JP5377058B2 - ハードディスク用基板用の洗浄剤組成物 - Google Patents
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アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位との割合(モル比)が91/9〜95/5であり、アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位の全構成単位中に占める割合の合計が90モル%以上の共重合化合物および/又はその塩(成分(A))と、
ポリアミン(成分(B))と、
水(成分(C))と、を含有し、
実質的に非イオン性界面活性剤を含有せず、
前記成分(C)以外の成分の重量の総和における前記成分(B)の含有量は30〜95重量%であり、
前記成分(A)と前記成分(B)の重量比{成分(A)/成分(B)}が0.04〜0.8である、
Ni−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物である。
本発明の洗浄剤組成物に含まれる特定の共重合化合物および/またはその塩(成分(A))は、アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位との割合(モル比)が91/9〜95/5であり、アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位の全構成単位中に占める割合の合計が90モル%以上の共重合化合物および/またはその塩である。成分(A)は、エッチングにより浮き上がった汚れ等を、本発明の洗浄剤組成物中に分散させ、および、汚れ等に含まれるシリカ微粒子を含む無機微粒子の凝集を抑制する働きをしているものと考えられる。
カラム:G4000PWXL+G2500PWXL(東ソ−社製)
溶離液:0.2Mリン酸バッファ−/CH3CN=9/1(容量比)
流量:1.0mL/min
カラム温度:40℃
検出:RI
サンプルサイズ:0.2mg/mL
標準物質:ポリエチレングリコール
(重量平均分子量:194,400,600,1000,1500,4000,7000,10000,13000,20000;ジーエルサイエンス社製)
本発明の洗浄剤組成物に含まれるポリアミンは、アミノ基またはイミノ基を2つ以上有する脂肪族化合物である。ポリアミンは、被洗浄基板表面をエッチングして、被洗浄基板表面に付着した汚れを、当該被洗浄基板上から浮き上がらせ、かつ、被洗浄基板表面に付着したNiイオンが水酸化ニッケルとなって析出することを抑制する働きをしているものと考えられる。ポリアミンとしては、エチレンジアミン、1,2−プロパンジアミン、1,3−プロパンジアミン、ネオペンタンジアミン、3−メチルアミノプロピルアミン、ジエチレントリアミン、ジプロピレントリアミン、トリエチレンテトラミン、N−(β―アミノエチル)エタノールアミン、アミノエチルイソプロパノールアミン等が挙げられるが、洗浄性を向上させる観点から、N−(β―アミノエチル)エタノールアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミンが好ましく、より好ましくはジエチレントリアミン、N−(β―アミノエチル)エタノールアミンであり、さらに好ましくはN−(β―アミノエチル)エタノールアミンである。
本発明の洗浄剤組成物に含まれる水は、溶媒としての役割を果たすことができるものであれば特に制限はない。例えば、超純水、純水、イオン交換水、または蒸留水等を挙げることができるが、超純水、純水、またはイオン交換水が好ましく、超純水がより好ましい。なお、純水及び超純水は、例えば、水道水を活性炭に通し、イオン交換処理し、さらに蒸留したものを、必要に応じて所定の紫外線殺菌灯を照射、又はフィルターに通すことにより得ることができる。本発明では、25℃での電気伝導率は、純水で1μS/cm以下であり、超純水で0.1μS/cm以下を示すものである。
本発明の洗浄剤組成物には、成分(A)、(B)、(C)以外に、キレート剤(成分(D))、アルカリ金属水酸化物(成分(E))、アルコール、防腐剤、酸化防止剤等が含まれていてもよい。例えば、アルコールとしては、エタノール、プロパノール等が挙げられ、防腐剤としては、1,2-ベンジソチアゾリン−3−オン、2-メチル-4-イソチアゾリン-3-オン等が挙げられ、酸化防止剤としてはアスコルビン酸、ベンゾトリアゾール等が挙げられる。
本発明の洗浄剤組成物には、Niイオンを捕らえて被洗浄基板へのNiの析出をさらに抑制することにより、洗浄性をより向上させる観点から、キレート剤(成分(D))が含まれていると好ましい。キレート剤(成分(D))としては、グルコン酸、グルコヘプトン酸などのアルドン酸類;エチレンジアミン四酢酸などのアミノカルボン酸類;クエン酸、リンゴ酸などのヒドロキシカルボン酸類;アミノトリメチレンホスホン酸、1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸などのホスホン酸類;およびこれらのアルカリ金属塩、低級アミン塩、アンモニウム塩、アルカノールアンモニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。これらの中でも、被洗浄基板へのNiの析出を効果的に抑制する観点から、グルコン酸ナトリウム、グルコヘプトン酸ナトリウム、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、または1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸等のホスホン酸類が好ましく、1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸等のホスホン酸類がより好ましい。これらのキレート剤は、単独でまたは2種以上を混合して用いてもよい。
本発明の洗浄剤組成物には、被洗浄基板表面に付着したシリカ微粒子を溶解することにより、洗浄性をより向上させる観点から、アルカリ金属水酸化物(成分(E))が含まれていると好ましい。アルカリ金属水酸化物としては、洗浄性向上の観点から、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が好ましいが、洗浄剤組成物の長期保管安定性を確保する観点から、水酸化カリウムがより好ましい。
本発明の洗浄剤組成物は、被洗浄基板表面に付着したシリカ微粒子を溶解することにより、洗浄性をより向上させる観点から、25℃におけるそのpHが9〜14であると好ましく、より好ましくは11〜14であり、さらに好ましく12〜14である。pHの前記範囲内の値への調製には、アルカリ金属水酸化物(成分(E))を用いると好ましい。なお、pHは、pHメータ(東亜電波工業社製、HM−30G)を用いて測定できる。
本発明の洗浄剤組成物の調製方法は、何ら制限されないが、例えば、成分(A)、成分(B)、および必要に応じて任意成分を、水(成分(C))に添加して混合する方法が挙げられる。各成分を水(成分(C))に添加する順序等については特に制限はない。混合方法も公知の方法を採用すればよいが、攪拌中の水に各成分が添加されることが好ましい。各成分を水に添加する時の、水の温度は20〜50℃が好ましい。攪拌モーターの回転数は、通常、周速0.1m/s〜0.65m/sが好ましい。水以外の全成分を水に添加した後の攪拌時間は、通常、0.5〜2時間が好ましい。
本発明のHD用基板の製造方法は、被研磨基板を、シリカ微粒子を含む研磨材(研磨微粒子)を含有する研磨液組成物を用いて研磨した後、水で濯いで、被洗浄基板を得る工程と、この工程後に被洗浄基板を本発明の洗浄剤組成物で洗浄する工程とを含む。
水100gに酸化ニッケル粉末(シグマアルドリッチ社製、Nanopowder、純度99.8%)1gを添加して、酸化ニッケル分散液を調製した。次に、前記各洗浄剤組成物(態様1の洗浄剤組成物)を水で100倍に希釈して得た希釈液(態様2の洗浄剤組成物)50gに、あらかじめ調製した前記酸化ニッケル分散液0.1gを添加し、24時間静置し、測定サンプルとした。測定サンプルをゼータ電位測定装置(日本ルフト社製、型番:Model 502)に15ml注入し、50mVの電圧で測定を行った。ゼータ電位を3回測定し、その平均値を後述の評価基準に従って評価して、その結果を表1および表2に示した。
(ゼータ電位の評価基準)
A:60mV以上
B:40mV以上60mV未満
C:40mV未満
前記各洗浄剤組成物(態様1の洗浄剤組成物)を水で100倍に希釈して得た希釈液(態様2の洗浄剤組成物)によるNiエッチング量を後述の評価基準に基づき評価した。その結果は表1および表2に示している。
(a)容積が2Lのポリエチレン容器(底面の直径125mm×高さ185mm)に各希釈液70gを入れ、25℃の恒温槽中で3時間保管された前記希釈液を試験液とする。
(b)Ni−Pメッキされたアルミニウム合金からなる基板(外径:95mmφ、内径:25mmφ、厚さ:1.27mm)を試験液に10分間浸漬する。
(c)前記基板を試験液から取り出した後、試験液についてICP発光分析装置(パーキンエルマー社製、Optima5300)にてニッケルの発光強度を測定して、Niエッチング量を定量する。
A:2.5ppm以上
B:1.5ppm以上2.5ppm未満
C:0.6ppm以上1.5ppm未満
D:0.6ppm未満
前記各洗浄剤組成物(態様1の洗浄剤組成物)を水で100倍に希釈して得た希釈液(態様2の洗浄剤組成物)19.95gに,硫酸ニッケル6水和物(シグマアルドリッチ社製、試薬特級)を0.05g添加した。24時間後、硫酸ニッケル6水和物が添加された希釈液のうちの上澄み液をフィルター(アドバンテック社製、DISMIC-25HP020AN、孔径0.2μm)でろ過し、当該上澄み液を試験液とした。前記試験液について、ICP発光分析装置(パーキンエルマー社製、Optima5300)を用いてニッケルの発光強度を測定して、試験液中のNi濃度を定量した。Niイオン濃度が高いほど、希釈液に対する硫酸ニッケルの溶解度が高いことを示す。なお、試験液中のNi濃度の高低は、基板研磨時に生成されるNiイオンがアルカリ性の洗浄剤組成物中で、水酸化ニッケルとして析出することが抑制されるか否かの目安になる。Ni濃度が高ければ、水酸化ニッケルが析出し難く、Ni濃度が低ければ、水酸化ニッケルが析出し易い。
(硫酸ニッケルの溶解性評価基準)
A:700ppm以上
B:500ppm以上700ppm未満
C:500ppm未満
100mlポリ容器内で、前記洗浄剤組成物(態様1の洗浄剤組成物)を水で100倍に希釈して得た希釈液(態様2の洗浄剤組成物)20gに、シリカ粉末(日本アエロジル社製、アエロジル50)を0.1g添加した。次いで、これらをマグネティックスターラー(回転子:40mm、外周部周速:1.5m/s)で15分間撹拌し、上澄み液をフィルター(アドバンテック社製、DISMIC-25HP020AN、孔径0.2μm)でろ過し、当該上澄み液を試験液とした。前記試験液について、ICP発光分析装置(パーキンエルマー社製、Optima5300)用いてSiの発光強度を測定して、試験液中のSi濃度を定量した。試験液中のSi濃度が高ければ高いほど、希釈液について、被洗浄基板表面に付着したシリカ微粒子(研磨材)を溶解により除去する能力が高いことを意味する。
(シリカ溶解性の評価基準)
A:50ppm以上
B:20ppm以上50ppm未満
C:20ppm未満
前記各洗浄剤組成物(態様1の洗浄剤組成物)を水で100倍に希釈して得た希釈液(態様2の洗浄剤組成物)60mlを200mlのシリンダーに入れ、蓋をした。次いで、シリンダーを20往復手振りで強振動させ、30秒間静置させた後の泡高さ(液面から泡の一番高い所までの高さ)を測定し、後述の評価基準に従って、耐泡立ち性を評価した。泡高さが低いほど、耐泡立ち性が良好なことを示す。なお、シリンダーを強振動させる際の、ストローク長は30cmとし、手振り速度は2回/秒とした。
A:泡高さが20ml未満
B:泡高さが20ml以上
1.被洗浄基板の調製
Ni−Pメッキされたアルミニウム合金からなる基板(外径:95mmφ、内径:25mmφ、厚さ:1.27mm、表面粗さ(算術平均粗さ、Ra):1nm,10枚)の両主面を後述する研磨液組成物を供給しながら両面加工機により研磨した。研磨条件は後述のとおりとした。次いで、研磨液組成物に代えて純水を供給し、研磨後基板を純水により後述の条件で濯いで、被洗浄基板(洗浄対象)を得た。
研磨機:両面9B研磨機(スピ−ドファム社製)
研磨パッド:スエードタイプ(厚さ:0.9mm、平均開孔径:30μm、フジボウ社製)
研磨液組成物:コロイダルシリカスラリー(品番:メモリード2P-2000、花王社製)
本研磨:荷重 100g/cm2、時間 300秒、研磨液組成物流量 100mL/min
純水の電気伝導度:0.71μS/cm
荷重 :30g/cm2
時間 :20秒
純水供給量: 約2L/min
被洗浄基板を洗浄装置(3段式:1段目ロールブラシ−2段目ロールブラシ−3段目超音波シャワー)にて以下の条件で洗浄した。
(a)洗浄:洗浄装置にセットされた被洗浄基板を搬送待機箇所へセットし、次いで、1枚の被洗浄基板を洗浄装置の1段目のロールブラシが在る箇所へ搬送し、被洗浄基板の両主面の各々に、回転しているロールブラシを押し当て、前記希釈液(25℃)を被洗浄基板の両主面の各々に射出しながら7秒間洗浄した。希釈液の供給量は24.5g/7秒とした。
(b)濯ぎ:希釈液による洗浄後の被洗浄基板を、洗浄装置の2段目のロールブラシが在る箇所へ搬送し、次いで、前記(a)の洗浄の際と同様に、被洗浄基板の両主面の各々に、回転しているロールブラシを押し当て、25℃の超純水を被洗浄基板の両主面の各々に射出しながら7秒間すすぎを行った。その後、被洗浄基板を3段目の超音波シャワーへ搬送し、950kHzの超音波が付与された25℃の超純水を被洗浄基板の両主面の各々に射出しながら7秒間すすぎを行った。950kHzの超音波が付与された25℃の超純水の供給量は105g/7秒とした。
(c)乾燥:スピンチャックに保持された濯ぎ後の洗浄後基板を、高速回転(外周部周速:1.5m/s)させて液切り乾燥を1分間行った。
前記(a)〜(c)を経た洗浄後基板の表面におけるシリカ微粒子の残存数を後述する方法で調べることにより、各希釈液の洗浄性を評価した。結果を表1および表2に示している。
レベルA:全微粒子個数が0個である。
レベルB:全微粒子個数が1〜2個である。
レベルC:全微粒子個数が3〜4個である。
レベルD:全微粒子個数が5〜6個である。
レベルE:全微粒子個数が7〜8個である。
レベルF:全微粒子個数が9〜10個である。
レベルG:全微粒子個数が11個以上である。
[成分(A)]
アクリル酸/2-アクリルアミト゛-2-メチルフ゜ロハ゜ンスルホン酸(92/8(モル比))の共重合化合物(重量平均分子量12,000)のNa塩の水溶液(固形分40重量%)
[成分(B)]
N-(β-アミノエチル)エタノールアミン(和光純薬社製、和光1級)
シ゛エチレントリアミン(和光純薬社製、鹿特級)
トリエチレンテトラミン(関東化学社製)
[任意成分]
(成分(D))
1-ヒト゛ロキシエチリテ゛ン-1,1-シ゛ホスホン酸の水溶液(ソルーシア社製、デイクエスト2010R、固形分60重量%)
(成分(E))
水酸化カリウムの水溶液(関東化学社製、鹿特級、固形分48重量%)
[その他の成分]
モノエタノールアミン(和光純薬社製、和光1級)
メチルシ゛エタノールアミン(キシダ化学社製、1級)
非イオン性界面活性剤(花王社製、エマルゲンLS-110)
P-トルエンスルホン酸Naの水溶液(明友産業社製、固形分90重量%)
Claims (7)
- アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に
由来の構成単位との割合(モル比)が91/9〜95/5であり、アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位の全構成
単位中に占める割合の合計が90モル%以上の共重合化合物および/又はその塩(成分(
A))と、
ポリアミン(成分(B))と、
水(成分(C))と、を含有し、
実質的に非イオン性界面活性剤を含有せず、
前記成分(C)以外の成分の重量の総和における前記成分(B)の含有量は30〜95重量%であり、
前記成分(A)と前記成分(B)の重量比{成分(A)/成分(B)}が0.04〜0.8であ
り、
前記成分(B)が、エチレンジアミン、1,2−プロパンジアミン、1,3−プロパンジアミン、ネオペンタンジアミン、3−メチルアミノプロピルアミン、ジエチレントリアミン、ジプロピレントリアミン、トリエチレンテトラミン、N−(β―アミノエチル)エタノールアミン、又はアミノエチルイソプロパノールアミンである、Ni−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。 - キレート剤をさらに含有する請求項1に記載のNi−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。
- 前記キレート剤が、ホスホン酸類である請求項2に記載のNi−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。
- 25℃でのpHが9〜14である請求項1〜3の何れかの項に記載のNi−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。
- 前記成分(C)以外の成分の重量の総和における前記成分(A)の含有量は5〜50重量%である請求項1〜4の何れかの項に記載のNi−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。
- 前記重量比{成分(A)/成分(B)}が、0.4〜0.5である、請求項1〜5の何れかの項に記載のNi−P含有層を有するハードディスク用基板用洗浄剤組成物。
- 被研磨基板を、シリカ微粒子を含有する研磨液組成物で研磨した後、水で濯いで、被洗浄基板を得る工程と、前記被洗浄基板を請求項1〜6のいずれかの項に記載の洗浄剤組成物を用いて洗浄する工程とを含む、Ni−P含有層を有するハードディスク用基板の製造方法。
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