JP5372719B2 - 表面特性測定方法および装置 - Google Patents
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Description
2: 放射線源
3: 枠
4: 車輪
5: 表面
6: 経路長測定装置
8: ゴムコーティング
10: 装置
12: 車輪
14: レンズ
15: レンズ
17: スクリーン
18: スクリーン
19: フィルタ素子
20: 放射線検出装置
21: 処理装置
22: 記憶装置
24: 層厚測定装置
26: 放射装置
27: 検出装置
32、33: むらのある塗装領域
34、35: むらのない塗装領域
Claims (22)
- 表面特性を測定する方法であって、
−被検査表面(5)の第1の領域に放射線を放射するステップと、
−前記第1の領域へ放射され当該第1の領域により反射した放射線の少なくともいくらかを検出し、この反射した放射線の第1の特性値を出力するステップと、
−前記表面(5)の第2の領域に放射線を放射するステップと、
−前記第2の領域へ放射され当該第2の領域により反射した放射線の少なくともいくらかを検出し、この反射した放射線の第2の特性値を出力するステップと、
−前記第1の特性値と第2の特性値との関係に固有の結果値を出力するステップと、
を含み、
前記第1の特性値と第2の特定値とが前記表面の異なる領域で測定されるように、少なくとも一時的に実質的にまっすぐな線に沿って前記装置を前記表面に対して移動させる、方法。 - 前記表面の多数の異なる領域に連続して放射線を放射する請求項1に記載の方法。
- 前記第1の領域と第2の領域との間の距離を測定する請求項1に記載の方法。
- 放射線の固有特性は、強度、波長、偏光、またはそれらの組み合わせを含む特性の群から選択される請求項1に記載の方法。
- 相加平均値、幾何平均値、散乱、分散、差分、微分係数、最大、最小またはそれらの組み合わせを含む群から、結果値が選択される請求項1に記載の方法。
- 全ての特性値が、記憶装置(22)内に格納され、測定された領域に割り当てられる請求項1に記載の方法。
- 被検査表面の層厚を測定する請求項1に記載の方法。
- 表面特性測定装置であって、
被検査表面に放射線を放射する少なくとも1つの放射線源を有する少なくとも1つの放射装置と、
前記少なくとも1つの放射装置により放射され次に測定表面により反射された放射線の少なくともいくらかを検出して、反射および/または散乱した放射線であるという特性を示す少なくとも1つの測定信号を出力する少なくとも1つの放射線検出装置と、
前記測定装置により出力されて前記表面上の異なる場所に対応する少なくとも2つの測定信号を比較し、この比較特性値を出力する処理装置と、
前記第1及び第2の特性値が前記表面の異なる領域で測定されるように、少なくとも一時的に所定の本質的に直線の移動方向に沿って当該表面特性測定装置を前記表面に対して移動させるために、移動装置と、
を有する表面特性測定装置。 - 前記移動装置は、前記表面特性測定装置に配置された少なくとも1つの車輪を有する請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 多数の測定信号および/またはこれらの測定信号から導き出される値を格納するために、記憶装置が設けられる請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 前記放射装置は、被検査表面に対して所定の角度で配置され、この角度は35°である請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 前記表面に対して異なる角度で配置される複数の放射線検出装置が、設けられる請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 少なくとも1つの放射線検出装置が、前記表面に対して本質的に35°の角度で配置される請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 複数の放射装置が、前記表面特性測定装置の移動方向に本質的に垂直に配置される請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 複数の放射線検出装置が、前記表面特性測定装置の移動方向に本質的に垂直に配置される請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 前記表面に対して移動する経路長を測定するために経路長測定装置を有する請求項8に記載の表面特性測定方法。
- 少なくとも1つの放射装置が、少なくとも1つの放射線源を有し、当該放射線源は、白熱灯、ハロゲンランプ、コヒーレントおよび非コヒーレント半導体放射線源、ガス放電放射線源、レーザー、ならびにそれらの組み合わせの熱放射線源を含む放射線源の群から選択される請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 層厚測定装置が、設けられる請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 所定の放射線成分を選択するために少なくとも1つのフィルタ素子を有する請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 測定表面に対する所定の位置に配置される複数の第1の放射装置が、設けられる請求項8に記載の表面特性測定装置。
- 前記移動線は、前記被検査表面の形状により決定される請求項1に記載の方法。
- 前記線に沿った値のプロファイルが記録される請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005025291.5A DE102005025291B4 (de) | 2005-06-02 | 2005-06-02 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften |
DE102005025291.5 | 2005-06-02 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006151151A Division JP2006349676A (ja) | 2005-06-02 | 2006-05-31 | 表面特性測定方法および装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010066273A JP2010066273A (ja) | 2010-03-25 |
JP2010066273A5 JP2010066273A5 (ja) | 2011-02-17 |
JP5372719B2 true JP5372719B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=37401841
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006151151A Pending JP2006349676A (ja) | 2005-06-02 | 2006-05-31 | 表面特性測定方法および装置 |
JP2009277853A Active JP5372719B2 (ja) | 2005-06-02 | 2009-12-07 | 表面特性測定方法および装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006151151A Pending JP2006349676A (ja) | 2005-06-02 | 2006-05-31 | 表面特性測定方法および装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7468800B2 (ja) |
JP (2) | JP2006349676A (ja) |
DE (1) | DE102005025291B4 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004034160A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE102008013387B4 (de) | 2008-03-10 | 2020-02-13 | Byk-Gardner Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen optischer Oberflächeneigenschaften von Werkstücken |
JP7273726B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2023-05-15 | 株式会社堀場製作所 | 表面特性検査装置及び表面特性検査プログラム |
DE102019100615A1 (de) * | 2019-01-11 | 2020-07-16 | NoKra Optische Prüftechnik und Automation GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung einer Beschichtung auf einer Oberfläche |
DE102021114262A1 (de) | 2021-06-02 | 2022-12-08 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zum Messen wenigstens eines Parameters und ein Fahrzeugbauteil |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01110365U (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-25 | ||
US4929846A (en) * | 1988-10-05 | 1990-05-29 | Ford Motor Company | Surface quality analyzer apparatus and method |
DE4127215C2 (de) | 1991-08-16 | 2003-07-17 | Byk Gardner Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung des physiologischen Eindruckes von reflektionsfähigen Oberflächen |
JP3650974B2 (ja) * | 1995-03-15 | 2005-05-25 | オムロン株式会社 | 光学式センサ装置 |
JP3498120B2 (ja) * | 1995-04-26 | 2004-02-16 | 旭化成ケミカルズ株式会社 | 光沢むらの高精度測定方法および装置 |
JPH11304701A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Ricoh Co Ltd | 複素屈折率の評価方法、膜厚の評価方法、複素屈折率の評価装置、及び膜厚の評価装置 |
JP3682835B2 (ja) * | 1998-07-03 | 2005-08-17 | オムロン株式会社 | 反射型光電センサ |
JP4019293B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2007-12-12 | 澁谷工業株式会社 | マウント検査部における照明装置 |
JP2000162137A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Nikon Corp | 面検査装置 |
DE19909534B4 (de) * | 1999-03-04 | 2011-07-07 | BYK-Gardner GmbH, 82538 | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität strukturierter Oberflächen |
DE19930688A1 (de) * | 1999-07-02 | 2001-01-04 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität von Oberflächen |
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JP2002139309A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-17 | Nikon Corp | 光学特性測定装置、膜厚測定装置、研磨終点判定装置及び研磨装置 |
DE10122313A1 (de) * | 2001-05-08 | 2002-11-21 | Wolfgang P Weinhold | Verfahren und Vorrichtung zur berührungsfreien Untersuchung eines Gegenstandes, insbesondere hinsichtlich dessen Oberflächengestalt |
JP2002350326A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Fujita Corp | 建築材料の劣化診断方法 |
JP4808871B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2011-11-02 | 倉敷紡績株式会社 | 表面性状評価装置 |
JP3882542B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2007-02-21 | 凸版印刷株式会社 | 酸素インジケーター |
DE102004034160A1 (de) | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE202004011811U1 (de) | 2004-07-28 | 2005-12-08 | Byk-Gardner Gmbh | Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE102004037040B4 (de) | 2004-07-30 | 2013-11-21 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung von Oberflächeneigenschaften |
DE102004059186A1 (de) | 2004-12-08 | 2006-06-14 | Byk Gardner Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur ortsauflösenden Bewertung von Oberflächeneigenschaften |
-
2005
- 2005-06-02 DE DE102005025291.5A patent/DE102005025291B4/de active Active
-
2006
- 2006-05-30 US US11/421,023 patent/US7468800B2/en active Active
- 2006-05-31 JP JP2006151151A patent/JP2006349676A/ja active Pending
-
2009
- 2009-12-07 JP JP2009277853A patent/JP5372719B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010066273A (ja) | 2010-03-25 |
DE102005025291A1 (de) | 2006-12-07 |
JP2006349676A (ja) | 2006-12-28 |
US7468800B2 (en) | 2008-12-23 |
DE102005025291B4 (de) | 2019-07-25 |
US20060274317A1 (en) | 2006-12-07 |
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