JP2016078215A - サブチャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】板状物のずれを適切に検出できるサブチャックテーブルを提供する。
【解決手段】チャックテーブル(14)の近傍に配設され、上面に板状物(11)を吸引して保持する矩形の保持面(16a)を有するサブチャックテーブル(16)であって、保持面には、複数の縦溝(48a)と複数の横溝(48b)とを含み、吸引手段に連通した吸引路(50)と接続する格子状の吸引溝(48)が形成され、隣り合う2辺に相当する保持面の外縁には、板状物の厚さよりも高さが小さく、板状物を載置する際に板状物の側面(11c)が突き当てられる突き当て壁(52a,52b)が配設され、保持面の最も外縁側に位置する縦溝と横溝とは、それぞれ、縦溝と横溝との交点から突き当て壁に向けて延出された端部(48c)を有する構成とした。
【選択図】図3
【解決手段】チャックテーブル(14)の近傍に配設され、上面に板状物(11)を吸引して保持する矩形の保持面(16a)を有するサブチャックテーブル(16)であって、保持面には、複数の縦溝(48a)と複数の横溝(48b)とを含み、吸引手段に連通した吸引路(50)と接続する格子状の吸引溝(48)が形成され、隣り合う2辺に相当する保持面の外縁には、板状物の厚さよりも高さが小さく、板状物を載置する際に板状物の側面(11c)が突き当てられる突き当て壁(52a,52b)が配設され、保持面の最も外縁側に位置する縦溝と横溝とは、それぞれ、縦溝と横溝との交点から突き当て壁に向けて延出された端部(48c)を有する構成とした。
【選択図】図3
Description
本発明は、ドレスボードのような板状物を吸引して保持するサブチャックテーブルに関する。
ストリートと呼ばれる分割予定ラインで区画された複数の領域に、それぞれIC等のデバイスが形成されたウェーハは、例えば、切削ブレードを備える切削装置で各デバイスに対応する複数のチップへと分割され、電子機器等に組み込まれる。
上述の切削ブレードは、ビトリファイドやレジノイド等の結合材料にダイヤモンドやCBN等の砥粒を混合して円環状に形成され、回転軸となるスピンドルに装着される。このスピンドルには、モータ等の回転駆動源が連結されており、切削ブレードは、スピンドルを介して伝達される回転力で回転する。
ところで、スピンドルに装着された切削ブレードの回転中心とスピンドルの軸心とがずれた状態でスピンドルを高速に回転させると、切削ブレードはスピンドルの軸心と直交する方向に振動する。このように振動する切削ブレードをウェーハ等の被加工物に切り込ませると、切削によって形成されるカーフ(切削痕)の縁にチッピング(欠け)が発生し易くなる。
そこで、切削ブレードを交換等した後には、切削ブレードをドレスボードに切り込ませて切削ブレードの回転中心とスピンドルの軸心とが一致するように切削ブレードの外周を修正するドレッシング(真円出しドレッシング等と呼ばれる)を実施している。
また、被加工物を切削するうちに、切削ブレードの目こぼれ、目詰まり、目つぶれ等によって切削ブレードの切削能力は徐々に低下してしまう。そのため、必要に応じて切削ブレードを目立てするドレッシング(目立てドレッシング等と呼ばれる)を実施している。
近年では、上述した切削ブレードのドレッシング(真円出しドレッシング及び目立てドレッシング)を効率良く実施するために、被加工物を保持するチャックテーブルの近傍にドレッシング用のドレスボードを保持するサブチャックテーブルを配置した切削装置が実用化されている(例えば、特許文献1参照)。
この切削装置では、あらかじめサブチャックテーブルにドレスボードを保持させておくことで、切削ブレードのドレッシングを任意のタイミングで実施できる。なお、このサブチャックテーブルにダミーウェーハを保持させれば、切削ブレードの切り込み位置を補正することも可能である(例えば、特許文献2参照)。
サブチャックテーブルは、例えば、ドレスボードのような矩形状の板状物を保持する保持面を備えている。この保持面には、板状物に負圧を作用させる格子状の吸引溝が設けられている。また、保持面の外縁には、板状物の位置を規定する突き当て壁が配置されている。保持面に載置する板状物の側面をこの突き当て壁に突き当てることで、板状物をサブチャックテーブルで適切に吸着して保持できる。
しかしながら、上述のようなサブチャックテーブルであっても、例えば、作業者の手作業で板状物を保持面に載置するような場合には、板状物が適切な位置からずれる可能性がある。板状物のずれが大きい場合には、吸引溝の負圧がリークしてずれを検知できるが、板状物のずれが小さい場合には、この方法でずれを検知できない。
例えば、チャックテーブルに対してドレスボードがずれてしまうと、ドレスボードの外縁部分で適切なドレッシングを実施できなくなる。この問題を解決するには、ドレスボードの中央部分のみを使用すれば良いが、その場合、まだ使用できるドレスボードを廃棄することになって不経済である。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、板状物のずれを適切に検出できるサブチャックテーブルを提供することである。
本発明によれば、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、を備えた切削装置の該チャックテーブルの近傍に配設され、上面に板状物を吸引して保持する矩形の保持面を有するサブチャックテーブルであって、該保持面には、複数の縦溝と複数の横溝とを含み、吸引手段に連通した吸引路と接続する格子状の吸引溝が形成され、隣り合う2辺に相当する該保持面の外縁には、該板状物の厚さよりも高さが小さく、該板状物を載置する際に該板状物の側面が突き当てられる突き当て壁が配設され、該保持面の最も外縁側に位置する該縦溝と該横溝とは、それぞれ、該縦溝と該横溝との交点から該突き当て壁に向けて延出された端部を有することを特徴とするサブチャックテーブルが提供される。
本発明において、該突き当て壁に向けて延出された該端部と該突き当て壁との間の距離は、1mm以下であることが好ましい。
本発明において、該サブチャックテーブルに載置される該板状物は、例えば、ドレスボード又はダミーウェーハである。
本発明に係るサブチャックテーブルは、保持面の最も外縁側に位置する縦溝と横溝とが、それぞれ、縦溝と横溝との交点から突き当て壁に向けて延出された端部を有するので、板状物のずれが小さい場合でも吸引溝は露出し易くなる。
つまり、板状物のずれが小さい場合でも、この端部を有しない従来のサブチャックテーブルに比べて、吸引溝の負圧はリークし易くなる。よって、板状物のずれを適切に検出できる。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態のサブチャックテーブルを備えた切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、切削装置2は、各構造を支持する基台4を備えている。
基台4の前方の角部には、矩形状の開口4aが形成されており、この開口4a内には、カセット載置台6が昇降可能に設置されている。カセット載置台6の上面には、複数のウェーハを収容する直方体状のカセット8が載置される。なお、図1では、説明の便宜上、カセット8の輪郭のみを示している。
カセット載置台6の側方には、X軸方向(前後方向、加工送り方向)に長い矩形状の開口4bが形成されている。この開口4b内には、X軸移動テーブル10、X軸移動テーブル10をX軸方向に移動させるX軸移動機構(加工送り手段)(不図示)、及びX軸移動機構を覆う防塵防滴カバー12が設けられている。
X軸移動機構は、X軸方向に平行な一対のX軸ガイドレール(不図示)を備えており、X軸ガイドレールには、X軸移動テーブル10がスライド可能に設置されている。X軸移動テーブル10の下面側には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、X軸ガイドレールと平行なX軸ボールネジ(不図示)が螺合されている。
X軸ボールネジの一端部には、X軸パルスモータ(不図示)が連結されている。X軸パルスモータでX軸ボールネジを回転させることで、X軸移動テーブル10は、X軸ガイドレールに沿ってX軸方向に移動する。
X軸移動テーブル10の上方には、ウェーハ等の被加工物(不図示)を吸引保持するチャックテーブル14が設けられている。このチャックテーブル14は、モータ等の回転駆動源(不図示)と連結されており、Z軸方向(上下方向、鉛直方向)に平行な回転軸の周りに回転する。
チャックテーブル14の表面(上面)は、被加工物を吸引保持する保持面14aとなっている。この保持面14aは、チャックテーブル14の内部に形成された流路(不図示)を通じて吸引源(不図示)と接続されている。
チャックテーブル14の近傍には、ドレスボードやダミーウェーハ等の板状物11(図2等参照)を吸引保持する2つのサブチャックテーブル16が配置されている。サブチャックテーブル16の詳細については後述する。
基台4の上面には、切削ユニット(切削手段)18a,18bを支持する門型の支持構造20が、開口4bを跨ぐように配置されている。支持構造20の前面上部には、切削ユニット18a,18bをY軸方向(左右方向、割り出し送り方向)及びZ軸方向に移動させる2組の切削ユニット移動機構(割り出し送り手段)22が設けられている。
各切削ユニット移動機構22は、支持構造20の前面に配置されY軸方向に平行な一対のY軸ガイドレール24を共通に備えている。Y軸ガイドレール24には、各切削ユニット移動機構22を構成するY軸移動プレート26がスライド可能に設置されている。
各Y軸移動プレート26の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Y軸ガイドレール24と平行なY軸ボールネジ28がそれぞれ螺合されている。
各Y軸ボールネジ28の一端部には、Y軸パルスモータ30が連結されている。Y軸パルスモータ30でY軸ボールネジ28を回転させれば、Y軸移動プレート26は、Y軸ガイドレール24に沿ってY軸方向に移動する。
各Y軸移動プレート26の表面(前面)には、Z軸方向に平行な一対のZ軸ガイドレール32が設けられている。Z軸ガイドレール32には、Z軸移動プレート34がスライド可能に設置されている。
各Z軸移動プレート34の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸ガイドレール32と平行なZ軸ボールネジ36がそれぞれ螺合されている。
各Z軸ボールネジ36の一端部には、Z軸パルスモータ38が連結されている。Z軸パルスモータ38でZ軸ボールネジ36を回転させれば、Z軸移動プレート34は、Z軸ガイドレール32に沿ってZ軸方向に移動する。
各Z軸移動プレート34の下部には、被加工物を切削する切削ユニット18a,18bが設けられている。また、切削ユニット18aと隣接する位置には、被加工物の上面側を撮像するカメラ(撮像手段)40が設置されている。
切削ユニット18a,18bは、それぞれ、Y軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドルの一端側に装着された円環状の切削ブレード44を備えている。スピンドルの他端側にはモータ等の回転駆動源(不図示)が連結されており、スピンドルに装着された切削ブレード44を回転させる。
開口4bに対して開口4aと反対側の位置には、円形状の開口4cが形成されている。開口4c内には、切削後の被加工物を洗浄する洗浄機構(洗浄手段)46が設けられている。
次に、本実施形態のサブチャックテーブル16について説明する。図2は、チャックテーブル14の周辺を拡大した斜視図であり、図3(A)は、サブチャックテーブル16の構造を模式的に示す平面図であり、図3(B)は、板状物11が載置された状態のサブチャックテーブル16を模式的に示す側面図である。
図2、図3(A)、及び図3(B)に示すように、サブチャックテーブル16は、略直方体状に形成されている。このサブチャックテーブル16の矩形状の表面(上面)は、板状物11を保持する保持面16aとなっている。
図3(A)に示すように、保持面16aには、板状物11の裏面(下面)11b側を吸引する格子状の吸引溝48が形成されている。この吸引溝48は、例えば、X軸方向に伸びる複数の第1吸引溝(縦溝)48aと、Y軸方向に伸びる複数の第2吸引溝(横溝)48bと、を含み、底面に開口した吸引路50を通じて吸引源(吸引手段)(不図示)と接続されている。
サブチャックテーブル16の隣り合う側面16b,16c(隣り合う2辺に相当する保持面16aの外縁)には、板状物11の側面11cを突き当てる突き当て壁52a,52bが設けられている。
図3(B)に示すように、保持面16aから測定した突き当て壁52a,52bの上端の高さは、板状物11の厚さよりも小さくなっている。すなわち、突き当て壁52a,52bの上端の高さは、保持面16aに載置された板状物11の表面(上面)11aの高さよりも低い。これにより、切削ブレード44を板状物11の表面11aに切り込ませる際の突き当て壁52a,52bと切削ブレード44との干渉を抑制できる。
ところで、従来のサブチャックテーブルでは、例えば、保持面の外縁からある程度離れた内側(例えば、3mm程度内側)の位置に吸引溝の矩形状の輪郭部分が形成されている。そのため、板状物のずれが小さい場合は、負圧のリークによってずれを適切に検出できなかった。
そこで、本実施形態のサブチャックテーブル16では、保持面16aの最も外縁側に位置する第1吸引溝48aと第2吸引溝48bとを、第1吸引溝48aと第2吸引溝48bとの交差部分(交点)から突き当て壁52a又は突き当て壁52bに向けて延出させている。
このように突き当て壁52a又は突き当て壁52bに向けて延出された端部48cを設けることで、板状物11のずれが小さい場合でも吸引溝48は露出し易くなる。つまり、板状物11のずれが小さい場合でも、吸引溝48の負圧はリークし易くなる。よって、板状物11のずれを適切に検出できる。
端部48cと突き当て壁52a又は突き当て壁52bとの距離は任意だが、例えば、1mm以下にすると良い。端部48cと突き当て壁52a又は突き当て壁52bとの距離を1mm以下に設定することで、板状物11のずれを実用上十分な精度で検出できる。
なお、従来のサブチャックテーブルが備える吸引溝の矩形状の輪郭部分を保持面の外縁に近づければ、上述の効果を得ることはできる。しかしながら、この場合には、吸引溝の形成に高精度の加工が必要になるので、サブチャックテーブルの製造コストが大幅に高くなる。
これに対して、本実施形態のサブチャックテーブル16では、第1吸引溝48aと第2吸引溝48bとの一部を突き当て壁52a又は突き当て壁52bに向けて延出させれば良いので、製造コストを殆ど変えることなく板状物11のずれを適切に検出できる。
図4(A)、図4(B)、及び図4(C)は、板状物11が適切な位置からずれた状態を模式的に示す平面図である。図4(A)、図4(B)、及び図4(C)に示すように、板状物11は適切な位置からずれた状態で保持面16aに載置され、吸引溝48の端部48cは板状物11で覆われず露出している。
そのため、吸引路50を通じて吸引溝48に作用する吸引源の負圧は端部48cでリークする。このリークを真空計等で検出すれば、板状物11のずれの有無を確認できる。これに対して、端部48cを有しない従来のサブチャックテーブルでは、図4(A)、図4(B)、及び図4(C)に示すような板状物11のずれを検出できない。
以上のように、本実施形態に係るサブチャックテーブル16は、保持面16aの最も外縁側に位置する第1吸引溝(縦溝)48aと第2吸引溝(横溝)48bとが、それぞれ、第1吸引溝48aと第2吸引溝48bとの交点から突き当て壁52a,52bに向けて延出された端部48cを有するので、板状物11のずれが小さい場合でも吸引溝48は露出し易くなる。
つまり、板状物11のずれが小さい場合でも、この端部48cを有しない従来のサブチャックテーブルに比べて、吸引溝48の負圧はリークし易くなる。よって、板状物11のずれを適切に検出できる。
なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 切削装置
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット載置台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
16 サブチャックテーブル
16a 保持面
16b,16c 側面
18a,18b 切削ユニット(切削手段)
20 支持構造
22 切削ユニット移動機構(割り出し送り手段)
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動プレート
28 Y軸ボールネジ
30 Y軸パルスモータ
32 Z軸ガイドレール
34 Z軸移動プレート
36 Z軸ボールネジ
38 Z軸パルスモータ
40 カメラ(撮像手段)
44 切削ブレード
46 洗浄機構(洗浄手段)
48 吸引溝
48a 第1吸引溝(縦溝)
48b 第2吸引溝(横溝)
48c 端部
50 吸引路
52a,52b 突き当て壁
11 板状物
11a 表面(上面)
11b 裏面(下面)
11c 側面
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット載置台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
16 サブチャックテーブル
16a 保持面
16b,16c 側面
18a,18b 切削ユニット(切削手段)
20 支持構造
22 切削ユニット移動機構(割り出し送り手段)
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動プレート
28 Y軸ボールネジ
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32 Z軸ガイドレール
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36 Z軸ボールネジ
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46 洗浄機構(洗浄手段)
48 吸引溝
48a 第1吸引溝(縦溝)
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48c 端部
50 吸引路
52a,52b 突き当て壁
11 板状物
11a 表面(上面)
11b 裏面(下面)
11c 側面
Claims (3)
- 被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、を備えた切削装置の該チャックテーブルの近傍に配設され、上面に板状物を吸引して保持する矩形の保持面を有するサブチャックテーブルであって、
該保持面には、複数の縦溝と複数の横溝とを含み、吸引手段に連通した吸引路と接続する格子状の吸引溝が形成され、
隣り合う2辺に相当する該保持面の外縁には、該板状物の厚さよりも高さが小さく、該板状物を載置する際に該板状物の側面が突き当てられる突き当て壁が配設され、
該保持面の最も外縁側に位置する該縦溝と該横溝とは、それぞれ、該縦溝と該横溝との交点から該突き当て壁に向けて延出された端部を有することを特徴とするサブチャックテーブル。 - 該突き当て壁に向けて延出された該端部と該突き当て壁との間の距離は、1mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のサブチャックテーブル。
- 該サブチャックテーブルに載置される該板状物は、ドレスボード又はダミーウェーハであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のサブチャックテーブル。
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