては、炭化物、例えば炭化ケイ素が提案される。
プレートは、スズバスの表面の直ぐ上に載せられる。それ故に、カバーの下には、雰囲気は存在しない。このようなカバーが浮いている場合には、ガラスリボンの縁部からの間隔が保たれねばならないので、ガラスリボンの側方には、フロートバスの自由表面領域がある。そこでは、依然として、スズの酸化が生じる。
特許文献4からは、雰囲気従ってまた酸化スズの粒子を、側壁に設けられている吸引管によって吸引することは公知である。これらの吸引管の欠点は、作用範囲が極めて制限されていることにある。一般には、重大な吸引効果が、大抵は、吸引管の入口開口部を中心とした約20cmの円の中で得られる。このことによっては、雰囲気中の酸化スズのまたは汚染物質の重要な割合は、捕捉されない。
特許文献5および特許文献6からは、ガラスリボンから間隔をあけてガラスリボンの上方に設けられる複数のカバーエレメントが公知である。一般的には、ガラスリボンの幅が、ガラスリボンの左右におけるスズバスの自由表面の幅に比べて、大きい。これに対応して、許文献5および特許文献6に伴う構造上のコストが、比較的大きい。
特許文献7からは、複数の吸引開口部が、ガラスリボンの縁部の上方に設けられている。この装置において、ガラスリボンに向けられている流れが、自由表面の直ぐ上の領域で、フォーミングガスの中に生じる。このことによって、金属を含有する蒸発されたガスの最高の濃度を有するフォーミングガスは、ガスリボンの方に吸引される。従って、この公知の実施の形態では、ガラスリボン上の表面の欠陥の危険性が高まる。
US 3,083,551 DE 147 19 50 特開平11-278856 WO 2005-097692 US 3 494 755 DE 40 21 223 C2 GB 1 217 047
本発明の課題は、フロート法で製造されるガラスリボン上の表面の欠陥の数および/または大きさを減少させることができるフロートバス装置を提供することである。本発明の課題は、板ガラスを製造するための対応の方法を提供することでもある。
この課題は、カバーエレメントが、ガラスリボンの縁部と側壁との間にある、フロートバスの自由表面の、その少なくとも1つの部分領域に、中間空間の分だけフロートバスの表面から間隔をあけて設けられており、および、フロートバス装置の内部にある雰囲気を吸引するための装置が、少なくとも1つの吸引導管を有し、この吸引導管の吸引開口部が中間空間に通じていてなるフロートバス装置によって解決される。
カバーエレメントは、好ましくは、カバーエレメントの上方の空間から垂直方向にフロートバスの自由表面を区切るすべてのエレメントを意味する。
カバーエレメントとロートバスの表面の間に中間空間を形成するように、複数のカバーエレメントを、間隔をあけて設けることは、板ガラスを製造するための方法との関連で詳述されるように、雰囲気の流れを調整する可能性を開く。
他の利点は、特に金属酸化物で汚染された雰囲気空間が、中間空間に限定され、従ってまた小さく保たれることにある。
更に、複数のカバーエレメントの下方における流速を、例えば、フロートバス・ハウジングの内部空間の内側にカーテンを設ける場合よりも、著しく高く調整することができる。吸引開口部への方向における比較的高い流速によって、汚染された雰囲気の、ガラスリボンの上方の領域への望ましくない拡散が、カーテンの使用の場合よりも良好に回避される。
他の利点は、カバーが、製造中に、ガラスリボンへのおよび特にガラスリボンの縁部への自由な視界を損なわないことにある。
本発明に係わるカバーの他の利点は、汚染された雰囲気が、フロートバスの自由表面から上がって、ガラスリボンの上方の領域に達することを阻止することにある。特許文献5または特許文献6と比較して、これらの公報に伴う構造上のコストが、著しく減じる。
吸引装置によって、実質的にフォーミングガスからなる雰囲気は、フロートバス・ハウジングの内部空間から中間空間へ吸引される。このことによって中間空間に発生される流れによって、ガラスリボンと側壁との間の全領域にある粒子が吸引される。カバーが、どの程度、ガラスリボンの縁部にまたは縁部を越えて延びているかに応じて、水平方向の流れも、少なくとも、ガラスリボンの部分領域に亘って発生され、かくして、ガラスリボンの上方の雰囲気の中にある有害なガス、小滴および粒子は吸引される。
他の利点は、吸引作用および流量管理の改善の故に、金属酸化形成を阻止し、または有害なガス、小滴および粒子を除去するためには、全体として、より少ないフォーミングガスを必要とすることにある。
吸引開口部が、ガラスリボンの縁部から、最も近い側壁への方向に、少なくとも100mmの水平方向の間隔Aを有することは好ましい。特に、間隔Aは少なくとも120mm、特に好ましくは少なくとも150mmである。
吸引開口部が側壁および/またはカバーエレメントに位置していることは好ましい。
カバーエレメントがクォーザルからなることは好ましい。クォーザルは、このクォーザルが、良好な耐温度変化性を有するので、作動中に、すなわち、熱い雰囲気の中で組み込み可能であるという、利点を有する。他の利点は、機械的安定性に、および、クォーザルが、断熱されておらず、従って、フロートバス・ハウジング内の温度差を引き起こさないという特性に基づいている。
カバーの他の適切な材料は、セラミック、例えば、ムライト、シリマナイト、SiC、Si、AlTi、C、Al、あるいはSiCでコートされたグラファイトである。ここに提案されたカバーの場合に、特許文献5で提案されたカバーに比較して、利点は、材料の選択に際し、蒸発された金属または金属酸化物の凝縮による湿潤性に関して制限を考慮する必要がないことを挙げることができる。
第1の実施の形態では、カバーエレメントは、フロートバスタブの底壁に載っている少なくとも1つの支持部を有する。支持部の長さは、所望の中間空間が、フロートバスの表面とカバーエレメントの下側との間で維持されるように、選択される。
第2の実施の形態では、カバーエレメントは、少なくとも1つの浮体を有し、この浮体によって、カバーエレメントは、間隔をあけて、フロートバスに浮かんでいる。浮体の大きさおよび浮体の浮力は、カバーエレメントとフロートバスの表面との所望の間隔が維持されるように、調整される。
支持部および浮体が、ムライトからなることは好ましい。他の好ましい材料は、SiCでコートされたグラファイト、クォーザル、焼粉、Alまたはセラミックである。これらすべての材料は、カバーのためにも用いられる。
特に、浮体を有するカバーエレメントが、保持手段によって取り付けられることは好ましい。そうでなければ、フロートバスにおける不可避的な流れの故に、カバーエレメントの移動が生じるであろう。
カバーエレメントが側壁まで延びていることは好ましい。このことによって、雰囲気ガスの帰還流、特に、フロートバスの上部の方向でのおよびガラスリボンへの流れが回避される。
カバーエレメントが、シール状態で、側壁に接触していることは好ましい。この実施の形態によって、側壁を貫通しかつ側壁の内側に沿って下方へ這っていく酸素が、メタルバスと接触し、かくして、金属酸化物の粒子を発生することが、効果的に阻止される。
他の実施の形態では、カバーエレメントが、フロートバスタブの複数の側壁ケーシングと側壁との間に保たれていることができる。カバーエレメントは、例えば、側壁ケーシングと側壁との間で締め付けられていてもよい。
他の実施の形態は、カバーエレメントが、フロートバス・ハウジングの上部壁に吊されていることを提案する。
ガラスリボンの縁部とカバーエレメントの縁部との間の間隔Aが、0≦A≦500mmであることは好ましい。
150≦A≦300mm、特に200≦A≦300mmである間隔Aは、特に好ましい。
カバーエレメントの好ましい実施の形態は、カバープレートおよびカバーフードである。カバープレートの下側とフロートバスの表面との間の間隔Aは、好ましくは25mmないし100mm、特に好ましくは50mmないし100mmである。フロートバス装置との関連で記載される吸引装置の吸引力が定められている場合には、カバープレートとフロートバスの表面との間隔を介して、この中間空間における流速を調整することが可能である。
他の実施の形態では、カバーエレメントを、側壁からの間隔Aをあけて設けることが可能である。しかしながら、間隔Aを間隔Aよりも小さく選択するほうがよい。その目的は、蒸発した金属または金属酸化物を、側壁とカバーエレメントとの間の領域における、フロートバスの自由表面から、カバーエレメントの上方の領域へおよび最後にガラスリボンの上方の領域へ拡大させることを回避するためである。この実施の形態では、吸引導管の吸引開口部が、フロートバスの表面とカバーエレメントの間の中間空間に通じている。
カバーエレメントのすべての実施の形態で注意すべきことは、関連の吸引開口部が、ガラスリボンの縁部から、好ましくは少なくとも100mmである水平方向の間隔Aを有することである。この場合、水平方向の間隔Aは、吸引開口部と、ガラスリボンの縁部との、最も近い側壁への方向における間隔を意味する。
カバーフードは、屋根状にまたは半ピラミッド状に形成されていてもよく、吸引装置の吸引管がフロートバス・ハウジングの内部空間に通じている個所、特にその個所で、カバーとして用いられる。カバーフードの下方の中間空間は、カバープレートの下方の中間空間よりも著しく大きい。
1つの側壁に沿って設けられた少なくとも2つの隣接するカバーエレメントの間の間隔が、0≦A≦500mmであることは好ましい。
側壁に沿って設けられた少なくとも2つの隣接するカバーエレメントは、直に互いに隣り合っていてもよい。
フロートバス部分における複数のカバーエレメントが、フロートバスの自由表面の少なくとも50%を覆うことは好ましい。
カバーエレメントが、少なくとも1つのフロートバス部分で、フロートバスの熱い領域に設けられることは好ましい。
2つの隣り合ったカバーエレメント、すなわち、同じ側壁に沿って設けられたカバーエレメントの間の間隔は、出来る限り小さいほうがよい。カバーエレメントを気密に互いに接続するほうが好ましい。カバーエレメントが間隔をあけている実施の形態では、これらの隣り合ったカバーエレメントの間の間隔Aは、しかしながら、ガラスリボンの縁部とカバーエレメントとの間の間隔Aよりも大きくないほうがよい。
フロートバス部分では、カバーエレメントによって、メタルバスの自由表面の少なくとも50%が覆われることは好ましい。カバーエレメントが、75%より多くを、特に、フロートバス部分における、メタルバスの自由表面全体を、覆うことは好ましい。
「覆われた」表面は、好ましくは、カバーエレメントの表面の、メタルバスの自由表面への垂直投影によって生じる表面を意味する。
カバーエレメントおよび吸引開口部のこのような配置では、フォーミングガスの雰囲気は、メタルバスの表面全体に亘って吸引される。それ故に、有害な粒子が蓄積されて、場合によってはフロートバス・ハウジングの中で上昇することができるデッドスペースが生じない。そこから、粒子が、通常、ハウジングの中央で再度下降し、ガラスリボン上に蓄積する。カバーエレメントを、好ましくは、フロートバスの前方の熱い領域に、好ましくは2つの側壁に沿って組み込むこと、および、少なくとも熱い領域で、しかし、場合によっては側壁のほぼ全長に沿って、特に、2つの側壁に亘って広い面積で吸引することは、この不都合な作用を阻止し、いわゆるトップスペックの明らかな減少をもたらす。
少なくとも1つの吸引導管が、側壁に組み込み可能な側壁ケーシングに設けられていることは好ましい。1つまたは複数の吸引管を側壁ケーシングに設けることが、吸引管の迅速な交換を可能にするのは、例えば、管の小さいか大きい横断面、あるいは、多いか少ない数の吸引管が必要とされる場合である。このような適合は、場合によってはフロートバス・ハウジング内の温度状況が変化するとき、必要となることができる。
吸引開口部が、水平方向に延びているスリット開口部であることは好ましい。
スリット開口部の利点は、フォーミングガスの雰囲気が、フロートバスの直ぐ上方の、容積の大きな連続する領域から、吸引されることにある。フォーミングガスの雰囲気の中の、有害なガス、小滴および粒子が、フロートバス・ハウジングの側壁に沿って間隔に亘って配設されている円形の吸引管によるよりも効果的にかつ完全に捕捉される。
このようなスリット状の吸引開口部を、フロートバスの表面の上方に、僅かな間隔をあけて設けることができる。それ故に、雰囲気を、フロートバスの表面とカバーエレメントの下側との間の中間空間から直に吸引する可能性が開ける。それ故に、例えば、比較的大きな横断面を有する円形の吸引管の場合に、その場合に必要であるのとは異なって、カバーフードを設ける必要がない。
他の利点は、スリット開口部によって、スリット開口部の全長に亘って、均等な流れが発生され、それ故に、複数のカバーエレメントとフロートバスの自由表面との間の中間空間から、フロートバスの雰囲気の残りの領域へ従ってまた潜在的にはガラスリボンの上方の領域への部分的な帰還流が、回避されることにある。
ガラスリボンの両側にある、フロートバスの自由表面の、その上方の少なくとも1つのフロートバス部分に、少なくとも1つのカバーエレメントが各々の側に設けられている。このフロートバス部分は、好ましくは、最高温度が生じるフロートバスの、その領域にある少なくとも1つのフロートバス部分である。2つの関連の互いに向かい合った側壁に、夫々少なくとも1つのスリット開口部が設けられていることは好ましい。このことによって達成されるのは、ガラスリボンの中央から出て、ガラスリボンの直ぐ上方に、両側で、最近のカバーエレメントおよびフロートバスの自由表面の下方の中間空間へと流れが生じることである。特に、ガラスリボンの縁部の直ぐ上の領域、および、ガラスリボンの縁部に隣接する、メタルバスの自由表面では、流れが、ガラスリボンから離れて、カバーエレメントの下方の中間空間へ向けられる。このことによって、金属を含む蒸発されたガスおよび有害な粒子を、金属を含む蒸発されたガスの高い濃度を有するフォーミングガス領域から、ガラスリボンの上方の領域へ運ぶことが、課題に基づいて、著しく阻止される。
カバーエレメントおよび/または関連のスリット開口部が、少なくとも、2つの最初のフロートバス部分に設けられていることは好ましい。熱成形がなされるフロートバス部分、特にフロートバス部分1および2、場合によってはフロートバス部分3においても、フロートバスの温度が最高である。それ故に、そこでは、有害な粒子を有する雰囲気の濃縮が最大である。特にこれらのフロートバス部分に設けられたスリット開口部による吸引によって、雰囲気の汚染除去の効果を著しく高めることができる。
少なくとも2つのスリット開口部が、水平方向に並設されていることは好ましい。
2つのスリット開口部の間の間隔は、出来る限り最小化され、有害な粒子が吸引によっても捕えられることができないデッドスペースを生じないようにするためには、10cmよりも少ないほうがよい。
スリット開口部が、全体として、任意の或るフロートバス部分の長さの少なくとも50%に亘って延びていることは好ましい。スリット開口部は、好ましくはフロートバス部分の長さの少なくとも70%に亘って、特に好ましくは少なくとも80%に亘って延びている。
スリット開口部が、全体として、フロートバス部分全体の長さの少なくとも30%に亘って延びていることは好ましい。スリット開口部が、フロートバス部分全体の長さの少なくとも50%に亘って、特に80%に亘って延びていることは好ましい。
スリット開口部の水平方向の長さが、30cmないし150cmであることは好ましい。
スリット開口部の横断面積が20ないし40cmであることは好都合である。このことは、スリット開口部の請求された長さでは、スリット開口部の垂直方向の幅が、2ないし10mmの範囲にあってよいことを意味する。これらの値に従うとき、スリット開口部の内側では、スリット開口部の全長に亘っての、均等な流れが維持される。
スリット開口部が、出来る限りすべての粒子を吸引することができるように、メタルバスの表面の上方の出来る限り近くに設けられているほうがよい。
スリット開口部の下縁が、フロートバスの表面の上方に、4cmと8cmの間で設けられていることは好ましい。
吸引導管が、側壁の中で、内側から外側への勾配を有することは好ましい。このことは、吸引導管の中で凝縮された粒子が、外側へ流れ出し、従って、メタルバスを汚染しないことである。
吸引導管がスリットノズルを有することは好ましい。スリットノズルは、実質的に、平面図で三角形の形状を有する。外側の方向に、横断面が先細りになっており、接続された吸引導管の横断面に移行する。側面図では、横断面は、スリット開口部から始まって、接続された吸引導管の横断面への移行部で、拡大している。スリットノズルは、別個の構成部材であってもよく、あるいは、吸引導管である吸引管に一体成形されていてもよい。
スリット状のノズルを、フロートバスの表面の上方に、僅かな間隔をあけて設けることができる。それ故に、ガス雰囲気をフロートバスの直ぐ上方で吸引する可能性が開ける。
スリットノズルにおいて、先細りに関しては、14°ないし40°、好ましくは18°ないし35°、特に好ましくは20°ないし30°の開口角αを、拡大に関しては、2°ないし10°、好ましくは3°ないし8°、特に好ましくは5°ないし7°の開口角βを保つことは好ましい。その目的は、スリットノズルの中で、スリットの長さに亘って、均等な流れを保証するためであり、圧力損を出来る限り小さく保ち、縮合物の蓄積の危険性を有するデッドスペースを回避するためである。ここでは、角度αは、平面図のスリットノズルのテーパ状をなす両方の側壁の間の角度であり、角度βは、側面図のスリットノズルの両方の側壁の間の角度である。
スリットノズルが側壁ケーシングに設けられていることは好ましい。
側壁ケーシングが、特に耐火材料からなりかつ少なくともスリットノズルを区画する2つの異形レンガを有することは好ましい。スリットノズルは、この場合、異形レンガに一体成形されている。2つの異形レンガの間の分離線がスリットノズルの間に延びていることは好ましい。
複数の吸引導管が、2つの側壁に沿って配設されていることは好ましい。吸引導管による吸引力が、適切な吸引手段によって個別に調整可能であることは好ましい。この実施の形態は、フロートバス・ハウジングの内側における種々の温度条件が容易に考慮されることができるという利点を供する。例えば、熱い領域では、冷たい領域で必要であるよりも、単位時間当たりの多いガス量を吸引することができる。
1つの吸引導管または複数の吸引導管を側壁ケーシングに設けることが、吸引導管の迅速な変換を可能にするのは、例えば、小さいか大きい横断面、あるいは、多いか少ない数の吸引導管が当該の側壁領域で必要とされる場合である。このような適合は、場合によってはフロートバス・ハウジング内の温度状況従ってまた粒子濃度が変化するとき、必要となることができる。
吸引装置がインジェクタポンプであることは好ましい。インジェクタポンプは、吸引管の出口で、低圧を発生させる。
インジェクタポンプは、2つの入口および1つの出口を有し、実質的には、2つの互いに中へ嵌め込まれている管からなる。これらの管を、内管および外管と呼ぶ。内管は外管で終わっており、出口ノズルを有する。吸引流体は、全線圧下で、出口ノズルから外管へ流れ出て、吸引される流体すなわちフォーミングガスの雰囲気を第2の入口から運び去る。このことは、発生した低圧の故に生じる。この原理により、例えばウォータジェットポンプも機能する。
インジェクタポンプの吸引力を、吸引流体の圧力により、高い正確度で容易に調整することができるので、フロートバス・ハウジングの中の粒子の種々の濃度への所望の適合が可能である。正確度は±5m(i.N.)/hである。記号m(i.N.)は、DIN1343に定められている標準立方メートルを意味する。標準立方メートルは、1.01325barの圧力、0%の空気の湿度(乾燥ガス)および0℃の温度の際の立方メートルに対応する量である。
インジェクタポンプを、吸引流体である圧縮空気で操作することは好ましい。これに応じて、インジェクタポンプが、少なくとも1つの圧縮空気発生器に接続されていることは好ましい。
更に、圧縮空気発生器が、圧縮空気の圧力を制御するための制御装置に接続されていることができ、あるいは、圧縮空気発生器はこのような制御装置を有する。
インジェクタポンプと圧縮空気発生器の間には、圧縮空気の圧力を制御するための制御装置が設けられていることも可能である。このような制御装置は、例えば圧縮空気弁であってもよい。各々のインジェクタポンプの手前にこのような圧縮空気弁が設けられていることは好ましい。その目的は、各々のインジェクタポンプを別個に調整することができるためである。
任意の或るインジェクタポンプには、1つまたは複数の吸引導管が接続されていてもよい。吸引導管をグループごとに設けることは、各々のフロートバス部分の吸引力を別個に調整することを意図するときに、勧められる。任意の或るフロートバス部分の内に、複数の吸引導管が設けられていて、これらの吸引導管を通って、単位時間当たり個別に調整されるガス量を吸引することが意図されるとき、各々の吸引導管が、自身のインジェクションポンプに接続されていることは好ましい。
制御装置が、フロートバスの内側に設けられている少なくとも温度センサに接続されていることは好ましい。温度変化を、制御装置によって、直接に、粒子の最適の吸引を保証するために必要な当該の吸引力に変換することができる。
吸引管の開口部の領域にカバーフードが設けられていることは好ましい。このことは、吸引管の開口部の直径が、カバープレートとフロートバスの自由表面との間隔より、大きいときに、特にその時に、好都合である。
本発明に係わるフロートバス装置で製造される板ガラスは、表面の欠陥の著しく少ない数を示す。m当たりの表面の欠陥の数を、平均で、50−100のトップスペック/mから0−20トップスペック/mに減じることができる。更に、表面の欠陥の大きさの分布が、小さい直径にシフトされることが明らかになった。
フロートバス装置の中で板ガラス、特にTFTガラスを製造する方法は、ガラスリボンの縁部と、隣接した側壁との間にある、フロートバスの自由表面の、その少なくとも一部分を、カバーによって覆って、中空空間を形成すること、および中間空間に、雰囲気の流れを発生することを特徴とする。
この流れは、中間空間から出てフロートバスの雰囲気の残りの領域に戻る出来る限り少ない、潜在的な、部分的な帰還流である。
流れが、ガラスリボンから離れた方向に向けられていることは好ましい。その目的は、金属または金属酸化物の蒸発されたガス、およびこれらのガスから凝縮、硬化、昇華または場合によっては他の不純物との化学反応によっても形成される小滴または粒子を、ガラスリボンの表面から吸引するためである。
雰囲気は、中間空間から外側へ吸引される。その目的は、雰囲気が内部空間に逆流しないためである。
カバーエレメントとフロートバスの自由表面との間の中間空間への入口縁部における、流れの平均速度を、0.1m/sないし10m/sに調整することは好ましい。
雰囲気を、水平方向に、スリットを介して吸引することは好ましい。
雰囲気を、少なくとも1つのスリット開口部を介して吸引することは好ましい。
フロートバス装置に沿って、複数の個所で吸引を行なうことは好ましい。フォーミングガスの雰囲気は、フロートバスタブの少なくとも2つのフロートバス部分(ベイ)で、吸引される。
雰囲気を、好ましくはフロートバス・ハウジングの2つの側壁で、フロートバスの長さの少なくとも50%に亘って、特に少なくとも70%、特に好ましくは少なくとも80%に亘って吸引することは好ましい。
更に、各々のフロートバス部分において単位時間あたりに吸引されたガス量を、フロートバス部分の温度に従って調整することは、利点である。
方法は、ホウケイ酸塩ガラス、無アルカリガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、リチウムアルミノケイ酸塩ガラスおよびガラスセラミックのための前駆体ガラスの製造のために、特にそのために適切である。
以下の組成(酸化物をベースにした重量%のすべての以下のデータ)、すなわち、SiO 70−85,B 7−13,NaO+KO+LiO 3−8,MgO+CaO+SrO 0−3,Al 2−7の組成を有する、例えば耐火に適用のための、ホウケイ酸塩ガラスを製造するための、
SiO 50−70,B ≦15,Al 10−25,MgO 0−10,CaO 0−12,SrO 0−12,BaO 0−15およびMgO+CaO+SiO+BaO 8−26,ZnO 0−10,ZrO 0−5,TiO 0−5,SnO 0−2の組成を有する無アルカリ性のアルミノケイ酸塩ガラス(ホウケイ酸塩ガラス)を製造するための方法は、
SiO >55−65,B 5−11,Al >14−25,MgO 0−8,CaO 0−8,SrO 0−8,BaO ≦10およびMgO+CaO+SrO+BaO 8−21,ZnO 0−5,ZrO 0−2,TiO 0−3,SnO 0−2の、
特に、SiO >58−65,B >6−10.5,Al >14−25,MgO 0−<3,CaO 0−9,BaO >3−8およびMgO+CaO+BaO 8−18,ZnO 0−<2,As非含有、Sb非含有、好ましくはZn−oxide非含有、Ce−oxide非含有、Ti−oxide非含有の、特にその組成を有する、ディスプレイガラスの製造のために、特に適切である。
方法は、更に、
例えば、SiO 55−69、Al 19−25,LiO 3−5,NaO 0−1.5,KO 0−1.5,ΣNaO+KO 0.2−2,MgO 0.1−2.2,CaO 0−15,SrO 0−1.5,BaO 0−2.5,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,ZnO 0−1.5,TiO 1−5,ZrO 1−2.5,SnO 0から1未満,ΣTiO+SrO+SnO 2.5−5,P 0−3の組成を有し、
あるいは、SiO 55−75、Al 15−30, LiO 2.5−6,ΣNaO+KO 6未満,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,B 0から4未満,ΣTiO+ZrO 2未満の組成を有するガラスセラミック用の前駆体ガラスを、
あるいは、SiO 60−72,Al 18−28,LiO 3−6,ΣNaO+KO 0.2−2,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,ZnO 0−1.5,B 0から4未満,SnO 0.1−1.5,ΣTiO+ZrO 2未満,P 0−3,F 0−2の組成を有するガラスセラミック用の前駆体ガラスを、製造するために、特に適切である。
ガラスリボンおよびカバーを有するフロートバスの平面図を示す。 図1に示したフロートバスタブの、線A−Aに沿った断面図を示す。追加的に、フロートバスルーフも示されている。 図1に示したフロートバスタブの、線B−Bに沿った断面図を示す。追加的に、フロートバスルーフも示されている。 断面図のカバーの拡大図を示す。 他の実施の形態を表わす、断面図のカバーの拡大図を示す。 本発明に係わるカバーの一部分の斜視図を示す。 図5に示したカバーの、線C−Cに沿った断面図を示す。 ガラスリボンおよび吸引装置を有するフロートバスの平面図を示す。 フロートバス・ハウジングの側壁の部分の側面図を示す。 図8の線D−Dに沿った断面図を示す。 他の実施の形態を表わす図9に対応する断面図を示す。 他の実施の形態を表わす図9に対応する断面図を示す。 側壁ケーシングの斜視図を示す。 図11に示したスリットノズルの水平方向断面図を示す。 インジェクタポンプを有するフロートバス装置の縁部の部分縦断面図を示す。 他の実施の形態を表わす、図1のフロートバスの、その部分の平面図を示す。 他の実施の形態を表わす、断面図のカバーの、その拡大図を示す。
以下、図面を参照して本発明の典型的な実施の形態を詳述する。図1には、フロートバスタブ12の平面図が示されている。フロートバスタブは、いわゆるベイ番号1ないし8が付されている部分に区分されている。フロートバスタブ12には、液状金属、特にスズからなるフロートバス16が満たされている。フロートバス16上には、矢印方向に引っ張られるガラスリボン28が浮かんでいる。ガラスリボン28の縁部29と、フロートバスタブ12の複数の側壁14との間の領域は、カバーによって覆われている。このカバーは、カバープレート30の形態をとるカバーエレメントからなる。更に、側壁14には、吸引装置の吸引導管40が示されている。
図2aには、フロートバス装置10の、図1に示したフロートバスタブ12の、線A−Aに沿った断面図が示されている。更に、上部壁19および双方の側壁20を有するフロートバスルーフ18の断面図も認められる。上部壁19には、複数のフォーミングガス供給部22が設けられている。これらのフォーミングガス供給部を通って、フォーミングガスが、フロートバス装置10の内部空間へ導入される。
図1の描写に加えて、複数のトップローラ26が描かれている。これらのトップローラは、ガラスリボン28の運動方向に対し垂直方向にガラスリボン28を引き離すために必要である。カバープレート30がトップローラの軸の下方に設けられていることが認められる。カバーエレメント30の縁部が、ガラスリボン28の縁部29から間隔をあけて設けられていることが、更に認められる。
カバープレート30は、フロートバスの表面17から間隔をあけて設けられている。それ故に、フロートバスの表面17と、カバープレート30の下側との間に、中間空間36が形成される。
図2bには、図1に示したフロートバスタブ12の線B−Bに沿った断面図が示されている。側壁ケーシング24に設けられており、かつ吸引導管40を形成する吸引管の断面が延びている。これらの吸引管は、フロートバスの表面からの、中間空間36が可能にするよりも大きな間隔をあけて、設けられているので、カバーフード32の形態をとる特別なカバーエレメントが設けられている。カバーフードは、吸引管を中間空間36に接続することを可能にする。
図3には、カバープレート30の拡大図が認められる。更に、カバープレート30の縁部34と、ガラスリボン28の縁部29との間の間隔Aが示されている。フロートバスの表面17と、カバーエレメント30の下側との間の間隔は、Aによって示されている。間隔Aの故に、生産中に、ガラスリボン28の縁部29を、例えばカメラによって観察することが可能である。このことは、製造工程にとっては、場合によっては重要である。
しかしまた、カバープレート30を、ガラスリボン28の縁部29まであるいはそれを越えて伸ばすことも可能であるのは、矢印によって示される特別な流れが、中間空間へまたは中間空間36の中で調整されることが意図される場合である。図3に示した実施の形態では、カバープレート30は支持部38を有する。これらの支持部は、フロートバスタブ12の底壁13に載っている。支持部38の長さは、所望の間隔Aが保たれるように選択されている。
図4には、カバープレートが、所定の間隔Aをあけて、スズバス16上に浮かんでいるように、カバープレート30が、浮体39を有してなる他の実施の形態が示されている。固定するために、保持手段31が設けられている。保持手段は、上から、カバープレート30へ押圧し、側壁14にしっかり取り付けられている。
図5には、カバーの部分の詳細図が示されている。側壁14と側壁ケーシング24との間で保たれているカバープレート30に加えて、カバーフード32が示されている。これらのカバーフードは、部分的にピラミッド状に形成されており、実質的に、2つの直立した三角形のプレートからなる。このことによって、側壁ケーシング24に設けられた複数の吸引導管40を、フロートバスの表面17から間隔をあけて設け、しかるに、カバープレート30の下方の中間空間36と吸引導管との間の接続を可能にすることができる。それ故に、中間空間36からの雰囲気の吸引が可能である。
図6には、図5に示した装置の、線C−Cに沿った断面図が示されている。認められるように、カバープレート30の下方の中間空間36が、カバーフード32の下方の中間空間36´に連続しているので、中間空間36から中間空間36´へのおよびそこから入口開口部41を通って吸引管40への流れが可能になる。
図7には、吸引装置50を説明するために、フロートバスタブ12の平面図が再度示されている。フロートバス装置10の側壁には、吸引管の形態をとる、吸引装置50の複数の吸引導管40が設けられている。一目で分かるように、吸引導管40の一部分のみが、描かれている。ベイ番号2には、右側の側壁に、複数の他の吸引導管の代わりに、1つの吸引導管40が描かれている。この吸引導管は、インジェクタポンプ60に接続されている。インジェクタポンプには、圧縮空気発生器80によって、圧縮空気管69を通って、圧縮空気が供給される。圧縮空気を制御するために、インジェクタポンプ60の手前に、制御装置として、制御弁84が設けられている。弁84の制御は、手動でまたは電気的になされてもよい。
ベイ番号3には、同様に、吸引導管40が示されており、ベイ番号4には、2つの吸引導管40が示されている。ベイ4の2つの吸引導管40は、共通のインジェクタポンプ60に接続されている。ベイ3およびベイ4用の2つのインジェクタポンプ60は、共通の圧縮空気管69を介して、圧縮空気発生器80に接続されている。圧縮空気発生器は、電気的に制御装置82に接続されている。この制御装置82は、電気的接続線72を介して、複数の温度測定センサ70に接続されている。これらの温度測定センサは、フロートバス・ハウジング11の側壁14の内側に設けられている。図1に示した実施の形態は、吸引導管40およびインジェクタポンプ60のならびに制御弁84および制御装置82の適用例を表わしているにすぎない。
図8には、フロートバス・ハウジング11の側壁20の部分図が示されている。この図は、側壁14の内面の側面図である。側壁は、図示した領域では、フロートバスタブの側壁14に設けられている複数の側壁ケーシング24からなる。各々の側壁ケーシング24は、1つのスリット状の吸引開口部41を有する。複数のスリット状の吸引開口部41は、10cmよりも少ない間隔をあけて互いに密接して、および約5cmの間隔をあけてメタルバス16の表面17上で密接して設けられている。吸引開口部41は、側壁ケーシングの下方領域に位置している。スリット状の吸引開口部41を密接して設けることは、有害な粒子が蓄積することがあるデッドスペースが生じることなく、ほぼ側壁の領域全体に亘って、フォーミングガスの雰囲気を吸引することができるという利点を有する。
図9には、図8に示した側壁20の、線D−Dの沿った断面図が示されている。スリット状の吸引開口部41は、吸引導管40の一部である。吸引導管の横断面は、水平方向に次第に細くなって、外側の吸引管53の横断面に連なる。
図9aには、吸引導管40の横断面が、垂直方向に、角度βで、外側の吸引管53の横断面へと拡張してなる他の実施の形態が示されている。
図10には、吸引導管40が、側壁ケーシング24の中で、外側への勾配を有してなる他の実施の形態が示されている。吸引された粒子は、側壁ケーシング24の中で従ってまた吸引導管40の中で凝結して、小滴を形成することができる。勾配の故に、これらの凝結された粒子は、フロートバス・ハウジング11に従ってまたメタルバス16に戻らず、これらの凝結された小滴が、外側の吸引管53へ流出する。
図11には、側壁ケーシング24の斜視図が示されている。側壁ケーシングは、ここに示した実施の形態では、2つの耐火用異形レンガ123および124から形成される。これらのレンガ123,124には、スリットノズル42が一体成形されている。2つの異形レンガ123と124の間の分離線125が、スリットノズル42の中を通って延びている。このことは、適切な製造技術上の利点を伴う。スリットノズル42の水平断面図が、図12に示されている。スリットノズル42の開口角αが、スリットノズル42の2つの境界壁によって定められることが認められる。この角度は、ここに示した図では、α=20°である。
図13には、底壁13および側壁14を有するフロートバスタブ12の部分縦断面図が示されている。フロートバスタブ12の側壁14には、吸引導管40を有する側壁ケーシング24が示されている。
吸引導管40は、フロートバス16の上方で、フロートバス・ハウジング11の内部に通じている。吸引導管40は、外側へ、インジェクタポンプ60に通じている。インジェクタポンプは、外管62および内管64からなり、内管の上端には、ノズル66が設けられている。内管64は、圧縮空気発生器80に接続されている。圧縮空気発生器は、同様に、制御装置82に電気的に接続されている。電気接続線72を介して、制御装置82は、壁部20の内側に設けられた温度測定センサ70に接続されている。圧縮空気発生器80の中で発生される圧縮空気は、内管64に流入し、続いて、ノズル66から出て、外管62の内部空間に流入する。従って、吸引導管40が通じている領域の、その外管62には、低圧が発生される。低圧の故に、フォーミングガスの雰囲気が、フロートバス・ハウジング11の内部から吸引される。フロートバス・ハウジング11の内部からの圧縮空気およびガス雰囲気は、吸引管68を通って、上方に共に排出される。
図14には、図1に示す、他の実施の形態のフロートバスの、その部分の平面図が、示されている。ここでは、複数の隣り合ったカバーエレメント30が、互いに間隔Aをあけて設けられている。
図15は、カバーエレメント30の断面図を示す。カバーエレメント30は、フロートバスの表面17から間隔Aをあけて設けられている。更に、カバーエレメント30は、側壁ケーシング24から間隔A5をあけて取り付けられている。カバーエレメント30とフロートバスの表面17との間の中間空間に通じている吸引開口部41は、ガラスリボンの縁部29からの間隔Aを有する。
1 ベイ番号
2 ベイ番号
3 ベイ番号
4 ベイ番号
5 ベイ番号
6 ベイ番号
7 ベイ番号
8 ベイ番号
10 フロートバス装置
11 フロートバス・ハウジング
12 フロートバスタブ
13 底壁
14 側壁
16 フロートバス
17 フロートバスの表面
18 ガラスリボンルーフ
19 上部壁
20 側壁
22 フォーミングガス供給部
24 側壁ケーシング
26 トップローラ
28 ガラスリボン
29 ガラスリボンの縁部
30 カバープレート
31 保持手段
32 カバーフード
34 カバープレートの縁部
36 中間空間
36´ 中間空間
38 支持部
39 浮体
40 吸引導管
41 吸引開口部
42 スリットノズル
50 吸引装置
53 外側の吸引管
60 インジェクタポンプ
62 外管
64 内管
66 ノズル
68 排出管
69 圧縮空気管
70 温度測定センサ
72 電気接続線
80 圧縮空気発生器
82 制御装置
84 制御弁
123 異形レンガ
124 異形レンガ
125 分離線
ガラスリボンの縁部とカバープレートの縁部との間隔
フロートバスの表面と下側との間隔
カバーエレメントと側壁との間隔
カバーエレメントとカバーエレメントとの間の間隔
ガラスリボンの縁部と吸引開口部との間隔

Claims (54)

  1. フロートバス装置(10)であって、
    前記フロートバス装置(10)は、フロートバスタブ(12)、フロートバスルーフ(18)および側壁(14,20)と、少なくとも1つのカバーエレメント(30,32)を有するフロートバス(16)のカバーとを具備し、前記フロートバスタブ(12)には、前記フロートバス(16)上に浮いているガラスリボン(28)を製造するための、液状金属からなるフロートバス(16)を含んでおり、
    前記カバーエレメント(30,32)は、前記ガラスリボン(28)の縁部(29)と、前記側壁(14)との間にある、前記フロートバスの自由表面の、その少なくとも1つの部分領域に、中間空間(36)の分だけ前記フロートバスの表面(17)から間隔をあけて設けられていること、および、
    前記装置(10)の内部にある雰囲気を吸引するための装置が、少なくとも1つの吸引導管(40)を有し、この吸引導管(40)の吸引開口部(41)が前記中間空間(36)に通じていることを特徴とするフロートバス装置。
  2. 前記吸引開口部(41)は、前記ガラスリボンの前記縁部(29)から、最も近い側壁への方向に、少なくとも100mmの水平方向の間隔Aを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 前記吸引導管(40)は、前記側壁(14)および/または前記カバーエレメント(30,32)に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
  4. 前記カバーエレメント(30,32)は、クォーザルからなることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の装置。
  5. 前記カバーエレメント(30,32)は、底壁に載っている少なくとも1つの支持部(38)を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の装置。
  6. 前記支持部(38)はムライトからなることを特徴とする請求項5に記載の装置。
  7. 前記カバーエレメント(30,32)は、少なくとも1つの浮体(39)を有し、この浮体によって、前記カバーエレメント(30,32)は、間隔をあけて、前記フロートバス(16)に浮かんでいることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の装置。
  8. 前記浮体(39)は、ムライトからなることを特徴とする請求項7に記載の装置。
  9. 前記カバーエレメント(30,32)は、保持手段(31)によって取り付けられていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の装置。
  10. 前記カバーエレメント(30,32)は、前記側壁(14)まで延びていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の装置。
  11. 前記カバーエレメント(30,32)は、シール状態で、前記側壁(14)に接触していることを特徴とする請求項10に記載の装置。
  12. 前記カバーエレメント(30,32)は、前記フロートバスタブ(12)の複数の側壁ケーシング(24)と前記側壁(14)との間に保たれていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の装置。
  13. 前記カバーエレメント(30,32)は、前記フロートバス・ハウジング(11)の上部壁(19)に吊されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の装置。
  14. 前記ガラスリボン(28)の前記縁部(29)と前記カバーエレメント(30,32)の前記縁部(34)との間の間隔Aは、0≦A≦500mmであることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1項に記載の装置。
  15. 前記カバーエレメントは、カバープレート(30)であることを特徴とする請求項1ないし14のいずれか1項に記載の装置。
  16. 前記カバープレート(30)の下側と前記フロートバスの前記表面(17)との間隔Aは、25ないし100mmであることを特徴とする請求項1ないし15のいずれか1項に記載の装置。
  17. 前記側壁(14)と前記カバーエレメント(30,32)との間の間隔Aは、0≦A≦500mmであることを特徴とする請求項1ないし16のいずれか1項に記載の装置。
  18. 前記カバーエレメントは、カバーフード(32)であることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1項に記載の装置。
  19. 1つの側壁(14)に沿って設けられた少なくとも2つの隣接するカバーエレメント(30,32)の間の間隔は、0≦A≦500mmであることを特徴とする請求項1ないし18のいずれか1項に記載の装置。
  20. 1つの側壁(14)に沿って設けられた少なくとも2つの隣接するカバーエレメント(30,32)は、直に互いに隣り合っていることを特徴とする請求項1ないし19のいずれか1項に記載の装置。
  21. 前記複数のカバーエレメント(30,32)は、フロートバス部分(1ないし8)で、前記フロートバスの自由表面の少なくとも50%を覆うことを特徴とする請求項1ないし20のいずれか1項に記載の装置。
  22. 前記カバーエレメント(30,32)は、少なくとも1つのフロートバス部分(1ないし8)で、前記フロートバス(16)の熱い領域に設けられることを特徴とする請求項1ないし21のいずれか1項に記載の装置。
  23. 前記カバーエレメント(30,32)は、前記フロートバス(16)の熱い領域で、少なくとも、前記フロートバス(16)の長さの50%の長さに亘って、設けられることを特徴とする請求項1ないし22のいずれか1項に記載の装置。
  24. 前記少なくとも1つの吸引導管(40)は、前記側壁(14)に組み込み可能な側壁ケーシング(24)に設けられていることを特徴とする請求項1ないし23のいずれか1項に記載の装置。
  25. 前記吸引開口部(41)は、水平方向に延びているスリット開口部(41)であることを特徴とする請求項1ないし24のいずれか1項に記載の装置。
  26. 少なくとも1つのフロートバス部分(1ないし8)では、2つの互いに向かい合った側壁(14,20)に、夫々1つのスリット開口部(41)が設けられていることを特徴とする請求項1ないし25のいずれか1項に記載の装置。
  27. 前記カバーエレメント(30,32)および/または前記スリット開口部(41)は、少なくとも、2つの最初のフロートバス部分(1,2)に設けられていることを特徴とする請求項26に記載の装置。
  28. 少なくとも2つのスリット開口部(41)は、水平方向に並設されていることを特徴とする請求項25ないし27のいずれか1項に記載の装置。
  29. 前記複数のスリット開口部(41)は、全体として、フロートバス部分(1ないし8)の長さの少なくとも50%に亘って延びていることを特徴とする請求項25ないし28のいずれか1項に記載の装置。
  30. 前記複数のスリット開口部(41)は、全体として、前記フロートバス(16)の長さの少なくとも30%に亘って延びていることを特徴とする請求項25ないし29のいずれか1項に記載の装置。
  31. 前記スリット開口部(41)の水平方向の長さは、30cmないし150cmであることを特徴とする請求項25ないし30のいずれか1項に記載の装置。
  32. 前記スリット開口部(41)の横断面積は、20ないし40cmであることを特徴とする請求項25ないし31のいずれか1項に記載の装置。
  33. 前記スリット開口部(41)の下縁は、前記フロートバス(16)の表面(17)の上方に、4cmと8cmの間で設けられていることを特徴とする請求項25ないし32のいずれか1項に記載の装置。
  34. 前記側壁(20)に設けられた前記吸引導管(40)は、内から外への勾配を有することを特徴とする請求項1ないし33のいずれか1項に記載の装置。
  35. 前記吸引導管(40)は、前記スリット開口部(41)を有するスリットノズル(42)を具備することを特徴とする請求項25ないし34のいずれか1項に記載の装置。
  36. 前記スリットノズル(42)は、平面図のこのスリットノズルの、テーパ状をなす両方の側壁の間で、14°ないし40°の角度αを有し、側面図の前記スリットノズルの両方の側壁の間で、2°ないし10°の角度βを有することを特徴とする請求項35に記載の装置。
  37. 前記スリットノズル(42)は、側壁ケーシング(24)に設けられていることを特徴とする請求項35または36に記載の装置。
  38. 前記側壁ケーシング(24)は、少なくとも前記スリットノズル(42)を区画する2つの異形レンガ(123,124)を有することを特徴とする請求項37に記載の装置。
  39. 前記吸引装置(50)は、前記吸引導管(40)の出口で低圧を発生するインジェクタポンプ(60)であることを特徴とする請求項1ないし38のいずれか1項に記載の装置。
  40. 前記インジェクタポンプ(60)は、少なくとも1つの圧縮空気発生器(80)に接続されていることを特徴とする請求項39に記載の装置。
  41. 前記圧縮空気発生器(80)は、圧縮空気の圧力を制御するための少なくとも1つの制御装置(82)を有し、あるいは、少なくとも1つのかような制御装置(82)に接続されていることを特徴とする請求項40に記載の装置。
  42. 前記インジェクタポンプ(60)と前記圧縮空気発生器(80)との間には、圧縮空気の圧力を制御するための少なくとも1つの制御装置(82)が設けられていることを特徴とする請求項39ないし41のいずれか1項に記載の装置。
  43. 前記制御装置(82)は制御弁(84)であることを特徴とする請求項42に記載の装置。
  44. 前記制御装置(82)は、少なくとも1つの温度測定センサ(70)に接続されており、この温度測定センサは、前記フロートバス・ハウジング(11)の内側に設けられていることを特徴とする請求項42または43に記載の装置。
  45. 前記吸引管(40)の前記吸引開口部(41)の領域には、複数のカバーフード(32)が設けられていることを特徴とする請求項1ないし44のいずれか1項に記載の装置。
  46. 複数の側壁を有するフロートバス装置では、フォーミングガスの雰囲気下で、液状ガラスを、連続的に、液状金属を有するフロートバス上に注ぎ、そこで、ガラスリボンに成形する、板ガラスを製造する方法において、
    前記ガラスリボンの縁部と、隣接した側壁との間にある、フロートバスの自由表面の、その少なくとも一部分を、カバーによって覆って、中間空間を形成すること、および
    前記中間空間に、雰囲気の流れを発生し、前記雰囲気を前記中間空間から外側へ吸引することを特徴とする方法。
  47. 前記板ガラスは、TFTガラスであることを特徴とする請求項46に記載の方法。
  48. 前記流れが、前記ガラスリボンから離れた方向に向けられていることを特徴とする請求項46または47に記載の方法。
  49. 前記カバーエレメントと前記フロートバスの前記自由表面との間の前記中間空間への入口縁部における、前記流れの平均速度を、0.1m/sないし10m/sに調整することを特徴とする請求項46ないし48のいずれか1項に記載の方法。
  50. 前記雰囲気を、水平方向に、スリットを介して吸引することを特徴とする請求項46ないし49のいずれか1項に記載の方法。
  51. 前記雰囲気を、前記側壁に沿って、複数の個所で吸引することを特徴とする請求項46ないし49のいずれか1項に記載の方法。
  52. 前記雰囲気を、前記フロートバス・ハウジングの少なくとも2つのフロートバス部分(ベイ)でスリットを介して吸引することを特徴とする請求項46ないし51のいずれか1項に記載の方法。
  53. 前記雰囲気を、前記フロートバスの長さの少なくとも50%に亘って吸引することを請求項46ないし52のいずれか1項に記載の方法。
  54. 各々のフロートバス部分において単位時間あたりに吸引されたガス量を、前記フロートバス部分の温度に従って調整することを特徴とする請求項46ないし53のいずれか1項に記載の方法。
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