JP2021047200A - 表面特性を決定する多段階方法および調査装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 51
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 87
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 claims description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 34
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010972 statistical evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000005445 natural material Substances 0.000 description 1
- 238000007557 optical granulometry Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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Abstract
Description
。
2 放射装置/第1の測定器
4 放射線検出器/第1の測定器
6 放射装置
10 表面
12 制御装置
14 画像表示装置
16 記憶装置
18 偏向ミラー
22 プロセッサ装置
24 評価装置
B1、B2 表面領域
P1、P2 放射方向
T 接線
Claims (13)
- 調査される表面(10)の少なくとも1つの領域の少なくとも1つのトポグラフィ特性を決定する第1のステップと、
調査される前記表面(10)の少なくともこの領域の光学特性を決定して、この光学特性の特徴である少なくとも1つの値を生成する第2のステップと、
を含む、表面特性を決定する多段階方法であって、この方法は、調査される前記表面(10)の光学特性解析の分野で使用され、
前記第1のステップでは、第1の放射装置(2)によって、少なくとも2つの異なる方向から光が前記表面(10)に向けて放射され、前記第1の放射装置(2)からの光の放射方向と、前記表面(10)に対して直角を成す方向とは、45°〜75°の角度を形成し、
表面の曲率および/または表面の曲率変化が異なる、前記表面(10)の少なくとも2つの表面領域が決定され、
前記第2のステップでは、第2の放射装置(6)によって、前記表面(10)に対して直角を成す方向に対して形成される10°未満の角度で光が前記表面(10)に向けて放射され、
前記表面(10)から反射および/または散乱された光の空間分解画像を記録し、該空間分解画像が前記第1のステップで決定されたトポグラフィ特性に基づいて細分されるように、該決定されたトポグラフィ特性に対応する特定の画素あるいは画素範囲を該空間分解画像から抽出して光学特性を決定する、多段階方法。 - 前記第1の方法ステップでは、さらに、前記表面(10)の高さ方向が異なる複数の領域が決められ、各領域のトポグラフィ特性が決定される、ことを特徴とする、請求項1に記載の多段階方法。
- 前記光学特性を決定するために、前記第1の放射装置(2)によって放射線が前記表面に向けて放射され、前記表面(10)によって反射および/または散乱された光は、放射線検出器(4)によって検出されることを特徴とする、請求項1または2に記載の多段階方法。
- 前記放射線検出器(4)は、前記表面の空間分解画像を記録することを特徴とする、請求項3に記載の多段階方法。
- 前記トポグラフィ特性を決定するために、前記第2の放射装置(6)によって光が前記表面に向けて放射され、前記表面(10)によって反射および/または散乱された光は、放射線検出器(4)によって検出されることを特徴とする、請求項1〜4のうちの少なくとも一項に記載の多段階方法。
- 前記光学特性を決定し、前記トポグラフィ特性を決定するために、同じ放射線検出器(4)が使用されることを特徴とする、請求項1〜5のうちの少なくとも一項に記載の多段階方法。
- 前記光学特性を決定し、前記トポグラフィ特性を決定するために、前記表面の同じ画像が評価されることを特徴とする、請求項1〜6のうちの少なくとも一項に記載の多段階方法。
- 前記空間分解画像は、複数の画像セグメントに分割され、前記画像セグメントの少なくとも一部が第1の領域に割り当てられ、前記画像セグメントの少なくとも一部が第2の領域に割り当てられることを特徴とする、請求項1〜7のうちの少なくとも一項に記載の多段階方法。
- 調査される表面のトポグラフィを検出するためのトポグラフィ測定器(2、4)であって、調査される表面(10)に向けて少なくとも2つの異なる方向から光を放射する第1の放射装置(2)であって、前記第1の放射装置(2)からの光の放射方向と、前記表面(10)に対して直角を成す方向とが、45°〜75°の角度を形成する第1の放射装置(2)、前記表面に向けて放射された光と前記表面(10)によって反射および/または散乱された光とを記録する第1の放射線検出器(4)、および前記第1の放射線検出器(4)によって記録されている光を基準として、調査される前記表面(10)の少なくとも1つのトポグラフィ特性を決定して、調査される前記表面(10)の前記トポグラフィ特性の特徴である少なくとも1つの測定値を生成する評価装置(24)を有し、表面の曲率および/または表面の曲率変化が異なる、前記表面(10)の少なくとも2つの表面領域を決定する、トポグラフィ測定器(2、4)と、
調査される前記表面(10)に向けて、前記表面(10)に対して直角を成す方向に対して形成される10°未満の角度で光を放射する第2の放射装置(6)、および前記表面(10)に向けて放射された光と前記表面(10)によって反射および/または散乱された光とを記録する放射線検出器(4)を有する第2の測定器(6、4)であって、前記放射線検出器(4)は到達する光の空間分解画像の記録を可能にする第2の測定器(6、4)とを有する、
表面特性の調査及び調査される表面(10)の光学特性解析のための装置(1)であって、
前記トポグラフィ測定器によって決定されたセグメント領域に関して、前記表面(10)の光学特性の特徴である値を生成するプロセッサ装置(22)を有し、
前記空間分解画像が前記決定されたトポグラフィ特性に基づいて細分されるように、該決定されたトポグラフィ特性に対応する特定の画素あるいは画素範囲を該空間分解画像から抽出して光学特性を決定する、調査装置(1)。 - 前記調査装置は、まず、前記第1の放射装置(2)が表面に光を放射して、前記放射線検出器(4)が前記表面に向けて放射された光と前記表面(10)によって散乱および/または反射された光とを記録し、前記第2の放射装置(6)が表面に放射して、放射線検出器(4)が前記表面(10)に向けて放射された光と前記表面(10)によって散乱および/または反射された光とを記録するような結果をもたらす働きをする制御装置を有することを特徴とする、請求項9に記載の調査装置。
- 前記調査装置は、前記放射線検出器(4)によって記録された画像の第1の部分領域(B1)を前記表面(10)の第1のトポグラフィ特性に割り当てし、前記放射線検出器(4)によって記録された画像の第2の部分領域(B2)を第2のトポグラフィ特性に割り当てることを特徴とする、請求項9または10に記載の調査装置。
- 前記第1の放射装置(2)は、前記第2の放射装置(6)とは異なる角度で前記表面(10)に向けて光を放射することを特徴とする、請求項9〜11のうちの少なくとも一項に記載の調査装置。
- 前記ポグラフィ測定器(2、4)は、さらに、前記表面(10)の高さ方向が異なる複数の領域を決め、各領域のトポグラフィ特性を決定する、請求項9に記載の調査装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014108789.5 | 2014-06-24 | ||
DE102014108789.5A DE102014108789A1 (de) | 2014-06-24 | 2014-06-24 | Mehrstufiges Verfahren zur Untersuchung von Oberflächen sowie entsprechende Vorrichtung |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015125721A Division JP6837738B2 (ja) | 2014-06-24 | 2015-06-23 | 表面特性を決定する多段階方法および調査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021047200A true JP2021047200A (ja) | 2021-03-25 |
JP7116771B2 JP7116771B2 (ja) | 2022-08-10 |
Family
ID=54866011
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015125721A Active JP6837738B2 (ja) | 2014-06-24 | 2015-06-23 | 表面特性を決定する多段階方法および調査装置 |
JP2020203174A Active JP7116771B2 (ja) | 2014-06-24 | 2020-12-08 | 表面特性を決定する多段階方法および調査装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015125721A Active JP6837738B2 (ja) | 2014-06-24 | 2015-06-23 | 表面特性を決定する多段階方法および調査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11300406B2 (ja) |
JP (2) | JP6837738B2 (ja) |
CN (1) | CN105277558B (ja) |
DE (1) | DE102014108789A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023276637A1 (ja) | 2021-06-28 | 2023-01-05 | コニカミノルタ株式会社 | 測定器、表面評価指標の演算方法及びプログラム |
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- 2014-06-24 DE DE102014108789.5A patent/DE102014108789A1/de active Pending
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- 2015-06-23 JP JP2015125721A patent/JP6837738B2/ja active Active
- 2015-06-24 US US14/749,281 patent/US11300406B2/en active Active
- 2015-06-24 CN CN201510352841.3A patent/CN105277558B/zh active Active
-
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- 2020-12-08 JP JP2020203174A patent/JP7116771B2/ja active Active
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---|---|
JP2016028233A (ja) | 2016-02-25 |
JP7116771B2 (ja) | 2022-08-10 |
US20150369595A1 (en) | 2015-12-24 |
CN105277558B (zh) | 2021-03-09 |
JP6837738B2 (ja) | 2021-03-03 |
US11300406B2 (en) | 2022-04-12 |
DE102014108789A1 (de) | 2016-01-07 |
CN105277558A (zh) | 2016-01-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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